【解決手段】 マイクロ波によってレーザガスを励起させてレーザ光Ｌを発振させるようにしたレーザ発振装置１は、内部にレーザガスを収容する筒状の放電管３と、フロントミラーとリヤミラーとから構成された共振器を有するレーザ発振器３１Ａ、３１Ｂと、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生器１５と、このマイクロ波発生器によって発生されたマイクロ波を上記放電管に導波する導波管１７とを備えている。上記導波管１７は、放電管３の外周面に螺旋状に配置してあり、この導波管に複数のスリットを設けてある。
【効果】 上記放電管３の外周面の略全体から放電管３の半径方向内方に向かってマイクロ波を放射して放電管３内に収容されるレーザガスを励起させることができるので、該レーザガスを効率的に励起することができる。 （もっと読む）

【課題】ガス排気系にある絞りの経時的な詰まりを防止することにより、装置全体の寿命延長を図り、長期に渡って高い信頼性を確保する。
【解決手段】本装置の運転停止前に、真空容器中に大気圧近傍までレーザガスの供給を行った後、真空ポンプを駆動させ、主排出弁を閉じ、副排出機構と直列に設けられた絞りを介してのみ、一定時間ガスを排出し、その後主排出弁を開け、通常排気弁を開くことで、通常排気弁と直列に設けられた絞りを介して、一定時間ガスを排出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転軸に結合された軸受が劣化などにより破壊した場合、回転軸の有する回転エネルギーにより送風手段が過大な損傷を受けるが、このような損傷を最小限度に抑制することのできる送風手段を搭載したレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】レーザガスを送風する送風手段において、回転部は先端に翼車を設けた回転軸とそれに結合された１つ以上の軸受を備え、非回転部は翼車に近接されて設けられているスクロール部と駆動手段および回転軸、軸受を保持するハウジング部により構成され、前記回転軸と前記ハウジング部の空間距離を前記翼車と前記スクロール部の間隙以下とした。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振装置において、送風手段に用いられる軸受の消耗の低減が大きな課題となっていた。
【解決手段】レーザガスを送風する送風手段を備えたガスレーザ発振装置において、送風手段は軸駆動手段によって回転を行なう回転部と、回転を行なわない非回転部から成り、前記回転部は先端に翼車部を設けた回転軸と、前記回転軸を回転させる駆動部と、前記回転軸に結合された上部軸受および下部軸受とを備え、前記上部軸受および前記下部軸受の一部にフッ素樹脂含有の複合メッキ被膜層を設けた。 （もっと読む）

【課題】高出力レーザであっても微小なレーザを安定して出力する。
【解決手段】レーザ装置（１）は、互いに直列に配置された第一および第二のレーザ励起領域（２１、２２）と、第一のレーザ励起領域に第一のエネルギを注入する第一電源ユニット（ＰＳＵ１）と、第二のレーザ励起領域に第二のエネルギを注入する第二電源ユニット（ＰＳＵ２）と、を具備し、第一電源ユニットは、レーザ発振が開始される臨界注入エネルギ以上の所定の励起エネルギを第一のエネルギとして第一のレーザ励起領域に注入し、第二電源ユニットは、放電管が予備放電するのに必要とされる予備励起エネルギと臨界注入エネルギとの間で第二のレーザ励起領域に注入されるエネルギを第二のエネルギとして第二のレーザ励起領域に注入し、それにより、レーザ出力を制御する。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振器において、送風機の省力運転のための一時的な低速回転又は停止の間に、循環路から媒質ガスが過剰に排出されてしまうことを防止する。
【解決手段】ガスレーザ発振器１０の排気部２０は、送風機１６の吐出側で循環路１４に接続される第１排気装置６６と、送風機１６に接続される第２排気装置６８とを備える。第１排気装置６６は、真空ポンプ７２と、循環路１４の導入管路３４及び真空ポンプ７２にそれぞれ接続される第１排気路７４とを備える。第１排気路７４は、送風機１６の吐出口３８の近傍で導入管路３４に接続される。送風機１６は、循環路１４に接続される第１室と、第２排気装置６８に接続される第２室と、第１室と第２室との境界に配置される非接触シール装置とを備える。圧力調整部２２は、第１排気装置６６に設けられる流量制御機構９４を備える。 （もっと読む）

