【課題】 真空容器の内部に存在する気化した有機物や浮遊した微細な粉塵が部分反射鏡の表面に付着し、それに伴う熱吸収率の上昇によって、レーザ光の特性が変化するのを防ぐ炭酸ガスレーザ発振器を得る。
【解決手段】 レーザ媒質が部分反射鏡の表面に近づいてくる流入経路を完全に覆うように、レーザ光が通るための開口を有した形状の部品を部分反射鏡の電極側の面近傍に配置するとともに、当該開口の内面を多孔質型アルマイトとし、さらに流入するレーザ媒質より温度が低くなるように当該部品を冷却したものである。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振装置の送風手段のグリス不足による軸受消耗を防止して、送風手段のメンテナンスフリー化を図る
【解決手段】送風手段の軸受近傍にグリス補給手段を設け、軸受に封入されたグリス量を直接もしくは間接的に検出するグリス量検出手段を備え、グリス量検出手段により検出した信号に応じて、あるいは予め運転時間に応じて決めた量に応じて、送風手段外部と内部の圧力差による真空力等を利用して適宜グリスの自動補給を行う事が可能とする （もっと読む）

【課題】本発明は、真鍮や銅からなる配管の冷媒による腐食を防止し、長期に渡って安定した性能を維持できるレーザ発振装置およびレーザ加工機を提供する事を目的とする。
【解決手段】放電管３と、放電管３にレーザガスを流すための送風手段１５と、送風手段１５と放電管３の間に位置してレーザガスを冷却する熱交換器１３、１４を備え、熱交換器１３、１４へ冷却水を送る配管として、銅または真鍮を用い、配管の接合部分を非アミン系化合物の接着剤で接着したもので、非アミン系化合物の接着剤を配管の接合部分に用いるので、銅や真鍮を腐食せず、長期に渡って水漏れ事故による装置の故障を防止できる。 （もっと読む）

【課題】外乱要因があった場合にも部分透過鏡及び全反射鏡の角度、すなわち平行を保持することで、レーザ出力及びレーザモードを安定化することができるレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【解決手段】フランジ３、４間を複数の低熱膨張率のパイプ５、６、７、８で接続し、フランジ３、４間の略中央で低熱膨張率のパイプ５、６、７、８を求心するバネ１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄを設けたものである。この構成によれば、低熱膨張率のパイプ５、６、７、８が中心方向に、ごくわずかに湾曲した状態になっている。この状態から、低熱膨張率のパイプ５、６、７、８に引っ張りまたは圧縮の力が加わったとしても、複数の低熱膨張率のパイプ５、６、７、８は全て中心方向に撓む。このため、結果的に前記フランジ３、４間の平行度を保つことができる。 （もっと読む）

【課題】長期間に渡って安定したレーザ出力およびレーザ加工性能を維持できるレーザ発振装置およびレーザ加工機を提供することを目的とする。
【解決手段】電極６と、前記電極６へ接続した電源７と、前記電源７と前記電極６により形成される放電空間にレーザガス４を循環供給させる送風機１を備え、前記送風機１には、レーザガス４を移動させる回転体２１と、前記回転体２１を駆動する駆動部２２と、前記回転体２１と前記駆動部２２を連結する駆動軸２３と、前記駆動軸２３を貫通させるとともに前記回転体２１と前記駆動部２２を隔離する隔壁２５と、前記隔壁２５と前記駆動軸２３の間に配置した軸受け２６と、前記軸受け２６と前記回転体２１の間にシール材２７とを配置し、前記駆動軸２３と隔壁２５間の空間に圧力変動低減部２８を設けた。 （もっと読む）

