【課題】自励発振光を抑制し、レーザ光の増幅を効率的に行うことができる極端紫外光源装置用ドライバーレーザを提供する。
【解決手段】このドライバーレーザは、発振によりレーザ光を生成して出力する発振器と、発振器から出力されるレーザ光を増幅する少なくとも１つの増幅器とを有する。増幅器は、レーザ光を入力するための第１のウィンドウ及びレーザ光を出力するための第２のウィンドウを有し、放電により励起された媒体のエネルギーを用いて、第１のウィンドウに入力されるレーザ光を増幅して第２のウィンドウから出力する放電部と、発振器から出力されるレーザ光を放電部の第１のウィンドウに出力し、その後に放電部の第２のウィンドウから出力されるレーザ光を放電部の第１のウィンドウにもう１度出力し、その後に放電部の第２のウィンドウから出力されるレーザ光を所定の方向に出力する光学系とを含む。 （もっと読む）

【課題】
１バースト期間のうちの不安定期間に出力されるレーザ光のスペクトル幅を目標とするスペクトル幅に近づけて、１バースト期間内でレーザ光のスペクトル幅を安定させることによって、集積回路パターンの品質悪化や生産効率の低下を防止する。
【解決手段】
狭帯域化したレーザ光を連続してパルス発振するバースト期間と発振休止する発振休止期間とを交互に繰り返して動作する狭帯域化レーザにおいて、発振休止期間の長さに応じて発振休止期間中にパルス発振した場合のスペクトル幅を予測してスペクトル幅を変化させるアクチュエータを予め制御する。または、前回以前のバースト初期のスペクトル幅の不安定期間に計測されたスペクトル幅の計測値とそのときのスペクトル幅調整機構の動作指令値といった実績に基づいて不安定期間中にスペクトル幅制御を行う。 （もっと読む）

【課題】 共振器を備えた高出力ガスレーザ発振器・増幅器において、共振器を構成するミラーで表面損傷及び歪みが発生しないように照射するピークエネルギ密度を減少させ、レーザの中心波長が変化したとしてもレーザ出力が減少しないようにする。
【解決手段】 リア側ミラー１と出力側ミラー２とからなる共振器と、その共振器中に配置されレーザガスが封入されたレーザチャンバー３と、レーザチャンバー３内のレーザガスを励起する励起手段４、５とを備えたガスレーザ装置において、レーザチャンバー３とリア側ミラー１の間、及び、レーザチャンバー３と出力側ミラー２の間の少なくとも一方に、ミラー側のレーザビームの径あるいは幅を広げるビーム拡大光学系６１、６１’を介在させた高出力ガスレーザ装置。 （もっと読む）

【課題】半導体露光装置の２ステージシステムの紫外ガスレーザにおいて、出力エネルギーを減少させることなくレーザ光の偏光純度を高くすること。
【解決手段】レーザ光を出力する発振段レーザと、前段のレーザから出力されたレーザ光を増幅して出力する一以上の増幅段レーザと、少なくとも一つの前記増幅段レーザのレーザ光軸上に設けられ、レーザ光に含まれ互いに直交する二つの直線偏波状態の成分のうちの一方を高反射率で反射し、他方を高透過率で透過する偏光子と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 レーザ光が発生する真空容器と空洞部とに圧力調整器を接続し、真空容器と空洞部との圧力を略同一に調整することにより、透過型光学部品の歪を抑圧するレーザ装置を提供する。
【解決手段】 レーザ光の励起により真空容器１の圧力が上昇すると、真空容器１に接続されたシリンダー１４の右室１４ｂの圧力が上昇する。するとピストン１５に押圧力が加わり、シリンダー１４の左室１４ａ側へ移動する。その結果、左室１４ａに接続されたブロック４の内部の空洞部２９の圧力が上昇する一方、真空容器１の圧力は低下する。最終的に、真空容器１の圧力と空洞部２９の圧力とがほぼ等しくなると、ピストン１５は停止する。 （もっと読む）

【課題】ＣＯ２レーザを励起光源に用いてエキシマレーザやフッ素レーザを連続発振できるレーザ装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施例であるエキシマレーザ発振器１００では、励起用のＣＷ＿ＣＯ２レーザからのレーザ光ＬＣ１を、エキシマガスが満たされたチャンバ１０１内で、金コートが施された穴付き反射鏡１０８によって、共振器間で集光させたものである。 （もっと読む）

開示する主題の態様は、プリズムの第１の反射面上にある第１の入射点と、プリズムの第１の反射面及び第２の反射面の間に形成されて面取り面を有する面取りコーナとの間の第１の距離を増大する段階、プリズムの第２の反射面上にある第２の入射点と面取りコーナの間の第２の距離を増大する段階、及びプリズムの面取りコーナの面取り面の反射率を増大する段階のうちの少なくとも１つから構成されるビーム反転器プリズムのレーザ吸収を低減する方法を含む。光学構成要素のプライムカットを判断する方法も開示する。少なくとも１つのプライムカット光学構成要素を含むレーザも開示する。 （もっと読む）

