再現方法およびそのシステムならびにプログラム
【課題】露光装置等の製造装置において不具合が発生した場合に、その不具合を再現させ、その原因を調査するための再現情報の収集。
【解決手段】製造装置の状態を擬似製造装置によって再現する再現方法は、前記製造装置から出力された動作ログを取得する取得工程と、前記動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、抽出したパラメータの値を処理することにより状態再現情報を生成する生成工程と、前記状態再現情報に基づいて前記製造装置の状態を前記擬似製造装置によって再現する状態再現工程とを含み、前記状態再現情報は、前記製造装置に入力された製造条件を示す製造条件情報および前記製造装置の特性を示す特性情報の少なくとも１つを含む。
【解決手段】製造装置の状態を擬似製造装置によって再現する再現方法は、前記製造装置から出力された動作ログを取得する取得工程と、前記動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、抽出したパラメータの値を処理することにより状態再現情報を生成する生成工程と、前記状態再現情報に基づいて前記製造装置の状態を前記擬似製造装置によって再現する状態再現工程とを含み、前記状態再現情報は、前記製造装置に入力された製造条件を示す製造条件情報および前記製造装置の特性を示す特性情報の少なくとも１つを含む。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、再現方法およびそのシステムならびにプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス、フラットパネルディスプレイ等の各種のデバイスを製造するためのリソグラフィー工程において露光装置が使用される。露光装置は、製造装置であるため、終日にわたって停止することなく使用されることが一般的である。露光処理がなされない時間であるダウンタイムは、たとえ計画的なものであっても生産性に影響を与える。さらに、突発的に露光装置が使用できなくなった場合には、生産性の低下はより大きなものとなりうる。
【０００３】
露光装置等の製造装置において不具合が発生した場合に、その原因を調査するためには、その不具合を再現させることが効果的である。不具合を再現させるためには、再現情報が必要である。再現情報の例として、例えば、露光装置が実行したジョブを制御するレシピ（製造条件）、露光装置に設定されているパラメータ（露光装置の特性）を挙げることができる。このような再現情報を使って、擬似露光装置において不具合を再現させることができる。
【０００４】
特許文献１には、装置コマンドの実行および制御パラメータの変更の履歴を集計および記憶するする手段を有するデバイス製造装置が開示されている。特許文献２には、制御コマンドおよび装置状態にタイムスタンプ（時間情報）を付加してログ情報保存部に保存し、これらを再生することが開示されている。特許文献３には、半導体製造装置を構成するユニットを代替することができるシミュレーションプログラムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−７７７８５号公報
【特許文献２】特開２００３−１３３１９３公報
【特許文献３】特開平１１−１８６１１８公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
制御パラメータの変更、装置状態の変化をそれぞれ制御パラメータの変更履歴、装置状態の変化履歴として記録しておき、それらに基づいて製造装置の過去の状態を再現することは、不具合の発生原因を解明するために有用である。しかしながら、動作再現のために選択された情報を記録した履歴ではなく、種々のイベントを記録した動作ログしか存在しない場合には、製造装置の状態を再現することは容易ではない。特許文献１、２に記載された発明は、動作ログから制御パラメータや装置状態を生成するアプローチと対立するものである。
【０００７】
本発明は、例えば、製造装置から出力された動作ログに基づいて該製造装置の状態を擬似製造装置によって再現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の１つの側面は、製造装置の状態を擬似製造装置によって再現する再現方法に係り、前記再現方法は、前記製造装置から出力された動作ログを取得する取得工程と、前記動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、抽出したパラメータの値を処理することにより状態再現情報を生成する生成工程と、前記状態再現情報に基づいて前記製造装置の状態を前記擬似製造装置によって再現する状態再現工程とを含み、前記状態再現情報は、前記製造装置に入力された製造条件を示す製造条件情報および前記製造装置の特性を示す特性情報の少なくとも１つを含む。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、例えば、製造装置から出力された動作ログに基づいて該製造装置の状態を擬似製造装置によって再現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態の再現システムの概略構成を示す図。
【図２】動作ログを例示する図。
【図３】露光部の構成を例示する図。
【図４】本発明の第１実施形態の再現システムにおいて実行される再現方法を例示する図。
【図５】再現情報の生成処理を例示する図。
【図６】製造情報情報（ショットレイアウト情報）の生成のために使用される抽出キーテーブルを例示する図。
【図７】製造条件情報（ショットレイアウト情報）を例示する図。
【図８】特性情報（駆動速度情報）の生成のために使用される抽出キーテーブルを例示する図。
【図９】駆動速度情報を生成するために抽出されたパラメータの値を例示する図。
【図１０】本発明の第２実施形態の再現システムの概略構成を示す図。
【図１１】指令ログを例示する図。
【図１２】動作再現プログラムを例示する図。
【図１３】本発明の第２実施形態の動作再現システムにおいて実行される再現方法を例示する図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明する。
【００１２】
［第１実施形態］
図１を参照しながら本発明の第１実施形態の再現システム５０について説明する。第１実施形態の再現システム５０は、製造装置の状態を擬似製造装置によって再現するように構成されうる。製造装置は、例えば、リソグラフィー工程において使用される露光装置３でありうる。露光装置３は、原版（レチクル）のパターンを投影光学系によって基板に投影することにより該基板を露光する露光部２と、露光部２を制御する制御部１とを含みうる。
【００１３】
露光装置３の制御部１は、露光装置３に入力される情報（指令を含みうる）および露光装置３において発生する情報が時系列に記録された動作ログを生成し出力する。図２に動作ログが例示されている。動作ログ２０１は、単位情報の集合であり、各単位情報は、予め設定されたタイミングで記録され、および／または、イベントの発生に応答して記録される。動作ログ２０１における１つの行は、例えば、１回の記録動作で記録される単位情報で構成されうる。単位情報は、例えば、時刻欄２０２、動作記録識別子欄２０３、ラベル欄２０４、パラメータ値欄２０５を含みうる。
【００１４】
再現システム５０は、取得部５と、生成部１８と、状態再現部１９、動作再現部２０とを備える。再現システム５０は、例えば、取得部５と、生成部１８と、状態再現部１９、動作再現部２０を構成するためのプログラムをコンピュータに実行させることによって構成されうる。取得部５は、露光装置３（製造装置）から出力された動作ログを取得する。生成部１８は、取得部５が取得した動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、その抽出したパラメータの値を処理することにより状態再現情報を生成する。状態再現部１９は、生成部１８が生成した状態再現情報に基づいて擬似露光装置（擬似製造装置）１１に露光装置３の状態を再現させる。状態再現情報が露光装置３において不具合が発生したときの動作ログに基づいて生成されたものであれば、不具合の発生時における露光装置３の状態を擬似露光装置１１によって再現することができる。動作再現部２０は、状態再現情報が設定された擬似露光装置１１を動作させる。擬似露光装置１１は、この実施形態では、再現システム５０において、シミュレータとして構成された仮想的な装置である。ただし、擬似露光装置１１は、物理的な露光装置であってもよい。再現システム５０は、１又は複数のコンピュータにプログラムを組み込むことによって構成されうる。
【００１５】
取得部５は、例えば、露光装置３と通信路を介して接続するための通信インターフェースを含み、露光装置３から出力された動作ログを該該通信路を介して取得するように構成されうる。或いは、取得部５は、露光装置３から出力された動作ログを保持したサーバー等のコンピュータから該通信インターフェースを介して該動作ログを取得してもよい。或いは、取得部５は、メディアリーダを含み、露光装置３からメディアに出力された動作ログを該メディアリーダによって取得してもよい。取得部５が取得した動作ログは、取得部５内のメモリに格納される。