【課題】従来のガスレーザ発振装置は、レーザガス消費量が多く、ランニングコストが増大するという問題が発生していた。
【解決手段】レーザガス４を移動させる回転体２１ａ，２１ｂと、回転体２１ａ，２１ｂを駆動する駆動部２２と、回転体２１ａ，２１ｂと駆動部２２を連結する駆動軸２３と、駆動軸２３を貫通させるとともに回転体２１ａ，２１ｂと駆動部２２を隔離する隔壁２５と、隔壁２５と駆動軸２３の間に配置した軸受け２６と、軸受け２６よりも回転体２１ａ，２１ｂ側に配置し、かつ軸受け２６の外形寸法よりも大きな空間部２８と、軸受け２６と空間部２８の間にシール材２７を配置したものである。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振器の出力を増加させ、かつ、発振器筐体の気密性を確保する。
【解決手段】ガスレーザ発振器の構成機器を搭載する発振器筐体１０１と、発振器筐体１０１の機密性を保つための部材であって、発振器筐体１０１の内部側または外部側に膨出する曲面部２０１と端辺に形成されて発振器筐体１０１の内部側または外部側に突出した側壁２０３とを有する蓋部材２００と、発振器筐体１０１と蓋部材２００の間に配置され、形成された開口部３０４によってレーザ媒介ガスの流路幅を拡張するガス流路幅拡張部材３００と、ガス流路幅拡張部材３００を挟んで蓋部材２００を発振器筐体１０１に固定する蓋押さえ部材４００を備えている。 （もっと読む）

【課題】従来のガスレーザ発振装置では、送風手段の円周振れが発生しやすいためレーザガス流の流量を増加させることができず、小型で大出力のガスレーザ発振装置を得られない。
【解決手段】本発明のガスレーザ発振装置において、レーザガスを送風する送風手段に、先端に翼車部を設けるとともに前記送風手段を構成する部材のうち最も膨張率の小さい材料で形成される回転軸と、前記回転軸を回転させる駆動部と、前記回転軸に結合された上部軸受および下部軸受と、前記下部軸受の外周部を固定する抑え板とを備えたるようにした。 （もっと読む）

【課題】安価な製造コストで、レーザ共振器の要素部品の相対位置関係の変化を抑制することを可能にする。
【解決手段】レーザ共振器１０は、終端鏡１２を保持する終端鏡保持部１６と、出力鏡１４を保持する出力鏡保持部１８とを備え、終端鏡１２と出力鏡１４との間に設けられたレーザ励起部３４、３６内のレーザ媒体を励起させてレーザ発振を生じさせる。レーザ共振器１０は、互いに平行に延び終端鏡保持部１６と出力鏡保持部１８とを接続する複数の接続部材４６を備え、複数の接続部材４６のうちの少なくとも一つの接続部材４６ａが終端鏡保持部１６及び出力鏡保持部１８に固定されている一方、複数の接続部材４６のうちの残余の接続部材４６ｂは終端鏡保持部１６及び出力鏡保持部１８の少なくとも一方に対して摺動可能に接続されており、接続部材４６ｂが接続部材４６ａよりも高い熱膨張率の材料から形成されている。 （もっと読む）

【課題】 汚染物質の発生がなくなり、光学素子の汚染が防止され、光学素子の寿命を延ばすフッ化カルシウム結晶を用いたガスレーザ用光学素子の緩衝手段及びそれを用いたガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 入射平面と射出平面を備え、紫外線が入射平面から入射し、射出平面から射出するフッ化カルシウム結晶からなる紫外線ガスレーザ用光学素子２の緩衝手段４において、緩衝手段４は、光学素子２と、光学素子２を保持する保持手段１ａとの間に当接して配置され、フッ化カルシウムよりも軟らかい金属からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ピーキングコンデンサおよび高電圧印加部分を効率的に冷却することができ、高繰り返し化が可能な放電励起ガスレーザ装置の冷却機構を提供すること。
【解決手段】レーザチャンバ１の中には、アノードとカソード電極２ａ，２ｂが設けられ、高電圧供給部材３はカソード電極２ｂとピーキングコンデンサ４の一方の端子と電気的に接続され、ピーキングコンデンサ４の他方の端子は水冷ジャケット６が取り付けられた通電部材８を介して接地電位のレーザチャンバ１に接続されている。電圧供給部材３にはセラミックス製の冷却パイプ１１が取り付けられ、このセラミックス製冷却パイプ１１に冷媒流して、高電圧側を冷却する。上記冷却パイプ１１として、窒化アルミなどの高絶縁、高熱伝導率のセラミックス製部材を用いることができる。 （もっと読む）