【課題】 汚染物質の発生がなくなり、光学素子の汚染が防止され、光学素子の寿命を延ばすフッ化カルシウム結晶を用いたガスレーザ用光学素子の緩衝手段及びそれを用いたガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 入射平面と射出平面を備え、紫外線が入射平面から入射し、射出平面から射出するフッ化カルシウム結晶からなる紫外線ガスレーザ用光学素子２の緩衝手段４において、緩衝手段４は、光学素子２と光学素子２を保持する保持手段１ａの間に当接して配置され、金属からなるベース部４Ａと、フッ化カルシウムよりも軟らかい金属をメッキしたメッキ部４Ｂとを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 汚染物質の発生がなくなり、光学素子の汚染が防止され、光学素子の寿命を延ばすフッ化カルシウム結晶を用いたガスレーザ用光学素子の緩衝手段及びそれを用いたガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 入射平面と射出平面を備え、紫外線が入射平面から入射し、射出平面から射出するフッ化カルシウム結晶からなる紫外線ガスレーザ用光学素子２の緩衝手段４において、緩衝手段４は、光学素子２と、光学素子２を保持する保持手段１ａとの間に当接して配置され、フッ化カルシウムよりも軟らかい金属からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ耐性に優れたブリュースター窓を提供する。
【解決手段】レーザ光が直線偏光で発振するようにレーザ共振器の内部に配されるブリュースター窓であって、アルカリ土類金属フッ化物単結晶から成り、表面が平坦化された基板１と、その基板の少なくとも一方の面に形成された多結晶又はアモルファス構造であるフッ化物膜２ａ，２ａ’と、を備える。フッ化物膜２ａ，２ａ’は、フッ化ガドリニウム、フッ化マグネシウム、フッ化ランタン、フッ化アルミニウム及びクリオライトの何れかでなる。フッ化物膜２ｂ，２ｂ’のようにフッ化物膜を多層膜としても良い。 （もっと読む）

【課題】紫外線が照射される環境下で使用可能な耐紫外線材料、ならびにこの耐紫外線材料を用いたシール部材、緩衝部材、遮光部材、光源装置、及び処理装置を提供する。
【解決手段】エキシマ放電用ガスとしてキセノンガスを封入し、放電空間（４５）を形成したエキシマランプ（４１）の気密容器（４４）に、粘土薄膜からなる耐紫外線材料により形成されたシール部材（４８）、および緩衝部材（４９）を介して光透過窓（４３）が装着される。 （もっと読む）

本発明は、２５０ｎｍ未満のＵＶレーザビームによるレーザ誘発損傷を受けにくい、コーティングされた金属フッ化物結晶、そのようなコーティングされた結晶を作る方法、およびそのようなコーティングされた結晶の使用法に関する。本方法は、Ｍをベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、およびそれらの混合物とするとき、一般化学式ＭＦ_２で表される、コーティングしていない金属フッ化物結晶を提供する工程、およびコーティングしていないフッ化物結晶を、選択された材料の被膜でコーティングし、それによってレーザ誘発損傷を受けにくい、コーティングされた金属材料を形成する工程を備える。好ましいコーティング材料として、ＭｇＦ_２、ＭｇＦ_２をドープした溶融シリカ、フッ素をドープした溶融シリカなどが掲げられる。
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【課題】半導体露光装置の２ステージシステムの紫外ガスレーザにおいて、出力エネルギーを減少させることなくレーザ光の偏光純度を高くすること。
【解決手段】レーザ光を出力する発振段レーザと、前段のレーザから出力されたレーザ光を増幅して出力する一以上の増幅段レーザと、少なくとも一つの前記増幅段レーザのレーザ光軸上に設けられ、レーザ光に含まれ互いに直交する二つの直線偏波状態の成分のうちの一方を高反射率で反射し、他方を高透過率で透過する偏光子と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 フッ化カルシウム単結晶からなる紫外線光学素子のレーザー光耐性をその単結晶の純度を向上させること以外の方法で高める。
【解決手段】 フッ化カルシウム単結晶紫外線光学素子の素材２は、表面2aが（１００）面方位を持っている。この素材２を効率的に得るために、端面が（１００）面方位を有する種結晶を矢印方向に成長させることで端面が（１００）面方位を有するフッ化カルシウム単結晶インゴットを得る。次に、この単結晶インゴットを（１００）面方位に平行に切断して、（１００）面方位の紫外線光学素子の素材２を得る。このようにして得た表面が（１００）面方位を有する素材２を窓板に用いる場合は素材２の両面を平行に精密研磨を行い、レンズに用いる場合は素材２の片面又は両面が適度な曲率を持つように精密研磨を行う。 （もっと読む）

【課題】 紫外線ガスレーザ装置における光学素子による真性複屈折及び応力複屈折による偏光純度の悪化を防止すると共に、カット面を平滑にしてレーザ照射により割れや欠陥の発生を防止する。
【解決手段】 ２つの平面２、２’を備えて紫外線がその１つの平面２から入射し、他の平面２’から射出するフッ化カルシウム結晶からなるウィンドウ等の紫外線ガスレーザ用光学素子１において、少なくとも一方の平面２がフッ化カルシウム結晶の（１１０）結晶面に平行である紫外線ガスレーザ用光学素子。 （もっと読む）