【００１６】
第１実施形態では、状態再現情報は、露光装置３に入力された製造条件を示す製造条件情報、および、露光装置３の特性を示す特性情報の双方を含み、生成部１８は、製造条件情報生成部４および特性情報生成部６を含む。製造条件情報生成部４は、取得部５が取得した動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、その抽出したパラメータの値を処理することによって製造条件情報（レシピ情報）する。特性情報生成部６は、取得部５が取得した動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、その抽出したパラメータの値を処理することによって特性情報を生成する。生成部１８は、製造条件情報生成部４および特性情報生成部６の少なくとも一方を含むように構成されてもよい。
【００１７】
製造条件情報（レシピ情報）は、例えば、ショットレイアウト、露光条件（例えば、露光量、照明条件）、等のプロセスに固有の製造条件情報を含む。特性情報は、例えば、露光部２のウエハステージ３０６の駆動速度、レチクルステージ３０４の駆動速度、構成要素の取付け位置や経時変化による誤差を補正するための調整値、基板および原板を搬送する各アームの駆動速度、等の特性を示す情報を含みうる。特性情報はまた、例えば、原板のパターンを基板に投影する投影光学系の光学性能、投影光学系を駆動するピエゾ素子の膨張率、光源が発生する光の量、等の特性を示す情報を含みうる。特性情報は、個々の露光装置３に固有の値を有しうる。これは、露光装置３間に機差が存在しうることを意味する。
【００１８】
擬似露光装置１１は、現実の露光装置３の制御部１、露光部２の動作をそれぞれ擬似的に実行する制御部モデル９、露光部モデル１０を含みうる。制御部１は、操作者から指示を受けたり、操作者にメッセージ等を提供したりするユーザインターフェースを含み、制御部モデル９は、そのような制御部１の動作を擬似的に実行する。
【００１９】
製造条件設定部７は、制御部モデル９に対して、製造条件情報生成部４が生成した製造条件情報（レシピ情報）を擬似露光装置１１の制御部モデル９に設定する。これは、プロセスの制御のために準備された製造条件情報が制御部１に設定される動作を擬似的に実行することに相当する。特性情報設定部８は、特性情報生成部６が特性情報を擬似露光装置１１の露光部モデル１０に設定する。これは、露光部モデル１０の特性が現実の露光部２の特性と同様の特性を有するように露光部モデル１０が擬似的に調整されることに相当する。擬似露光装置１１に対する製造条件情報および特性情報の設定は、擬似露光装置１１に露光装置３の状態を再現させることを意味する。
【００２０】
図３を参照しながら露光部２の構成を例示的に説明する。露光部２は、図３には示されていないが、前述のように、制御部１によって制御される。露光部２（露光装置３）は、計測ステーション３０１および露光ステーション３０２を有する。露光部２は、計測ステーション３０１および露光ステーション３０２に共通の構成要素として、２つのウエハステージ３０６（３０６ａ、３０６ｂ）と、ウエハステージ３０６を支持する定盤３０７とを有する。２つのウエハステージ３０６（３０６ａ、３０６ｂ）は、ウエハ（基板）３０５（３０５ａ、３０５ｂ）を保持し、２つのステーション３０１、３０２間で移動する。露光ステーション３０２は、レチクル（原版）３０３を支持するレチクルステージ３０４と、レチクル３０３を照明する照明光学系３０８と、レチクル３０３のパターンをウエハステージ３０６上のウエハ３０５に投影する投影光学系３０９とを備える。
【００２１】
ここでは、露光部２は、レチクル３０３とウエハ３０５とを走査方向に互いに同期移動させつつレチクル３０３のパターンをウエハ３０５に転写するスキャナとして構成されている例を説明するが、露光部２は、ステッパとしも構成されうる。以下の説明において、投影光学系３０９の光軸と一致する方向をＺ軸方向、Ｚ軸方向に垂直な平面内でレチクル３０３とウエハ３０５との同期走査方向をＹ軸方向、Ｚ軸方向およびＹ軸方向に垂直な方向（非走査方向）をＸ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸まわり方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、およびθＺ方向とする。
【００２２】
レチクル３０３は、照明光学系３０８によって均一な照度分布で照明される照明領域を走査するように駆動される。照明光学系３０８は、通過する光束の領域を制限する開口径可変のマスキングブレードを有し、光の一部が遮断されることにより照明領域が規定される。照明光学系３０８は、光源として、例えば、水銀ランプ、ＫｒＦエキシマレーザ、ＡｒＦエキシマレーザ、Ｆ２レーザ、極紫外光源（Ｅｘｔｒｅｍｅ Ｕｌｔｒａ Ｖｉｏｌｅｔ：ＥＵＶ光源）を使用しうる。
【００２３】
レチクルステージ３０４は、レチクル３０３を保持する。レチクルステージ３０４は、その位置がレーザ干渉計等の計測器によって計測されながら、リニアモータ等のレチクルステージ駆動部（不図示）により駆動される。ウエハステージ３０６は、ウエハ３０５を保持する。ウエハステージ３０６は、その位置がレーザ干渉計等の計測器によって計測されながら、リニアモータ等のウエハステージ駆動部（不図示）により駆動される。
【００２４】
レチクルステージ３０４の近傍には、レチクルアライメント検出系（不図示）が配置されている。レチクルアライメント検出系は、レチクルステージ３０４に配置されているレチクル基準マーク３１０と投影光学系３０９とを通してウエハステージ３０６上のステージ基準マーク３１１（３１１ａ、３１１ｂ）を検出する。この検出結果に基づいて、レチクル基準マーク３１０に対しステージ基準マーク３１１が位置合わせされる。
【００２５】
計測ステーション３０１は、ウエハ３０５表面の位置情報（Ｚ軸方向における位置情報および傾斜情報）を検出するフォーカス検出系３１２と、ウエハ３０５とステージ基準マーク３１１の位置を検出するウエハアライメント検出系３１３とを備えている。
【００２６】
２つのウエハステージを有する露光部では、露光ステーション３０２において１枚のウエハが露光されている間に、計測ステーション３０１において他のウエハが計測される。
【００２７】
図４を参照しながら本発明の第１実施形態の再現システム５０において実行される再現方法を例示的に説明する。この再現方法は、例えば、コンピュータに以下の工程を実行させるプログラムによって実現されうる。ステップＳ４０１（取得工程）では、取得部５は、露光装置３の制御部１から出力された動作ログを取得する。ステップＳ４０２（製造条件情報の生成工程）では、生成部１８の製造条件情報生成部４は、再現情報の１つとしての製造条件情報（レシピ情報）を生成する。具体的には、製造条件情報生成部４は、ステップＳ４０１で取得部５が取得した動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、その抽出したパラメータの値を処理することによって製造条件情報（レシピ情報）を生成する。
【００２８】
図５を参照してステップＳ４０２（製造条件情報の生成工程）における処理を例示的に説明する。この例では、動作ログから製造条件情報の生成のために必要なパラメータの値を抽出するための抽出キーとして、動作記録識別子およびラベルが使用される。そのために、この実施形態では、値を抽出すべきパラメータ（以下、抽出パラメータ）と抽出のために使用する抽出キーとしての動作記録識別子およびラベルとの対応関係を示す抽出キーテーブルが事前に設定される。この抽出キーテーブルに含まれる各抽出キーを含む動作ログ中の単位情報からパラメータの値が抽出される。以下、図５に示したフローチャートに沿って製造条件情報（レシピ情報）の生成について説明する。ここでは、より具体的な例を提供するために、製造条件情報としてショットレイアウト情報を生成する方法を説明する。
【００２９】
ステップＳ５０１では、抽出パラメータと、該抽出パラメータの動作ログファイルにおける識別子である動作記録識別子およびラベルとの対応関係が製造条件情報生成部４に設定される。この設定は、例えば、図６に例示するような抽出キーテーブルを読み込むことによってなされうる。例えば、ショット領域のレイアウトを示すショットレイアウト情報（レシピ情報に含まれるべき情報）は、ショット番号、ショット中心位置、ショット領域を示す情報を含む。図６に示す例では、抽出パラメータである"ショット番号"を含む単位情報（ここでは、１行）は、動作記録識別子である"露光開始"およびラベルである"ＳｈｏｔＮＯ．"を抽出キーとして使って抽出することができる。
【００３０】
ステップＳ５０２では、製造条件情報生成部４は、図２に例示される動作ログから１つの行の情報（単位情報）を読み込む。次に、ステップＳ５０３では、製造条件情報生成部４は、当該行にステップＳ５０１で設定された動作記録識別子（例えば、露光開始、ウエハステージＡ露光位置、マスキングブレード露光位置）が含まれているか否かを判定する。当該行に動作記録識別子が含まれている場合には、ステップＳ５０４に処理が進められ、そうでない場合には、ステップＳ５０２に処理が戻される。
【００３１】
