【課題】露光装置の製造を迅速に行う。
【解決手段】
露光装置１００の製造工場において、ボディ工具とステージモジュール２０とをドッキングさせ、ボディ工具が有する光干渉計を用いてステージモジュール２０の移動鏡の調整（傾き調整、直交度調整など）を行なった後、そのステージモジュール２０を所定の出荷先に出荷する。出荷先に設置されたボディＢＤは、予め製造工場にて光干渉計に関してボディ工具と同じ状態となるように調整（取付位置調整、光軸調整など）されている。従って、出荷先で改めてステージモジュール２０の移動鏡の調整を行う必要がなく、露光装置１００の製造を迅速に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】露光装置の一部を構成する移動体モジュールの移動を効率化する。
【解決手段】ステージモジュールＷＳＭには、ステージモジュールＷＳＭを浮上させるエアホバー２９と、Ｙ軸周りに回転可能かつ接地可能な駆動輪１６０とが設けられている。エアホバー２９により浮上させた状態のまま、ステージモジュールＷＳＭを、駆動輪１６０を床面上で回転駆動することで、Ｘ軸に平行な方向に移動させる。このため、ステージモジュールＷＳＭのθｚ方向及びＹ軸に平行な方向への動きを規制してＸ軸に平行な方向に安定して露光装置本体１１０から引き出す（移動させる）ことが可能になる。 （もっと読む）

【課題】露光装置において、硫化物や基板表面から発生する昇華物を起因とする汚れの付着を防止する場合に、光源の冷却は確実に行われ、かつ、人体への影響が問題とならないようにする。
【解決手段】空冷される光源１１を備えた光源側ユニット１００と、光源１１からの光を露光対象に導く光学素子を備えた光学系側ユニット２００とを含む露光装置において、窓材１０を介して光源側ユニット１００からの光を透過させる。光学系ユニット２００は略密閉され、その内部の圧力を、外部よりも高めておく。光源側ユニット１００にはノズル１４を設け、窓材１０に不活性ガスを吹き付ける。窓材１０表面に不活性ガスを局所的に連続的に吹き付け、窓材１０の表面雰囲気中の窒素ガスを高濃度に保持することにより、硫化物等の不純物や酸素を減少させ、窓材１０に発生する曇りを飛躍的に低減させることができる。 （もっと読む）

【課題】 定盤から床に伝わる振動を低減することが可能な露光装置を提供する。
【解決手段】 本発明の露光装置は、定盤５と、前記定盤上で移動可能なステージ１と、前記ステージを駆動するアクチュエータ８と、質量体２と前記質量体を移動させるアクチュエータ９とを有し前記ステージの移動に起因して前記定盤に発生する振動を低減するための反力カウンタと、投影光学系４と、前記投影光学系を支持する構造体５と、前記投影光学系、前記構造体、前記定盤を支持する床６のいずれかに設けられた振動を検出するセンサ５１〜５４と、前記センサからの出力に基づいて、前記振動が小さくなるように前記質量体を移動させるアクチュエータを制御する制御手段１４と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】地震などの振動による被害を抑えることができる免震装置及び露光装置システムを提供する。
【解決手段】物体を載置するペデスタルと、当該ペデスタルを重力方向に吊り下げて支持する吊り下げ機構とを備える。吊り下げ機構ＨＮは、例えば金属などの剛性の高い材料などによって棒状に形成されている。吊り下げ機構ＨＮは、Ｚ方向に長手となるように配置されており、例えば各柱部材８３内に埋め込まれている。吊り下げ機構ＨＮの＋Ｚ側の端部は例えば天井部ＣＬに接続されており、−Ｚ側の端部はベースプレートＢＰの角部ブロック８２に接続されている。 （もっと読む）

【課題】外部からの輻射熱による筐体の温度変化を抑制する光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】内部にミラーが支持された鏡筒２７を、当該鏡筒２７の外表面２７ｂにおける光の反射率よりも高い反射率の外表面３５ｂを有するカバー３５で内包する。これにより、カバー３５の外部からの輻射熱が当該カバー３５の外表面３５ｂによって反射されやすくなる。また、カバー３５の内表面３５ａと鏡筒２７の外表面２７ｂとの間に設けられて鏡筒２７との間で輻射伝熱によって熱交換する熱交換部４１〜４６を鏡筒２７を取り囲むように設ける。そして、鏡筒２７の温度を検出する温度センサ５１〜５６からの検出信号に基づいて、熱交換部４１〜４６を制御して鏡筒２７の温度を調節する。 （もっと読む）