【課題】紫外線が照射される環境下で使用可能な耐紫外線材料、ならびにこの耐紫外線材料を用いたシール部材、緩衝部材、遮光部材、光源装置、及び処理装置を提供する。
【解決手段】エキシマ放電用ガスとしてキセノンガスを封入し、放電空間（４５）を形成したエキシマランプ（４１）の気密容器（４４）に、粘土薄膜からなる耐紫外線材料により形成されたシール部材（４８）、および緩衝部材（４９）を介して光透過窓（４３）が装着される。 （もっと読む）

【課題】 従来の放電管ホルダベース及び放電管ホルダの構造は非常に時間のかかる工程で高価なものとなる問題があった。
【解決手段】 放電管ホルダベースを断面がコの字状の２つの板状金属部材の夫々のコの字状開口部分を突き合わせ、２つの板状金属部材が夫々接触する部分を接合して中空状の四角柱を形成し、四角柱内部空間内の接合部分間にスペーサを配置し、かつボルトとナットによる接続する。その中空形状の四角柱外周部に位置調整用のフランジを複数個配置しねじ止めした構造からなるものである。 （もっと読む）

ガス放電レーザのためのチャンバが開示され、チャンバは壁を有するチャンバ・ハウジングを備えることができ、この壁はチャンバ容積を囲む内壁と、外壁とを有し、壁はまた、オリフィスを伴って形成される。チャンバに対して、チャンバ容積の中に電流を流すために、少なくとも１つの導電体がオリフィスを貫通して延びる。導電体と壁の間には、オリフィスを通るガス流を防いで容積中のチャンバ圧力が保持できるようにするための部材を配置することができる。チャンバは、オリフィスに隣接して配置される、壁の外面の少なくとも一部における圧力を保持してチャンバ圧力に起因するオリフィス近辺における壁の反りを減少させるための与圧コンパートメントをさらに備えることができる。
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【課題】発振器筐体の真空状態時の応力を緩和することができ、メンテナンスのための面積が広く、製造しやすい蓋部材を有するガスレーザ発振器を得る。
【解決手段】ガスレーザ発振器１００の筐体１１の開口部を塞ぐ蓋部材１２を備え、蓋部材１２に筐体の内部側に膨出した曲面部であるドーム形状部３１を形成し、蓋部材１２の４つの端辺とドーム形状部３１との間の領域に筐体主構造１１の内部側に突出した凸起部である三角形凸構造部３２を形成し、蓋部材１２の端辺に筐体の外部側に突出した側壁３３を形成した。 （もっと読む）

【課題】音響チャープ補正を備えた放電レーザを提供することを目的とする。
【解決手段】高パルス周波数ガス放電レーザにおいて波長チャープを最小にするための構造的変化と方法。本出願人は、高パルス繰返数ガス放電リソグラフィ用レーザにおける波長チャープの主要原因が、後に続く放電と同時に放電領域に反射して戻る、放電からの圧力波であることを突き止めた。この圧力波の到着のタイミングは、そこを通ってその波が伝搬するレーザガスの温度により決められる。チャープ問題に対する解決策は、放電が作りだした圧力波を緩和する、又は、分散することにより、又は、ガスの温度を実現できる限り一定値近くに維持することである。 （もっと読む）