【課題】放電管に過度の電圧を印加せずに放電を開始させることができるとともに、該放電の開始を迅速かつ正確に判定できるガスレーザ発振器を提供する。
【解決手段】ガスレーザ発振器（１０）は、各ステップの先頭にパルスを重畳してなる電源出力指令を作成する電源出力指令部（１６）と、電源出力指令に従って放電管に電圧を印加する電圧印加部（２９）と、放電管（２６）の電圧を検出する放電管電圧検出部（２８）と、放電管の電圧を監視する放電管電圧モニタ部（３０）と、電源出力指令に対する監視された放電管の電圧の変化割合と、放電管において放電が正常に行われているときのデータに基づいて予め定められる、電源出力指令に対する放電管の電圧の変化割合との差分が予め定めた閾値以内になったときに、放電が開始したと判定する放電開始判定部（ＣＮＣ）（１２）とを備える。 （もっと読む）

本発明は、レーザガスを循環させる送風機（１１）を備えるガスレーザ（１）であって、送風機（１１）が軸（１７）を備え、軸（１７）が、少なくとも１つの固定側の軸受面と少なくとも１つの回転側の軸受面とにより形成されている少なくとも１つのスラストガス軸受（４５）と少なくとも１つのラジアル軸受（２１，２２）とを介して支承されている、レーザガスを循環させる送風機（１１）を備えるガスレーザ（１）に関する。本発明では、スラストガス軸受（４５）が、ディスク（２５）の両側に配置されている２つの固定側の軸受面（２６，２７）と２つの回転側の軸受面（４８，４９）とを備え、回転側の軸受面（４８，４９）の一方又は両方に、溝パターン（４１，４２）が構造化されているようにした。
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【課題】本発明はレーザガスの消費量を低減できるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機を提供するものである。
【解決手段】レーザガス２に放電を発生させる電極３、４、電源５からなる放電手段と、レーザガス２を放電手段による放電部分に送風する送風手段１０を備え、送風手段１０は、翼車２４、回転軸２５、モータロータ２６から構成された回転部と、モータステータ２７、ケーシング２８から構成された回転を行わない非回転部を有し、非回転部に送風手段１０の内部へ冷却ガスとして空気を導入する冷却ガス供給口１７を設け、冷却ガス供給口１７に流量調整弁１８、電磁弁１９、フィルタ２０、空気取入口２１からなる冷却ガス供給手段を接続し、非回転部にガス排出口２２を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】寿命を縮めることなく軸受の寿命の判断を行えるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機を提供するものである。
【解決手段】送風手段１０は、翼車１４、回転軸１５、モータロータ１６から構成された回転部と、モータステータ１７、ケーシング１８から構成された回転を行わない非回転部を有し、回転部と非回転部の間に上部軸受１９、下部軸受２０を設け、上部軸受１９、下部軸受２０の方向に上部温度検出手段２２、下部温度検出手段２５を付勢する上部弾性体２３、下部弾性体２６と、上部軸受１９、下部軸受２０と上部温度検出手段２２、下部温度検出手段２５の間に上部緩衝部材２１、下部緩衝部材２４を配置する。 （もっと読む）