ステップＳ５０４では、製造条件情報生成部４は、当該行にステップＳ５０１で設定されたラベル（例えば、ＳｈｏｔＮＯ．、Ｐｏｓ（Ｘ，Ｙ）、Ｐｏｓ（ＸＬ，ＸＲ，ＹＴ，ＹＢ））が含まれているか否かを判定する。例えば、読み込んだ行が図２に示す例における第４行であるとすると、当該行に動作記録識別子である"露光開始"が含まれるので、ステップＳ５０３からステップＳ５０４に処理が進められる。そして、ステップＳ５０４において、当該行に設定されたラベル（例えば、ＳｈｏｔＮＯ．Ｐｏｓ（Ｘ，Ｙ）、Ｐｏｓ（ＸＬ，ＸＲ，ＹＴ，ＹＢ））が含まれるか否かが判定される。当該行に設定されたラベルが含まれている場合には、ステップＳ５０５に処理が進められ、そうでない場合には、ステップＳ５０２に処理が戻される。
【００３２】
ステップＳ５０５では、製造条件情報生成部４は、読み込んだ行からパラメータ値欄２０５の値を抽出する。例えば、第４行については、製造条件情報生成部４は、抽出パラメータである"ショット番号"についてのパラメータの値、即ちパラメータ値欄２０５の値である"１"を抽出する。また、ショットレイアウト情報の抽出の例においては、製造条件情報生成部４は、同様の方法で、ショット中心位置およびショット領域を抽出する。抽出されるショット中心位置およびショット領域は、直前に抽出されたショット番号に対応するショット中心位置およびショット領域として扱われる。
【００３３】
ステップＳ５０６では、製造条件情報生成部４は、動作ログの全ての行を処理したか否かを判定し、全ての行を処理した場合にはステップＳ５０７に処理を進め、そうでない場合にはステップＳ５０２に処理を戻して新たな行の処理を開始する。
【００３４】
ステップＳ５０７では、製造条件情報生成部４は、ステップＳ５０５で抽出された複数のパラメータの値を処理（例えば、ショット番号、ショット中心位置およびショット領域の対応付け）してショットレイアウト情報（製造条件情報）を生成する。図７は、このようにして生成されるショットレイアウト情報を例示している。ここでは、具体例としてショットレイアウト情報の生成方法について説明したが、製造条件情報を構成する他の情報（例えば、露光条件情報）についても、同様の方法で生成することができる。
図４に戻り、ステップＳ４０３（状態再現工程の一部）では、製造条件設定部７は、ステップＳ４０２で生成された製造条件情報（レシピ情報）を擬似露光装置１１の制御部モデル９に設定する。
【００３５】
ステップＳ４０４では、生成部１８の特性情報生成部６は、再現情報の１つとしての特性情報を生成する。具体的には、特性情報生成部６は、ステップＳ４０１で取得部５が取得した動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、その抽出したパラメータの値を処理することによって特性情報を生成する。ここで、生成対象の情報が異なる点を除けば、特性情報の生成のために必要なパラメータの値を動作ログらから抽出する手順は、ステップＳ４０２と同様である。
図５を参照してステップＳ４０４（特性情報の生成工程）におけるパラメータの値の抽出処理を例示的に説明する。この例では、動作ログから特性情報の生成のために必要なパラメータの値を抽出するための抽出キーとして、動作記録識別子およびラベルが使用される。そのために、この実施形態では、抽出パラメータと抽出のために使用する抽出キーとしての動作記録識別子およびラベルとの対応関係を示す抽出キーテーブルが事前に設定される。この抽出キーテーブルに含まれる各抽出キーを含む動作ログ中の単位情報からパラメータの値が抽出される。以下、図５に示したフローチャートに沿って特性情報の生成について説明する。ここで、より具体的な例を提供するために、特性情報として露光部２が有する構成要素（ここでは、ステージ）の駆動速度情報を生成する方法を説明する。
【００３６】
ステップＳ５０１では、抽出パラメータと、該抽出パラメータの動作ログファイルにおける識別子である動作記録識別子およびラベルとの対応関係が特性情報生成部６に設定される。この設定は、例えば、図８に例示するような抽出キーテーブルを読み込むことによってなされうる。ステージの駆動速度情報を生成するために値を抽出すべきパラメータ（抽出パラメータ）は、駆動開始時刻、駆動終了時刻、駆動開始位置、駆動終了位置である。図８に例示される抽出キーテーブルは、これらの抽出パラメータの動作ログにおける識別子である動作記録識別子およびラベルを抽出キーとして含む。
【００３７】
ステップＳ５０２では、特性情報生成部６は、動作ログから１つの行の情報（単位情報）を読み込む。次に、ステップＳ５０３では、特性情報生成部６は、当該行にステップＳ５０１で設定された動作記録識別子（例えば、ウエハステージＡ駆動開始）が含まれているか否かを判定する。なお、ウエハステージＡは、ウエハステージ３０６ａに対応し、ウエハステージＢは、ウエハステージ３０６ｂに対応する。当該行に動作記録識別子が含まれている場合には、ステップＳ５０４に処理が進められ、そうでない場合には、ステップＳ５０２に処理が戻される。
【００３８】
ステップＳ５０４では、特性情報生成部６は、当該行にステップ５０１で設定されたラベル（例えば、Ｐｏｓ（Ｘ，Ｙ））が含まれているか否かを判定する。例えば、読み込んだ行が図２に示す例における第５行であるとすると、当該行に動作記録識別子である"ウエハステージＡ駆動開始"が含まれるので、ステップＳ５０３からステップＳ５０４に処理が進められる。そして、ステップＳ５０４において、当該行に設定されたラベル（例えば、Ｐｏｓ（Ｘ，Ｙ））が含まれるか否かが判定される。当該行に設定されたラベルが含まれている場合には、ステップＳ５０５に処理が進められ、そうでない場合には、ステップＳ５０２に処理が戻される。
【００３９】
ステップＳ５０５では、特性情報生成部６は、読み込んだ行からパラメータ値欄２０５の値を抽出する。例えば、第５行については、特性情報生成部６は、抽出パラメータである"駆動開始位置"についパラメータの値、即ち、パラメータ値欄２０５の値である"（５２．０００，−４１．５００）"を抽出する。なお、処理時刻を抽出する場合は、図８に例示するように、ラベルとして"処理時刻"を設定する。
【００４０】
ステップＳ５０６では、特性情報生成部６は、動作ログの全ての行を処理したか否かを判定し、全ての行を処理した場合にはステップＳ５０７に処理を進め、そうでない場合にはステップＳ５０２に処理を戻して新たな行の処理を開始する。以上のようにしてステージの駆動速度情報を生成するために抽出されたパラメータの値が図９に例示されている。
ステップＳ５０７では、特性情報生成部６は、ステップＳ５０５で抽出された複数のパラメータの値を処理してウエハステージＡ、ウエハステージＢ、レチクルステージの駆動速度情報を生成する。具体的には、特性情報生成部６は、駆動開始時刻と駆動終了時刻とから駆動所要時間を算出し、駆動開始位置と駆動終了位置から駆動距離を算出し、該駆動所要時間と該駆動距離とからステージの駆動速度を算出することができる。ここでは、具体例として、特性情報としてステージの駆動速度情報を生成する例を説明したが、他の特性情報についても必要なパラメータの値を同様の方法で抽出することができる。
図４に戻り、ステップＳ４０５（状態再現工程の一部）では、特性情報設定部８は、ステップＳ４０４で生成された特性情報を擬似露光装置１１の露光部モデル１０に設定する。次に、ステップＳ４０６（動作再現工程）では、動作再現部２０は、ステップＳ４０３およびＳ４０５によって露光装置３の状態を再現するように設定された擬似露光装置（擬似製造装置）１１を動作させる。この動作は、例えば、再現システム５０に備えられた不図示の入力インターフェースを介して与えられる指令を制御部モデル９に送ることに応じてなされうる。再現情報（製造条件情報、特性情報）が露光装置３において不具合が発生したときのものであれば、擬似露光装置１１においてその不具合が再現されうる。 なお、ステップＳ４０２およびＳ４０３を含む処理の先にステップＳ４０４およびＳ４０５を含む処理が実行されてもよい。また、ステップＳ４０３は、ステップＳ４０２とステップＳ４０６との間であれば、いつ実行されてもよい。また、ステップＳ４０５は、ステップＳ４０４がステップＳ４０２またはＳ４０３の前に実行される場合において、ステップＳ４０４とステップＳ４０６との間であれば、いつ実行されてもよい。
以上のように、本発明の第１実施形態によれば、露光装置等の製造装置から出力された動作ログに基づいて該製造装置の状態を擬似製造装置に再現させることができる。
［第２実施形態］
図１０を参照しながら本発明の第２実施形態の再現システム５５について説明する。第２実施形態の再現システム５５は、製造装置の状態を擬似製造装置によって再現するように構成されうる。製造装置は、例えば、リソグラフィー工程において使用される露光装置３でありうる。
【００４１】
第２実施形態の再現システム５５は、第１実施形態の再現システム５０に対して、製造装置としての露光装置３に対する外部装置からの指令を再現する機能を付加したものである。外部装置は、例えば、露光装置３をネットワーク等の通信路を介して遠隔操作する遠隔操作装置（例えば、コンピュータ）であったり、露光装置３に接続された製造装置（例えば、処理装置、搬送装置）であったりしうる。露光装置３に接続された製造装置は、例えば、露光装置３と塗布現像装置（コータデベロッパ）との間でウエハ（基板）を搬送する搬送装置でありうる。搬送装置は、塗布現像装置の塗布部でレジスタが塗布されたウエハを露光装置３に搬送し、露光装置３で露光されたウエハを塗布現像装置の現像部に搬送するように構成されうる。塗布部と現像部とは、別の筐体に配置されてもよく、この場合には、塗布部は塗布装置、現像部は現像装置とも呼ばれうる。