【課題】ウエハステージと光学系ユニットとの角度ずれを抑制することができる露光装置を提供する。
【解決手段】ウエハが載置されるウエハステージ１６と、フォトマスクのパターンをウエハステージ１６上のウエハに投影する光学系ユニット１８と、ウエハステージ１６と光学系ユニット１８を支持するフレーム２０と、流体供給手段３５を有する露光装置１０。フレーム２０は、ウエハステージ１６を支持するウエハステージ支持部２２と、ウエハステージ１６の上方で光学系ユニット１８を支持する光学系ユニット支持部２４と、ウエハステージ支持部２２と光学系ユニット支持部２４とを接続する複数の第１柱状部２８ａ〜３０ａを有している。各第１柱状部２８ａ〜３０ａの内部には、第１柱状部２８ａ〜３０ａに沿って伸びる第１流路４０〜４２が形成されている。流体供給手段３５は、各第１流路４０〜４２内に流体を流通させる。 （もっと読む）

【課題】プロキシミティ露光装置において、基板の温度制御を効果的に行う。
【解決手段】本体ハウス３０内で、基板１をチャック１０により支持し、マスク２をマスクホルダ２０により保持し、チャック１０をステージにより移動する。本体ハウス３０内へ横方向に温度調節された清浄な空気を供給し、チャック１０の下方に設けた吸気口４１をチャック１０と伴に移動しながら、吸気口４１から本体ハウス３０内の空気を取り込んで本体ハウス３０外へ排気する。横方向へ流れる空気が、基板１の表面を伝って、チャック１０の下方に設けた吸気口４１へ回り込み、マスク２が基板１の上方に基板１と接近して配置されても、基板１の表面へ温度調節された清浄な空気が供給される。 （もっと読む）

【課題】 例えばロール・ツー・ロールで搬送される帯状の感光性基板への走査露光に適用したときに走査露光にかかるスループットの向上。
【解決手段】 本発明の一態様にかかる投影光学装置は、第１面（ＯＢＪ）上の所定領域（ＩＲ）の投影像を、第１面と異なる面（ＩＭＧ）上の第１領域（ＥＲ１）および第２領域（ＥＲ２）に形成する。所定領域からの光が入射するレンズ群（Ｌｐ）と、レンズ群からの光を該レンズ群の光軸を挟んで互いに異なる方向に進む第１の光と第２の光とに時分割し且つ第１の光および第２の光をレンズ群に向けて反射する時分割反射部（１０：１１，１２）と、レンズ群を経た第１の光を第１領域へ導く第１導光光学系（Ｇ１）と、レンズ群を経た第２の光を第２領域へ導く第２導光光学系（Ｇ２）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】熱外乱による温度変動を抑制できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光光を用いて所定のパターンを基板上に形成する露光装置は、基板を保持して移動可能な移動体を有する基板ステージと、露光光を基板に出射する光学部材と、基板ステージと光学部材の少なくとも一方または双方を支持する構造部材と、構造部材の内部に設けられ、構造部材により設定される空間内を所定温度に調整可能な温調用流体が流れる流路と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】露光装置等の製造装置において不具合が発生した場合に、その不具合を再現させ、その原因を調査するための再現情報の収集。
【解決手段】製造装置の状態を擬似製造装置によって再現する再現方法は、前記製造装置から出力された動作ログを取得する取得工程と、前記動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、抽出したパラメータの値を処理することにより状態再現情報を生成する生成工程と、前記状態再現情報に基づいて前記製造装置の状態を前記擬似製造装置によって再現する状態再現工程とを含み、前記状態再現情報は、前記製造装置に入力された製造条件を示す製造条件情報および前記製造装置の特性を示す特性情報の少なくとも１つを含む。 （もっと読む）

【課題】圧力の変動を抑制できる露光装置を提供する。
【解決手段】所定面上を少なくとも一方向に沿って移動可能な移動体と、移動体の移動により生じた圧力変動を小さくするように加圧空気を噴射する圧力調整装置と、を備える露光装置である。 （もっと読む）