【課題】従来のガスレーザ発振装置の制御方法において、レーザガスの温度が低くなるとガスの密度が高くなり、送風機の翼車にかかる負荷は増加し、この結果、同期電動機の負荷が増え脱出トルクを超えると脱調し、回転停止に至るという課題を有していた。
【解決手段】レーザガスを圧送する翼車部と当該翼車部を回転させる同期電動機を有した送風機と、同期電動機の回転子磁極位置を算出する磁極位置演算手段と固定子回転磁界を算出する固定子回転磁界演算手段を有して送風機を駆動させる送風機駆動手段とを備えたガスレーザ発振装置において、送風機の同期電動機の回転子磁極位置と固定子回転磁界がなす角度の絶対値が予め設定された値以上あるいは超える場合に、ガス圧制御手段によりガス配管経路内のガス圧力を下げるようにガスレーザ発振装置を制御する。 （もっと読む）

【課題】長期間に渡って安定したレーザ出力およびレーザ加工性能を維持できるレーザ発振装置およびレーザ加工機を提供することを目的とする。
【解決手段】電極６と、前記電極６へ接続した電源７と、前記電源７と前記電極６により形成される放電空間にレーザガス４を循環供給させる送風機１を備え、前記送風機１には、レーザガス４を移動させる回転体２１と、前記回転体２１を駆動する駆動部２２と、前記回転体２１と前記駆動部２２を連結する駆動軸２３と、前記駆動軸２３を貫通させるとともに前記回転体２１と前記駆動部２２を隔離する隔壁２５と、前記隔壁２５と前記駆動軸２３の間に配置した軸受け２６と、前記軸受け２６と前記回転体２１の間にシール材２７とを配置し、前記シール材２７により、前記駆動軸２２と隔壁２５間の流路抵抗を一定となるように制御したものである。 （もっと読む）

【課題】送風手段より発生するオイルミストの影響を低減し、安定なレーザ出力が可能なレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】送風手段１０を備えたレーザ発振装置において、運転開始時に第１ガス排気通路３１の電磁弁３２および第２ガス排気通路３３の電磁弁３４を閉めた状態でガス排気手段３６により送風手段１０の駆動部の大気を一定時間排出し、ガス排出量調整手段３５の詰まりを差圧検出手段４２の圧力変化で検出し、差圧検出手段４２の圧力が所定圧力以下の場合に警報を発生させる警報手段４３を設けた。 （もっと読む）

【課題】長期間に渡って安定したレーザ出力およびレーザ加工性能を維持できるレーザ発振装置およびレーザ加工機を提供することを目的とする。
【解決手段】電極６と、前記電極６へ接続した電源７と、前記電源７と前記電極６により形成される放電空間にレーザガス４を循環供給させる送風機１を備え、前記送風機１には、レーザガス４を移動させる回転体２１と、前記回転体２１を駆動する駆動部２２と、前記回転体２１と前記駆動部２２を連結する駆動軸２３と、前記駆動軸２３を貫通させるとともに前記回転体２１と前記駆動部２２を隔離する隔壁２５と、前記隔壁２５と前記駆動軸２３の間に配置した軸受け２６と、前記軸受け２６と前記回転体２１の間にシール材２７とを配置し、前記駆動軸２３と隔壁２５間の空間に圧力変動低減部２８を設けた。 （もっと読む）

【課題】レーザガスの混合比不良が発生した場合でも放電開始電圧を上昇させずに放電を円滑にし、安定したレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】ガス圧力検出手段３５からの信号を入力し、ガス供給手段２１からのガス供給量とガス排気手段３３からのガス排出量と高電圧電源８を制御する放電制御手段３６を設け、放電制御手段３６は、高電圧電源８の放電を開始する前にガス供給手段２１からのガス供給よりもガス排気手段３３からのガス排気量を増加させて運転ガス圧を所定の圧力まで低下させて高電圧電源８に放電を開始させ、放電を開始した後、ガス供給手段２１からのガス供給よりもガス排気手段３３からのガス排気量を減少させて運転ガス圧に復帰させることにより、安定したレーザ出力の制御を行うことが出来る。 （もっと読む）