【００４２】
第２実施形態の再現システム５５は、指令ログ取得部３１、動作再現プログラム生成部３２が追加されていることを除いて第１実施形態の再現システム５０と同様の構成を有する。再現システム５５は、例えば、取得部５と、生成部１８と、状態再現部１９、動作再現部２０、指令ログ取得部３１、動作再現プログラム生成部３２を構成するためのプログラムをコンピュータに実行させることによって構成されうる。
【００４３】
指令ログ取得部３１は、露光装置３から出力された指令ログを取得する。動作再現プログラム生成部３２は、指令ログ取得部が取得した指令ログに基づいて、該指令ログに含まれる指令を再現するための動作再現プログラムを生成する。動作再現部２０は、該動作再現プログラムを実行することによって擬似露光装置１１の制御部モデル９に指令を送る。これにより、制御部モデル９には、制御部１が実際に受けた指令と同様の指令が与えられる。
露光装置３の制御部１には、外部装置、および露光装置３に備えられた操作ユニット（例えば、オペレーションパネル）から種々の指令を受けうる。制御部１は、受けた指令を時系列に指令ログとして記録する。指令は、例えば、制御パラメータの変更、ウエハ（基板）の搬入および搬出を要求する指令でありうる。指令ログは、露光装置３に対する指令を出した装置またはユニット（指令元）、指令内容、指令パラメータ、指令時刻、指令記録識別子等を含みうる。指令ログは、単位情報の集合であり、各単位情報は、露光装置３が受けた１つの指令に関する情報である。図１１に指令ログが例示されている。指令ログ１１０１における１つの行は、例えば、１回の記録動作で記録される単位情報で構成されうる。単位情報は、例えば、時刻欄１１０２、指令元欄１１０３、指令記録識別子欄１１０４、ラベル欄１１０５、パラメータ値欄１１０６を含む。図１１において、"インライン"は、露光装置３と塗布現像装置との間でウエハを搬送する搬送装置を意味し、"オペレータ"は、露光装置３に備えられた操作ユニットを意味し、"オンライン"は、露光装置３を遠隔操作する遠隔操作装置を意味する。ここで、露光装置３の制御部１における指令ログの生成について説明する。露光装置３の制御部１が搬送装置に対して「ウエハ（Ｎｏ．１）搬入」を指令すると、該搬送装置は、指令されたウエハを露光装置に搬送するとともに、制御部１に対してウエハの受け入れを指令する。ここで、露光装置３の制御部１は、時刻欄１１０２にその時点の時刻、指令元欄１１０３に"インライン"、指令記録識別子欄１１０４に"ウエハ搬入"、ラベル欄１１０５に"ＷａｆｅｒＮｏ．"、パラメータ値欄１１０６に"１"を記録する。次に、遠隔装置は、露光装置３の制御部１に対して"ｓａｍｐｌｅ−ｒｅｃｉｐｅ"をレシピとする露光ジョブの開始である「露光開始」を指令する。ここで、露光装置３の制御部１は、時刻欄１１０２にその時点の時刻、指令元欄１１０３に"オンライン"、指令記録識別子欄１１０４に"露光開始"、ラベル欄１１０５に"Ｒｅｃｉｐｅ"、パラメータ値欄１１０６に"ｓａｍｐｌｅ−ｒｅｃｉｐｅ"を記録する。
【００４４】
指令ログ取得部３１は、例えば、露光装置３と通信路を介して接続するための通信インターフェースを含み、露光装置３から出力された指令ログを該通信路を介して取得するように構成されうる。この場合の通信インターフェースは、取得部５のインターフェースと共用されうる。或いは、指令ログ取得部３１は、露光装置３から出力された指令ログを保持したサーバー等のコンピュータから該通信インターフェースを介して該指令ログを取得してもよい。或いは、指令ログ取得部３１は、メディアリーダを含み、露光装置３からメディアに出力された指令ログを該メディアリーダによって取得してもよい。指令ログ取得部３１が取得した指令ログは、指令ログ取得部３１内のメモリに格納される。
【００４５】
動作再現プログラム生成部３２は、指令ログ取得部３１が取得した指令ログに含まれる指令を再現するための動作再現プログラムを生成する。動作再現プログラムは、例えば、計測指令、レシピ情報に従う露光ジョブの実行、レシピパラメータ値の変更、ウエハの搬入および搬出の指令を含みうる。図１２に動作再現プログラムが例示されている。図１２において、各行は、１回の動作に対応している。動作再現プログラム１２０１は、例えば、動作識別子１２０２、動作内容１２０３を含みうる。動作再現部２０は、動作再現プログラム１２０１を実行することによって動作再現のための指令を発生し、該指令を擬似露光装置１１の制御部モデル９に送る。
【００４６】
図１３を参照しながら本発明の第２実施形態の再現システム５５において実行される再現方法を例示的に説明する。この再現方法は、例えば、コンピュータに以下の工程を実行させるプログラムによって実現されうる。なお、ステップＳ４０１〜Ｓ４０５は、第１実施形態における再現方法と同様である。
【００４７】
ステップＳ４１１（指令ログの取得工程）では、指令ログ取得部３１は、露光装置３の制御部１から出力された指令ログを取得する。ステップＳ４１２（動作再現プログラムの生成工程）では、動作再現プログラム生成部３２は、ステップＳ１３０１で指令ログ取得部３１が取得した指令ログに基づいて動作再現プログラムを生成する。図１１および図１２を参照しながら説明すると、動作再現プログラム生成部３２は、指令ログ１１０１の第１行に記録されたウエハの搬入時刻と第２行に記録されたウエハステージパラメータの変更時刻とを抽出し、それらの時刻の差分（５秒）を算出する。次に、動作再現プログラム生成部３２は、ウエハ搬入とＸＹステージパラメータ変更との間にその差分時刻の遅延処理（Ｄｅｌａｙ（５））を追加する。これにより、動作再現プログラム１２０１は、ウエハ搬入とパラメータ変更との間に指令ログの記録時と同様の時間差を生じさせることができる。
次に、ステップＳ４０６（動作再現工程）では、動作再現部２０は、ステップＳ４１２で生成された動作再現プログラムを実行して、擬似露光装置１１の制御部モデル９に対して指令を与える。擬似露光装置１１は、ステップＳ４０３およびＳ４０５によって露光装置３の状態を再現するように設定された状態で露光装置３の動作を再現する。
【００４８】
なお、ステップＳ４０２およびＳ４０３を含む処理の先にステップＳ４０４およびＳ４０５を含む処理が実行されてもよい。また、ステップＳ４０３は、ステップＳ４０２とステップＳ４１３との間であれば、いつ実行されてもよい。また、ステップＳ４０５は、ステップＳ４０４とステップＳ４１３との間であれば、いつ実行されてもよい。また、ステップＳ４１１は、ステップＳ４１３の前であれば、いつ実行されてもよい。
以上のように、本発明の第２実施形態によれば、露光装置等の製造装置から出力された動作ログに基づいて該製造装置の状態を擬似製造装置に再現させた状態で、指令ログに基づいて擬似製造装置の動作を再現させることができる。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、再現方法およびそのシステムならびにプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス、フラットパネルディスプレイ等の各種のデバイスを製造するためのリソグラフィー工程において露光装置が使用される。露光装置は、製造装置であるため、終日にわたって停止することなく使用されることが一般的である。露光処理がなされない時間であるダウンタイムは、たとえ計画的なものであっても生産性に影響を与える。さらに、突発的に露光装置が使用できなくなった場合には、生産性の低下はより大きなものとなりうる。
【０００３】
露光装置等の製造装置において不具合が発生した場合に、その原因を調査するためには、その不具合を再現させることが効果的である。不具合を再現させるためには、再現情報が必要である。再現情報の例として、例えば、露光装置が実行したジョブを制御するレシピ（製造条件）、露光装置に設定されているパラメータ（露光装置の特性）を挙げることができる。このような再現情報を使って、擬似露光装置において不具合を再現させることができる。
【０００４】
特許文献１には、装置コマンドの実行および制御パラメータの変更の履歴を集計および記憶するする手段を有するデバイス製造装置が開示されている。特許文献２には、制御コマンドおよび装置状態にタイムスタンプ（時間情報）を付加してログ情報保存部に保存し、これらを再生することが開示されている。特許文献３には、半導体製造装置を構成するユニットを代替することができるシミュレーションプログラムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−７７７８５号公報
【特許文献２】特開２００３−１３３１９３公報
【特許文献３】特開平１１−１８６１１８公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
制御パラメータの変更、装置状態の変化をそれぞれ制御パラメータの変更履歴、装置状態の変化履歴として記録しておき、それらに基づいて製造装置の過去の状態を再現することは、不具合の発生原因を解明するために有用である。しかしながら、動作再現のために選択された情報を記録した履歴ではなく、種々のイベントを記録した動作ログしか存在しない場合には、製造装置の状態を再現することは容易ではない。特許文献１、２に記載された発明は、動作ログから制御パラメータや装置状態を生成するアプローチと対立するものである。