【課題】２ＫＨｚ以上の高繰り返しでパルス発振するレーザ装置の、主放電に伴って発じる音響波に因るレーザ性能への悪影響を低減させたレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザチャンバの内面に隙間、又は段部を画成する一方部位および他方部位のうち、放電空間から遠い側の部位を放電空間に近い側の部位より陥没させる。レーザチャンバの内面に隙間を画成する部位のうち、少なくとも放電空間から遠い側の部位を吸音材料により形成している。レーザチャンバの内面で互いに連続する平面域と曲面域との境界部を覆う態様で吸音材を設けている。また、レーザチャンバの内面に設置される部品の取付部を、レーザチャンバの内面に形成した凹部に収容し、この凹部の開口を蓋部材によって閉塞している。さらに、放電空間と主電極に平行する予備電離電極との隙間を覆う態様で、放電空間からの音響波を案内するガイド部材を設けている。 （もっと読む）

【課題】
エキシマレーザ装置において、高繰り返し周波数（たとえば４０００Ｈz）でのパルスエネルギー低下を抑制して、安定したパルスエネルギーが得られるようにする。
【解決手段】
放電空間１２０及びその近傍で生成した酸素Ｏ_２とフッ素Ｆ_２の化合物が循環流路２００を一巡して再び放電空間１２０に戻ってくるまでの間に、分解する。
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【課題】 放電に対する音響波の影響を最小に抑え、スペクトル線幅等のレーザ性能の周波数特性を改善する。
【解決手段】 １００〜３００ｋＨｚ以上の高周波成分を含んだ音響波を減衰するのに適当な気孔を内包する多孔質の吸音材４９をレーザチャンバ内に備える。この吸音材は、主電極１４，１５間で発生した１００〜３００ｋＨｚ以上の高周波成分を含んだ音響波を減衰して反射する。したがって、主電極間に戻る音響波は減衰するため、主電極間のレーザガスの疎密は小さくなる。 （もっと読む）

【課題】ハイパワー高出力パルス繰返し数高安定性ＵＶ光源、例えばＤＵＶ光の生成において用いられるガス放電レーザを提供する。
【解決手段】開示された場合の方法及び機器は、ハイパワー高繰返し数ガス放電レーザＵＶ光源を含むことができ、この光源は、垂直壁及び隣接する底部壁を含む内壁を含むガス放電チャンバと、内部垂直壁及び隣接する底部壁に隣接するガス流路を作り出すためのガス循環ファンと、内壁に沿うことができ、かつ少なくとも１つのメッシュ状スクリーン、例えば少なくとも２つの異なるゲージのメッシュ状スクリーンを含むことができる複数のメッシュ状スクリーンを含むことができる低ガス流量の領域に配置されたチャンバ内ダストトラップとを含むことができる。ダストトラップは、チャンバの底部内壁及び／又は内壁の垂直部分に沿って延びることができる。ダストトラップは、第１のゲージを有する第１のメッシュ状スクリーンと、第１のメッシュ状スクリーンと内壁の間にあり、第１のゲージよりも小さい第２のゲージを有する第２のメッシュ状スクリーンとを含むことができる。チャンバは、単一部分凹部と、互いに対して角度の付いた２つの区域を含むことができる複数部分凹部とを含む群から選択することができる、チャンバの垂直内壁及び底部壁の少なくとも一方にある複数のダスト収集凹部を含むことができる。ダストトラップは、主絶縁体の一部分とチャンバの内壁との間に配置された圧力トラップを含むことができる。チャンバは、渦制御ポケットを含むことができるファン遮断器を有する交差流ファンを含むガス循環ファンを含むことができる。チャンバは、柔軟部材を含むことができる予備電離管内の細長い開口部内の接地ロッドを収容する予備電離管を含む予備電離機構、自動予備電離遮断機構、予備電離開始制御機構、及び／又は集束要素を含むことができる。チャンバは、細長いバッフル板を含むことができ、このバッフル板は、複数のピラミッド状構造を含むことができ、この構造は、様々な個数のほぼピラミッド状の要素を含み、様々な個数のほぼピラミッド状の要素の群として配向され、かつ縦軸線に沿って及びそれと横断方向に配向されている。チャンバ内の音響共振はまた、レーザ放電のタイミングの中に人工的なジッターを導入し、パルス間周期をランダムに又はバースト内のパルスからパラスに反復するパターンで変化させることによっても低減することができる。 （もっと読む）