【課題】安価な製造コストで、レーザ共振器の要素部品の相対位置関係の変化を抑制することを可能にする。
【解決手段】レーザ共振器１０は、終端鏡１２を保持する終端鏡保持部１６と、出力鏡１４を保持する出力鏡保持部１８とを備え、終端鏡１２と出力鏡１４との間に設けられたレーザ励起部３４、３６内のレーザ媒体を励起させてレーザ発振を生じさせる。レーザ共振器１０は、互いに平行に延び終端鏡保持部１６と出力鏡保持部１８とを接続する複数の接続部材４６を備え、複数の接続部材４６のうちの少なくとも一つの接続部材４６ａが終端鏡保持部１６及び出力鏡保持部１８に固定されている一方、複数の接続部材４６のうちの残余の接続部材４６ｂは終端鏡保持部１６及び出力鏡保持部１８の少なくとも一方に対して摺動可能に接続されており、接続部材４６ｂが接続部材４６ａよりも高い熱膨張率の材料から形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡易な方法でレーザガスのガス組成の異常を判断でき、放電管に損傷が生じることを防止することができるガス組成異常判断方法及び放電励起ガスレーザ発振器を提供する。
【解決手段】レーザ発振器１の立ち上げ時、レーザガス６が定常運転時の高い圧力より低い圧力で放電励起を開始した後、定常運転時の高い圧力より低い任意の圧力で、放電管７へ供給する高周波電源ユニット３の実際の出力値を検出する電流検出部２２と、検出した実際の電流値と、レーザガス６のガス組成が正常であるときに、実際の電流値を検出した圧力と同一圧力で検出された正常な電流値とを比較する出力比較部と、実際の電流値と正常な電流値との差分が設定値以上のとき、レーザガス６のガス組成が異常であると判断して、高周波電源ユニット３の出力を停止する電源制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】前記ガス合流部において、ガス流を安定させ、より安定したレーザ出力または経時変化の少ないレーザビームモードが得られるガスレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】第１励起部３ａ及び第２励起部３ｂを通過したレーザガスは、それぞれテーパ状の第１及び第２ガス流路６１ａ及び６１ｂ内に導かれ、ガス合流部２３の中央点５１付近にて合流し、１つの流れとなってガス流路６２内に進む。ここで、励起部３ａからのガス流はガス流路６１ａ内の偏向子７０ａによって矢印８０ａのように偏向されてガス合流部２３内の−Ｘ方向寄りを通り、励起部３ｂからのガス流はガス流路６１ｂ内の偏向子７０ｂによって矢印８０ｂのように偏向されて＋Ｘ方向寄りを通る。 （もっと読む）

【課題】補助点弧を改善する真空プラズマプロセス装置の作動方法および真空プラズマプロセス装置の提供。
【解決手段】第１の動作状態では主プラズマが生成され、第２の動作状態では補助プラズマが生成される。この場合、第１の個数の高周波パワージェネレータ１９〜２２により主プラズマ電力が生成され、この第１の個数よりも少ない第２の個数の高周波パワージェネレータ、たとえば高周波パワージェネレータ１９〜２１を遮断し、高周波パワージェネレータ２２により補助プラズマ電力が生成される。 （もっと読む）

【課題】 異常部位の位置を特定することにより迅速かつ適切な対応を行う。
【解決手段】 ブロワ（１０）が、ケーシング（１２）に取付けられた少なくとも二つまたは少なくとも三つの音響センサまたは振動センサ（３１ａ〜３１ｃ）と、音響センサまたは振動センサにより検出された信号を用いて、異常音または異常振動の発生源の位置を特定する位置特定手段（３４）とを具備する。さらに、ブロワ（１０）は、位置特定手段により特定された前記異常音または異常振動の発生源の位置に応じて、アラームを出力するか否かを判定するアラーム出力判定手段（３５）を具備するのが好ましい。また、このようなブロワ（１０）を備えたレーザ発振器（１００）も提供される。 （もっと読む）