【０００７】
本発明は、例えば、製造装置から出力された動作ログに基づいて該製造装置の状態を擬似製造装置によって再現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の１つの側面は、製造装置の状態を擬似製造装置によって再現する再現方法に係り、前記再現方法は、前記製造装置から出力された動作ログを取得する取得工程と、前記動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、抽出したパラメータの値を処理することにより状態再現情報を生成する生成工程と、前記状態再現情報に基づいて前記製造装置の状態を前記擬似製造装置によって再現する状態再現工程とを含み、前記状態再現情報は、前記製造装置に入力された製造条件を示す製造条件情報および前記製造装置の特性を示す特性情報の少なくとも１つを含む。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、例えば、製造装置から出力された動作ログに基づいて該製造装置の状態を擬似製造装置によって再現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態の再現システムの概略構成を示す図。
【図２】動作ログを例示する図。
【図３】露光部の構成を例示する図。
【図４】本発明の第１実施形態の再現システムにおいて実行される再現方法を例示する図。
【図５】再現情報の生成処理を例示する図。
【図６】製造情報情報（ショットレイアウト情報）の生成のために使用される抽出キーテーブルを例示する図。
【図７】製造条件情報（ショットレイアウト情報）を例示する図。
【図８】特性情報（駆動速度情報）の生成のために使用される抽出キーテーブルを例示する図。
【図９】駆動速度情報を生成するために抽出されたパラメータの値を例示する図。
【図１０】本発明の第２実施形態の再現システムの概略構成を示す図。
【図１１】指令ログを例示する図。
【図１２】動作再現プログラムを例示する図。
【図１３】本発明の第２実施形態の動作再現システムにおいて実行される再現方法を例示する図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明する。
【００１２】
［第１実施形態］
図１を参照しながら本発明の第１実施形態の再現システム５０について説明する。第１実施形態の再現システム５０は、製造装置の状態を擬似製造装置によって再現するように構成されうる。製造装置は、例えば、リソグラフィー工程において使用される露光装置３でありうる。露光装置３は、原版（レチクル）のパターンを投影光学系によって基板に投影することにより該基板を露光する露光部２と、露光部２を制御する制御部１とを含みうる。
【００１３】
露光装置３の制御部１は、露光装置３に入力される情報（指令を含みうる）および露光装置３において発生する情報が時系列に記録された動作ログを生成し出力する。図２に動作ログが例示されている。動作ログ２０１は、単位情報の集合であり、各単位情報は、予め設定されたタイミングで記録され、および／または、イベントの発生に応答して記録される。動作ログ２０１における１つの行は、例えば、１回の記録動作で記録される単位情報で構成されうる。単位情報は、例えば、時刻欄２０２、動作記録識別子欄２０３、ラベル欄２０４、パラメータ値欄２０５を含みうる。
【００１４】
再現システム５０は、取得部５と、生成部１８と、状態再現部１９、動作再現部２０とを備える。再現システム５０は、例えば、取得部５と、生成部１８と、状態再現部１９、動作再現部２０を構成するためのプログラムをコンピュータに実行させることによって構成されうる。取得部５は、露光装置３（製造装置）から出力された動作ログを取得する。生成部１８は、取得部５が取得した動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、その抽出したパラメータの値を処理することにより状態再現情報を生成する。状態再現部１９は、生成部１８が生成した状態再現情報に基づいて擬似露光装置（擬似製造装置）１１に露光装置３の状態を再現させる。状態再現情報が露光装置３において不具合が発生したときの動作ログに基づいて生成されたものであれば、不具合の発生時における露光装置３の状態を擬似露光装置１１によって再現することができる。動作再現部２０は、状態再現情報が設定された擬似露光装置１１を動作させる。擬似露光装置１１は、この実施形態では、再現システム５０において、シミュレータとして構成された仮想的な装置である。ただし、擬似露光装置１１は、物理的な露光装置であってもよい。再現システム５０は、１又は複数のコンピュータにプログラムを組み込むことによって構成されうる。
【００１５】
取得部５は、例えば、露光装置３と通信路を介して接続するための通信インターフェースを含み、露光装置３から出力された動作ログを該該通信路を介して取得するように構成されうる。或いは、取得部５は、露光装置３から出力された動作ログを保持したサーバー等のコンピュータから該通信インターフェースを介して該動作ログを取得してもよい。或いは、取得部５は、メディアリーダを含み、露光装置３からメディアに出力された動作ログを該メディアリーダによって取得してもよい。取得部５が取得した動作ログは、取得部５内のメモリに格納される。
【００１６】
第１実施形態では、状態再現情報は、露光装置３に入力された製造条件を示す製造条件情報、および、露光装置３の特性を示す特性情報の双方を含み、生成部１８は、製造条件情報生成部４および特性情報生成部６を含む。製造条件情報生成部４は、取得部５が取得した動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、その抽出したパラメータの値を処理することによって製造条件情報（レシピ情報）する。特性情報生成部６は、取得部５が取得した動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、その抽出したパラメータの値を処理することによって特性情報を生成する。生成部１８は、製造条件情報生成部４および特性情報生成部６の少なくとも一方を含むように構成されてもよい。
【００１７】
製造条件情報（レシピ情報）は、例えば、ショットレイアウト、露光条件（例えば、露光量、照明条件）、等のプロセスに固有の製造条件情報を含む。特性情報は、例えば、露光部２のウエハステージ３０６の駆動速度、レチクルステージ３０４の駆動速度、構成要素の取付け位置や経時変化による誤差を補正するための調整値、基板および原板を搬送する各アームの駆動速度、等の特性を示す情報を含みうる。特性情報はまた、例えば、原板のパターンを基板に投影する投影光学系の光学性能、投影光学系を駆動するピエゾ素子の膨張率、光源が発生する光の量、等の特性を示す情報を含みうる。特性情報は、個々の露光装置３に固有の値を有しうる。これは、露光装置３間に機差が存在しうることを意味する。
【００１８】
擬似露光装置１１は、現実の露光装置３の制御部１、露光部２の動作をそれぞれ擬似的に実行する制御部モデル９、露光部モデル１０を含みうる。制御部１は、操作者から指示を受けたり、操作者にメッセージ等を提供したりするユーザインターフェースを含み、制御部モデル９は、そのような制御部１の動作を擬似的に実行する。
【００１９】
製造条件設定部７は、制御部モデル９に対して、製造条件情報生成部４が生成した製造条件情報（レシピ情報）を擬似露光装置１１の制御部モデル９に設定する。これは、プロセスの制御のために準備された製造条件情報が制御部１に設定される動作を擬似的に実行することに相当する。特性情報設定部８は、特性情報生成部６が特性情報を擬似露光装置１１の露光部モデル１０に設定する。これは、露光部モデル１０の特性が現実の露光部２の特性と同様の特性を有するように露光部モデル１０が擬似的に調整されることに相当する。擬似露光装置１１に対する製造条件情報および特性情報の設定は、擬似露光装置１１に露光装置３の状態を再現させることを意味する。
【００２０】
図３を参照しながら露光部２の構成を例示的に説明する。露光部２は、図３には示されていないが、前述のように、制御部１によって制御される。露光部２（露光装置３）は、計測ステーション３０１および露光ステーション３０２を有する。露光部２は、計測ステーション３０１および露光ステーション３０２に共通の構成要素として、２つのウエハステージ３０６（３０６ａ、３０６ｂ）と、ウエハステージ３０６を支持する定盤３０７とを有する。２つのウエハステージ３０６（３０６ａ、３０６ｂ）は、ウエハ（基板）３０５（３０５ａ、３０５ｂ）を保持し、２つのステーション３０１、３０２間で移動する。露光ステーション３０２は、レチクル（原版）３０３を支持するレチクルステージ３０４と、レチクル３０３を照明する照明光学系３０８と、レチクル３０３のパターンをウエハステージ３０６上のウエハ３０５に投影する投影光学系３０９とを備える。
【００２１】