【課題】温度の計測精度を向上させて、温度の制御精度を向上させる。
【解決手段】露光装置の局所空調を行う局所空調システムであって、温度制御対象領域に送風される空気ＡＲの温度情報を計測する温度センサ５６Ａと、空気ＡＲの風速情報を計測する風速計５７と、風速計５７の計測結果に基づいて温度センサ５６Ａの計測結果を補正するとともに、この補正された温度情報に基づいて空気ＡＲの温度を制御する局所空調制御系３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】描画装置に対して所望のパターンを高精度で描画させる。
【解決手段】キャビネット５１内に収容した状態の基板Ｐにビーム出力部５２から出力した描画用ビームを照射する描画装置５０に対して冷却水Ｗ（冷却液）を供給してビーム出力部５２を冷却する冷却装置１であって、冷凍サイクル２における蒸発器で構成されると共に冷却水Ｗを導入可能に構成されて冷却水Ｗを冷却する冷却器３と、冷却器３によって冷却した冷却水Ｗを描画装置５０に向けて圧送するポンプ６と、ポンプ６によって圧送される冷却水Ｗの一部および空気Ａをそれぞれ導入可能に構成されて導入した冷却水Ｗによって空気Ａを冷却する空調部４と、空調部４によって冷却した空気Ａをキャビネット５１内に向けて圧送するファン８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】作業者等が内部空間に円滑に進入できるチャンバ装置を提供する。
【解決手段】チャンバ装置は、チャンバ本体の第１開口を閉鎖可能であり、第１開口を閉鎖することによって、チャンバ本体の内側に実質的に閉ざされた内部空間を形成する第１開閉部材と、第１開口を開放する操作と連動して、内部空間の気体の少なくとも一部を排出する排気機構とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
安全性の点で有利な露光装置を提供する。
【解決手段】
基板（１）を露光する露光装置であって、露光装置本体（１２）と、前記露光装置本体（１２）に設けられた開口（２３，２４）を開閉可能なユニット（１３，１４）と、前記ユニット（１３，１４）の開および閉を許可する認証手段（１５，１６）と、前記認証手段（１５，１６）により前記開が許可されてから前記閉が許可されるまでの間、少なくとも一部の動作を禁止する制御手段（１０）と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】床の沈み込みによるベース構造体の変形及び姿勢を容易に検出し、低コストで、且つ、安定した露光装置を提供する。
【解決手段】原版のパターンを、投影光学系１０６を介して基板上に露光する露光装置１において、投影光学系１０６を保持する基準定盤１０３と、該基準定盤１０３を弾性支持する弾性支持手段１０２と、設置床１００から弾性支持手段１０２を保持するベース構造体１０１と、該ベース構造体１０１と基準定盤１０３との相対位置を検出する検出手段１１２と、ベース構造体１０１の床設置部に設置され、検出手段１１２の検出結果に基づいて、ベース構造体１０１の姿勢を調整する調整手段１１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学装置の２つの物体の間に所定の接触力または所定の接触面圧を生成するための方法において、２つの物体の間の高伝熱を単純な方法で確保する。
【解決手段】第１の物体(108)と第２の物体(109)と接続デバイスと(111)を有する光学装置のための接続装置において、第１の物体(108)は、接触領域(110)にて層状様式で第２の物体(109)と接触し、接続デバイス(111)は、第２の物体(109)に接続し、かつ少なくとも１つの接触ユニット(112)を介して第１の物体(108)に接続する。接触ユニット(112)は、複数の分離した接触素子(112.4)を備え、各接触素子(112.4)は、弾性変形したバネユニット(112.5)を介して第２の物体(109)に接続され、接触力への寄与を生成する。 （もっと読む）

【課題】装置本体内の気体の圧力に依ることなく、装置本体内の気体の成分毎の圧力を正確に検出することができる光源装置、露光装置、露光方法、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】装置本体１８，１９内と連通流路５２，６１を介して連通するチャンバ５３，６５内に、気体の成分毎に分圧を検出するマスアナライザ５５，６９を配置する。そして、マスアナライザ５５，６９の検出結果に基づき、流量調整バルブ５４，６２の開度を調整して、装置本体１８，１９内から連通流路５２，６１を介してチャンバ５３，６５内に導出する気体の流量を制御すると共に、誘引送風機５９，６４の吸引力を調整して、チャンバ５３，６５内から連通流路５８，６３を介して排出する気体の流量を制御して、チャンバ５３，６５内の気体の分圧をマスアナライザ５５，６９の検出範囲に収まるように調整する。 （もっと読む）

【課題】 露光室に供給する気体の温度及び湿度を精密に制御して安定した露光処理を可能とする露光装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、露光室に気体を供給する気体供給部と制御部とを備える露光装置であって、気体供給部は、露光室に接続される気体供給管路に熱源を含む機器と気体を加湿する加湿器と気体を冷却する冷却器と加湿器により加湿され且つ冷却器により冷却された気体との間で水分の授受を行うフィルタと気体供給管路内の冷却器とフィルタとの間における気体の温度を検出する温度センサと気体供給管路内の加湿器とフィルタとの間における気体の湿度を検出する湿度センサとを備える。冷却器は、熱源を含む機器とフィルタとの間に配置される。前記温度センサと前記湿度センサとは、前記加湿器と前記フィルタとの間に配置される。制御部は、温度センサの出力に基づいて冷却器を制御し、且つ湿度センサの出力に基づいて加湿器を制御する。 （もっと読む）