ここでは、露光部２は、レチクル３０３とウエハ３０５とを走査方向に互いに同期移動させつつレチクル３０３のパターンをウエハ３０５に転写するスキャナとして構成されている例を説明するが、露光部２は、ステッパとしも構成されうる。以下の説明において、投影光学系３０９の光軸と一致する方向をＺ軸方向、Ｚ軸方向に垂直な平面内でレチクル３０３とウエハ３０５との同期走査方向をＹ軸方向、Ｚ軸方向およびＹ軸方向に垂直な方向（非走査方向）をＸ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸まわり方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、およびθＺ方向とする。
【００２２】
レチクル３０３は、照明光学系３０８によって均一な照度分布で照明される照明領域を走査するように駆動される。照明光学系３０８は、通過する光束の領域を制限する開口径可変のマスキングブレードを有し、光の一部が遮断されることにより照明領域が規定される。照明光学系３０８は、光源として、例えば、水銀ランプ、ＫｒＦエキシマレーザ、ＡｒＦエキシマレーザ、Ｆ２レーザ、極紫外光源（Ｅｘｔｒｅｍｅ Ｕｌｔｒａ Ｖｉｏｌｅｔ：ＥＵＶ光源）を使用しうる。
【００２３】
レチクルステージ３０４は、レチクル３０３を保持する。レチクルステージ３０４は、その位置がレーザ干渉計等の計測器によって計測されながら、リニアモータ等のレチクルステージ駆動部（不図示）により駆動される。ウエハステージ３０６は、ウエハ３０５を保持する。ウエハステージ３０６は、その位置がレーザ干渉計等の計測器によって計測されながら、リニアモータ等のウエハステージ駆動部（不図示）により駆動される。
【００２４】
レチクルステージ３０４の近傍には、レチクルアライメント検出系（不図示）が配置されている。レチクルアライメント検出系は、レチクルステージ３０４に配置されているレチクル基準マーク３１０と投影光学系３０９とを通してウエハステージ３０６上のステージ基準マーク３１１（３１１ａ、３１１ｂ）を検出する。この検出結果に基づいて、レチクル基準マーク３１０に対しステージ基準マーク３１１が位置合わせされる。
【００２５】
計測ステーション３０１は、ウエハ３０５表面の位置情報（Ｚ軸方向における位置情報および傾斜情報）を検出するフォーカス検出系３１２と、ウエハ３０５とステージ基準マーク３１１の位置を検出するウエハアライメント検出系３１３とを備えている。
【００２６】
２つのウエハステージを有する露光部では、露光ステーション３０２において１枚のウエハが露光されている間に、計測ステーション３０１において他のウエハが計測される。
【００２７】
図４を参照しながら本発明の第１実施形態の再現システム５０において実行される再現方法を例示的に説明する。この再現方法は、例えば、コンピュータに以下の工程を実行させるプログラムによって実現されうる。ステップＳ４０１（取得工程）では、取得部５は、露光装置３の制御部１から出力された動作ログを取得する。ステップＳ４０２（製造条件情報の生成工程）では、生成部１８の製造条件情報生成部４は、再現情報の１つとしての製造条件情報（レシピ情報）を生成する。具体的には、製造条件情報生成部４は、ステップＳ４０１で取得部５が取得した動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、その抽出したパラメータの値を処理することによって製造条件情報（レシピ情報）を生成する。
【００２８】
図５を参照してステップＳ４０２（製造条件情報の生成工程）における処理を例示的に説明する。この例では、動作ログから製造条件情報の生成のために必要なパラメータの値を抽出するための抽出キーとして、動作記録識別子およびラベルが使用される。そのために、この実施形態では、値を抽出すべきパラメータ（以下、抽出パラメータ）と抽出のために使用する抽出キーとしての動作記録識別子およびラベルとの対応関係を示す抽出キーテーブルが事前に設定される。この抽出キーテーブルに含まれる各抽出キーを含む動作ログ中の単位情報からパラメータの値が抽出される。以下、図５に示したフローチャートに沿って製造条件情報（レシピ情報）の生成について説明する。ここでは、より具体的な例を提供するために、製造条件情報としてショットレイアウト情報を生成する方法を説明する。
【００２９】
ステップＳ５０１では、抽出パラメータと、該抽出パラメータの動作ログファイルにおける識別子である動作記録識別子およびラベルとの対応関係が製造条件情報生成部４に設定される。この設定は、例えば、図６に例示するような抽出キーテーブルを読み込むことによってなされうる。例えば、ショット領域のレイアウトを示すショットレイアウト情報（レシピ情報に含まれるべき情報）は、ショット番号、ショット中心位置、ショット領域を示す情報を含む。図６に示す例では、抽出パラメータである"ショット番号"を含む単位情報（ここでは、１行）は、動作記録識別子である"露光開始"およびラベルである"ＳｈｏｔＮＯ．"を抽出キーとして使って抽出することができる。
【００３０】
ステップＳ５０２では、製造条件情報生成部４は、図２に例示される動作ログから１つの行の情報（単位情報）を読み込む。次に、ステップＳ５０３では、製造条件情報生成部４は、当該行にステップＳ５０１で設定された動作記録識別子（例えば、露光開始、ウエハステージＡ露光位置、マスキングブレード露光位置）が含まれているか否かを判定する。当該行に動作記録識別子が含まれている場合には、ステップＳ５０４に処理が進められ、そうでない場合には、ステップＳ５０２に処理が戻される。
【００３１】
ステップＳ５０４では、製造条件情報生成部４は、当該行にステップＳ５０１で設定されたラベル（例えば、ＳｈｏｔＮＯ．、Ｐｏｓ（Ｘ，Ｙ）、Ｐｏｓ（ＸＬ，ＸＲ，ＹＴ，ＹＢ））が含まれているか否かを判定する。例えば、読み込んだ行が図２に示す例における第４行であるとすると、当該行に動作記録識別子である"露光開始"が含まれるので、ステップＳ５０３からステップＳ５０４に処理が進められる。そして、ステップＳ５０４において、当該行に設定されたラベル（例えば、ＳｈｏｔＮＯ．Ｐｏｓ（Ｘ，Ｙ）、Ｐｏｓ（ＸＬ，ＸＲ，ＹＴ，ＹＢ））が含まれるか否かが判定される。当該行に設定されたラベルが含まれている場合には、ステップＳ５０５に処理が進められ、そうでない場合には、ステップＳ５０２に処理が戻される。
【００３２】
ステップＳ５０５では、製造条件情報生成部４は、読み込んだ行からパラメータ値欄２０５の値を抽出する。例えば、第４行については、製造条件情報生成部４は、抽出パラメータである"ショット番号"についてのパラメータの値、即ちパラメータ値欄２０５の値である"１"を抽出する。また、ショットレイアウト情報の抽出の例においては、製造条件情報生成部４は、同様の方法で、ショット中心位置およびショット領域を抽出する。抽出されるショット中心位置およびショット領域は、直前に抽出されたショット番号に対応するショット中心位置およびショット領域として扱われる。
【００３３】
ステップＳ５０６では、製造条件情報生成部４は、動作ログの全ての行を処理したか否かを判定し、全ての行を処理した場合にはステップＳ５０７に処理を進め、そうでない場合にはステップＳ５０２に処理を戻して新たな行の処理を開始する。
【００３４】
ステップＳ５０７では、製造条件情報生成部４は、ステップＳ５０５で抽出された複数のパラメータの値を処理（例えば、ショット番号、ショット中心位置およびショット領域の対応付け）してショットレイアウト情報（製造条件情報）を生成する。図７は、このようにして生成されるショットレイアウト情報を例示している。ここでは、具体例としてショットレイアウト情報の生成方法について説明したが、製造条件情報を構成する他の情報（例えば、露光条件情報）についても、同様の方法で生成することができる。
図４に戻り、ステップＳ４０３（状態再現工程の一部）では、製造条件設定部７は、ステップＳ４０２で生成された製造条件情報（レシピ情報）を擬似露光装置１１の制御部モデル９に設定する。
【００３５】
ステップＳ４０４では、生成部１８の特性情報生成部６は、再現情報の１つとしての特性情報を生成する。具体的には、特性情報生成部６は、ステップＳ４０１で取得部５が取得した動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、その抽出したパラメータの値を処理することによって特性情報を生成する。ここで、生成対象の情報が異なる点を除けば、特性情報の生成のために必要なパラメータの値を動作ログらから抽出する手順は、ステップＳ４０２と同様である。
図５を参照してステップＳ４０４（特性情報の生成工程）におけるパラメータの値の抽出処理を例示的に説明する。この例では、動作ログから特性情報の生成のために必要なパラメータの値を抽出するための抽出キーとして、動作記録識別子およびラベルが使用される。そのために、この実施形態では、抽出パラメータと抽出のために使用する抽出キーとしての動作記録識別子およびラベルとの対応関係を示す抽出キーテーブルが事前に設定される。この抽出キーテーブルに含まれる各抽出キーを含む動作ログ中の単位情報からパラメータの値が抽出される。以下、図５に示したフローチャートに沿って特性情報の生成について説明する。ここで、より具体的な例を提供するために、特性情報として露光部２が有する構成要素（ここでは、ステージ）の駆動速度情報を生成する方法を説明する。
【００３６】
ステップＳ５０１では、抽出パラメータと、該抽出パラメータの動作ログファイルにおける識別子である動作記録識別子およびラベルとの対応関係が特性情報生成部６に設定される。この設定は、例えば、図８に例示するような抽出キーテーブルを読み込むことによってなされうる。ステージの駆動速度情報を生成するために値を抽出すべきパラメータ（抽出パラメータ）は、駆動開始時刻、駆動終了時刻、駆動開始位置、駆動終了位置である。図８に例示される抽出キーテーブルは、これらの抽出パラメータの動作ログにおける識別子である動作記録識別子およびラベルを抽出キーとして含む。
【００３７】
ステップＳ５０２では、特性情報生成部６は、動作ログから１つの行の情報（単位情報）を読み込む。次に、ステップＳ５０３では、特性情報生成部６は、当該行にステップＳ５０１で設定された動作記録識別子（例えば、ウエハステージＡ駆動開始）が含まれているか否かを判定する。なお、ウエハステージＡは、ウエハステージ３０６ａに対応し、ウエハステージＢは、ウエハステージ３０６ｂに対応する。当該行に動作記録識別子が含まれている場合には、ステップＳ５０４に処理が進められ、そうでない場合には、ステップＳ５０２に処理が戻される。
【００３８】
ステップＳ５０４では、特性情報生成部６は、当該行にステップ５０１で設定されたラベル（例えば、Ｐｏｓ（Ｘ，Ｙ））が含まれているか否かを判定する。例えば、読み込んだ行が図２に示す例における第５行であるとすると、当該行に動作記録識別子である"ウエハステージＡ駆動開始"が含まれるので、ステップＳ５０３からステップＳ５０４に処理が進められる。そして、ステップＳ５０４において、当該行に設定されたラベル（例えば、Ｐｏｓ（Ｘ，Ｙ））が含まれるか否かが判定される。当該行に設定されたラベルが含まれている場合には、ステップＳ５０５に処理が進められ、そうでない場合には、ステップＳ５０２に処理が戻される。
【００３９】
ステップＳ５０５では、特性情報生成部６は、読み込んだ行からパラメータ値欄２０５の値を抽出する。例えば、第５行については、特性情報生成部６は、抽出パラメータである"駆動開始位置"についパラメータの値、即ち、パラメータ値欄２０５の値である"（５２．０００，−４１．５００）"を抽出する。なお、処理時刻を抽出する場合は、図８に例示するように、ラベルとして"処理時刻"を設定する。
【００４０】
ステップＳ５０６では、特性情報生成部６は、動作ログの全ての行を処理したか否かを判定し、全ての行を処理した場合にはステップＳ５０７に処理を進め、そうでない場合にはステップＳ５０２に処理を戻して新たな行の処理を開始する。以上のようにしてステージの駆動速度情報を生成するために抽出されたパラメータの値が図９に例示されている。
ステップＳ５０７では、特性情報生成部６は、ステップＳ５０５で抽出された複数のパラメータの値を処理してウエハステージＡ、ウエハステージＢ、レチクルステージの駆動速度情報を生成する。具体的には、特性情報生成部６は、駆動開始時刻と駆動終了時刻とから駆動所要時間を算出し、駆動開始位置と駆動終了位置から駆動距離を算出し、該駆動所要時間と該駆動距離とからステージの駆動速度を算出することができる。ここでは、具体例として、特性情報としてステージの駆動速度情報を生成する例を説明したが、他の特性情報についても必要なパラメータの値を同様の方法で抽出することができる。
図４に戻り、ステップＳ４０５（状態再現工程の一部）では、特性情報設定部８は、ステップＳ４０４で生成された特性情報を擬似露光装置１１の露光部モデル１０に設定する。次に、ステップＳ４０６（動作再現工程）では、動作再現部２０は、ステップＳ４０３およびＳ４０５によって露光装置３の状態を再現するように設定された擬似露光装置（擬似製造装置）１１を動作させる。この動作は、例えば、再現システム５０に備えられた不図示の入力インターフェースを介して与えられる指令を制御部モデル９に送ることに応じてなされうる。再現情報（製造条件情報、特性情報）が露光装置３において不具合が発生したときのものであれば、擬似露光装置１１においてその不具合が再現されうる。 なお、ステップＳ４０２およびＳ４０３を含む処理の先にステップＳ４０４およびＳ４０５を含む処理が実行されてもよい。また、ステップＳ４０３は、ステップＳ４０２とステップＳ４０６との間であれば、いつ実行されてもよい。また、ステップＳ４０５は、ステップＳ４０４がステップＳ４０２またはＳ４０３の前に実行される場合において、ステップＳ４０４とステップＳ４０６との間であれば、いつ実行されてもよい。
以上のように、本発明の第１実施形態によれば、露光装置等の製造装置から出力された動作ログに基づいて該製造装置の状態を擬似製造装置に再現させることができる。
［第２実施形態］
図１０を参照しながら本発明の第２実施形態の再現システム５５について説明する。第２実施形態の再現システム５５は、製造装置の状態を擬似製造装置によって再現するように構成されうる。製造装置は、例えば、リソグラフィー工程において使用される露光装置３でありうる。
【００４１】
第２実施形態の再現システム５５は、第１実施形態の再現システム５０に対して、製造装置としての露光装置３に対する外部装置からの指令を再現する機能を付加したものである。外部装置は、例えば、露光装置３をネットワーク等の通信路を介して遠隔操作する遠隔操作装置（例えば、コンピュータ）であったり、露光装置３に接続された製造装置（例えば、処理装置、搬送装置）であったりしうる。露光装置３に接続された製造装置は、例えば、露光装置３と塗布現像装置（コータデベロッパ）との間でウエハ（基板）を搬送する搬送装置でありうる。搬送装置は、塗布現像装置の塗布部でレジスタが塗布されたウエハを露光装置３に搬送し、露光装置３で露光されたウエハを塗布現像装置の現像部に搬送するように構成されうる。塗布部と現像部とは、別の筐体に配置されてもよく、この場合には、塗布部は塗布装置、現像部は現像装置とも呼ばれうる。
【００４２】
第２実施形態の再現システム５５は、指令ログ取得部３１、動作再現プログラム生成部３２が追加されていることを除いて第１実施形態の再現システム５０と同様の構成を有する。再現システム５５は、例えば、取得部５と、生成部１８と、状態再現部１９、動作再現部２０、指令ログ取得部３１、動作再現プログラム生成部３２を構成するためのプログラムをコンピュータに実行させることによって構成されうる。
【００４３】
指令ログ取得部３１は、露光装置３から出力された指令ログを取得する。動作再現プログラム生成部３２は、指令ログ取得部が取得した指令ログに基づいて、該指令ログに含まれる指令を再現するための動作再現プログラムを生成する。動作再現部２０は、該動作再現プログラムを実行することによって擬似露光装置１１の制御部モデル９に指令を送る。これにより、制御部モデル９には、制御部１が実際に受けた指令と同様の指令が与えられる。
露光装置３の制御部１には、外部装置、および露光装置３に備えられた操作ユニット（例えば、オペレーションパネル）から種々の指令を受けうる。制御部１は、受けた指令を時系列に指令ログとして記録する。指令は、例えば、制御パラメータの変更、ウエハ（基板）の搬入および搬出を要求する指令でありうる。指令ログは、露光装置３に対する指令を出した装置またはユニット（指令元）、指令内容、指令パラメータ、指令時刻、指令記録識別子等を含みうる。指令ログは、単位情報の集合であり、各単位情報は、露光装置３が受けた１つの指令に関する情報である。図１１に指令ログが例示されている。指令ログ１１０１における１つの行は、例えば、１回の記録動作で記録される単位情報で構成されうる。単位情報は、例えば、時刻欄１１０２、指令元欄１１０３、指令記録識別子欄１１０４、ラベル欄１１０５、パラメータ値欄１１０６を含む。図１１において、"インライン"は、露光装置３と塗布現像装置との間でウエハを搬送する搬送装置を意味し、"オペレータ"は、露光装置３に備えられた操作ユニットを意味し、"オンライン"は、露光装置３を遠隔操作する遠隔操作装置を意味する。ここで、露光装置３の制御部１における指令ログの生成について説明する。露光装置３の制御部１が搬送装置に対して「ウエハ（Ｎｏ．１）搬入」を指令すると、該搬送装置は、指令されたウエハを露光装置に搬送するとともに、制御部１に対してウエハの受け入れを指令する。ここで、露光装置３の制御部１は、時刻欄１１０２にその時点の時刻、指令元欄１１０３に"インライン"、指令記録識別子欄１１０４に"ウエハ搬入"、ラベル欄１１０５に"ＷａｆｅｒＮｏ．"、パラメータ値欄１１０６に"１"を記録する。次に、遠隔装置は、露光装置３の制御部１に対して"ｓａｍｐｌｅ−ｒｅｃｉｐｅ"をレシピとする露光ジョブの開始である「露光開始」を指令する。ここで、露光装置３の制御部１は、時刻欄１１０２にその時点の時刻、指令元欄１１０３に"オンライン"、指令記録識別子欄１１０４に"露光開始"、ラベル欄１１０５に"Ｒｅｃｉｐｅ"、パラメータ値欄１１０６に"ｓａｍｐｌｅ−ｒｅｃｉｐｅ"を記録する。
【００４４】
指令ログ取得部３１は、例えば、露光装置３と通信路を介して接続するための通信インターフェースを含み、露光装置３から出力された指令ログを該通信路を介して取得するように構成されうる。この場合の通信インターフェースは、取得部５のインターフェースと共用されうる。或いは、指令ログ取得部３１は、露光装置３から出力された指令ログを保持したサーバー等のコンピュータから該通信インターフェースを介して該指令ログを取得してもよい。或いは、指令ログ取得部３１は、メディアリーダを含み、露光装置３からメディアに出力された指令ログを該メディアリーダによって取得してもよい。指令ログ取得部３１が取得した指令ログは、指令ログ取得部３１内のメモリに格納される。
【００４５】
動作再現プログラム生成部３２は、指令ログ取得部３１が取得した指令ログに含まれる指令を再現するための動作再現プログラムを生成する。動作再現プログラムは、例えば、計測指令、レシピ情報に従う露光ジョブの実行、レシピパラメータ値の変更、ウエハの搬入および搬出の指令を含みうる。図１２に動作再現プログラムが例示されている。図１２において、各行は、１回の動作に対応している。動作再現プログラム１２０１は、例えば、動作識別子１２０２、動作内容１２０３を含みうる。動作再現部２０は、動作再現プログラム１２０１を実行することによって動作再現のための指令を発生し、該指令を擬似露光装置１１の制御部モデル９に送る。
【００４６】
図１３を参照しながら本発明の第２実施形態の再現システム５５において実行される再現方法を例示的に説明する。この再現方法は、例えば、コンピュータに以下の工程を実行させるプログラムによって実現されうる。なお、ステップＳ４０１〜Ｓ４０５は、第１実施形態における再現方法と同様である。
【００４７】
ステップＳ４１１（指令ログの取得工程）では、指令ログ取得部３１は、露光装置３の制御部１から出力された指令ログを取得する。ステップＳ４１２（動作再現プログラムの生成工程）では、動作再現プログラム生成部３２は、ステップＳ１３０１で指令ログ取得部３１が取得した指令ログに基づいて動作再現プログラムを生成する。図１１および図１２を参照しながら説明すると、動作再現プログラム生成部３２は、指令ログ１１０１の第１行に記録されたウエハの搬入時刻と第２行に記録されたウエハステージパラメータの変更時刻とを抽出し、それらの時刻の差分（５秒）を算出する。次に、動作再現プログラム生成部３２は、ウエハ搬入とＸＹステージパラメータ変更との間にその差分時刻の遅延処理（Ｄｅｌａｙ（５））を追加する。これにより、動作再現プログラム１２０１は、ウエハ搬入とパラメータ変更との間に指令ログの記録時と同様の時間差を生じさせることができる。
次に、ステップＳ４０６（動作再現工程）では、動作再現部２０は、ステップＳ４１２で生成された動作再現プログラムを実行して、擬似露光装置１１の制御部モデル９に対して指令を与える。擬似露光装置１１は、ステップＳ４０３およびＳ４０５によって露光装置３の状態を再現するように設定された状態で露光装置３の動作を再現する。
【００４８】
なお、ステップＳ４０２およびＳ４０３を含む処理の先にステップＳ４０４およびＳ４０５を含む処理が実行されてもよい。また、ステップＳ４０３は、ステップＳ４０２とステップＳ４１３との間であれば、いつ実行されてもよい。また、ステップＳ４０５は、ステップＳ４０４とステップＳ４１３との間であれば、いつ実行されてもよい。また、ステップＳ４１１は、ステップＳ４１３の前であれば、いつ実行されてもよい。
以上のように、本発明の第２実施形態によれば、露光装置等の製造装置から出力された動作ログに基づいて該製造装置の状態を擬似製造装置に再現させた状態で、指令ログに基づいて擬似製造装置の動作を再現させることができる。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造装置の状態を擬似製造装置によって再現する再現方法であって、
前記製造装置から出力された動作ログを取得する取得工程と、
前記動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、抽出したパラメータの値を処理することにより状態再現情報を生成する生成工程と、
前記状態再現情報に基づいて前記製造装置の状態を前記擬似製造装置によって再現する状態再現工程とを含み、
前記状態再現情報は、前記製造装置に入力された製造条件を示す製造条件情報および前記製造装置の特性を示す特性情報の少なくとも１つを含む、ことを特徴とする再現方法。
【請求項２】
前記製造装置は露光装置を含み、前記生成工程では、前記製造条件情報としてレシピ情報を生成する、
ことを特徴とする請求項１に記載の再現方法。
【請求項３】
前記製造装置は露光装置を含み、前記生成工程では、前記特性情報として前記露光装置の構成要素の駆動速度情報を生成する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の再現方法。
【請求項４】
前記製造装置の状態を再現した前記擬似製造装置に前記製造装置の動作を再現させる動作再現工程を更に含む、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の再現方法。
【請求項５】
前記動作再現工程は、前記製造装置に与えられた指令が記録された指令ログに基づいて生成された動作再現プログラムを実行することによって前記擬似製造装置に前記製造装置の動作を再現させる、
ことを特徴とする請求項４に記載の再現方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の再現方法をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項７】
製造装置の状態を擬似製造装置によって再現する再現システムであって、
前記製造装置から出力された動作ログを取得する取得部と、
前記動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、抽出したパラメータの値を処理することにより状態再現情報を生成する生成部と、
前記状態再現情報に基づいて前記製造装置の状態を前記擬似製造装置によって再現する状態再現部とを含み、
前記状態再現情報は、前記製造装置に入力された製造条件を示す製造条件情報および前記製造装置の特性を示す特性情報の少なくとも１つを含む、ことを特徴とする再現システム。
【請求項１】
製造装置の状態を擬似製造装置によって再現する再現方法であって、
前記製造装置から出力された動作ログを取得する取得工程と、
前記動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、抽出したパラメータの値を処理することにより状態再現情報を生成する生成工程と、
前記状態再現情報に基づいて前記製造装置の状態を前記擬似製造装置によって再現する状態再現工程とを含み、
前記状態再現情報は、前記製造装置に入力された製造条件を示す製造条件情報および前記製造装置の特性を示す特性情報の少なくとも１つを含む、ことを特徴とする再現方法。
【請求項２】
前記製造装置は露光装置を含み、前記生成工程では、前記製造条件情報としてレシピ情報を生成する、
ことを特徴とする請求項１に記載の再現方法。
【請求項３】
前記製造装置は露光装置を含み、前記生成工程では、前記特性情報として前記露光装置の構成要素の駆動速度情報を生成する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の再現方法。
【請求項４】
前記製造装置の状態を再現した前記擬似製造装置に前記製造装置の動作を再現させる動作再現工程を更に含む、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の再現方法。
【請求項５】
前記動作再現工程は、前記製造装置に与えられた指令が記録された指令ログに基づいて生成された動作再現プログラムを実行することによって前記擬似製造装置に前記製造装置の動作を再現させる、
ことを特徴とする請求項４に記載の再現方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の再現方法をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項７】
製造装置の状態を擬似製造装置によって再現する再現システムであって、
前記製造装置から出力された動作ログを取得する取得部と、
前記動作ログから抽出キーを使ってパラメータの値を抽出し、抽出したパラメータの値を処理することにより状態再現情報を生成する生成部と、
前記状態再現情報に基づいて前記製造装置の状態を前記擬似製造装置によって再現する状態再現部とを含み、
前記状態再現情報は、前記製造装置に入力された製造条件を示す製造条件情報および前記製造装置の特性を示す特性情報の少なくとも１つを含む、ことを特徴とする再現システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１０−２３８７６３（Ｐ２０１０−２３８７６３Ａ）
【公開日】平成２２年１０月２１日（２０１０．１０．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−８２６８７（Ｐ２００９−８２６８７）
【出願日】平成２１年３月３０日（２００９．３．３０）
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１０月２１日（２０１０．１０．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年３月３０日（２００９．３．３０）
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【Ｆターム（参考）】
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