【課題】 真空容器の内部に存在する気化した有機物や浮遊した微細な粉塵が部分反射鏡の表面に付着し、それに伴う熱吸収率の上昇によって、レーザ光の特性が変化するのを防ぐ炭酸ガスレーザ発振器を得る。
【解決手段】 レーザ媒質が部分反射鏡の表面に近づいてくる流入経路を完全に覆うように、レーザ光が通るための開口を有した形状の部品を部分反射鏡の電極側の面近傍に配置するとともに、当該開口の内面を多孔質型アルマイトとし、さらに流入するレーザ媒質より温度が低くなるように当該部品を冷却したものである。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振装置において、長期使用時における発振装置の部品劣化による出力低下抑制が大きな課題となっていた。
【解決手段】ガスレーザ発振器のレーザガス供給排出量を検出するレーザガス供給排出量検出器と、放電入力を検出する放電入力検出器と、レーザ出力を検出するレーザ出力検出器と、検出された放電入力とレーザ出力を入力してガスレーザ発振器の入出力特性を演算し、あらかじめ設定した基準特性と比較する比較装置と、比較装置の出力に応じてレーザガス供給装置および排気装置を制御して最適なレーザガス供給排出量を得ることができる制御装置を設けた。 （もっと読む）

【課題】ガス排気系にある絞りの経時的な詰まりを防止することにより、装置全体の寿命延長を図り、長期に渡って高い信頼性を確保する。
【解決手段】本装置の運転停止前に、真空容器中に大気圧近傍までレーザガスの供給を行った後、真空ポンプを駆動させ、主排出弁を閉じ、副排出機構と直列に設けられた絞りを介してのみ、一定時間ガスを排出し、その後主排出弁を開け、通常排気弁を開くことで、通常排気弁と直列に設けられた絞りを介して、一定時間ガスを排出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転軸に結合された軸受が劣化などにより破壊した場合、回転軸の有する回転エネルギーにより送風手段が過大な損傷を受けるが、このような損傷を最小限度に抑制することのできる送風手段を搭載したレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】レーザガスを送風する送風手段において、回転部は先端に翼車を設けた回転軸とそれに結合された１つ以上の軸受を備え、非回転部は翼車に近接されて設けられているスクロール部と駆動手段および回転軸、軸受を保持するハウジング部により構成され、前記回転軸と前記ハウジング部の空間距離を前記翼車と前記スクロール部の間隙以下とした。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振装置において、送風手段に用いられる軸受の消耗の低減が大きな課題となっていた。
【解決手段】レーザガスを送風する送風手段を備えたガスレーザ発振装置において、送風手段は軸駆動手段によって回転を行なう回転部と、回転を行なわない非回転部から成り、前記回転部は先端に翼車部を設けた回転軸と、前記回転軸を回転させる駆動部と、前記回転軸に結合された上部軸受および下部軸受とを備え、前記上部軸受および前記下部軸受の一部にフッ素樹脂含有の複合メッキ被膜層を設けた。 （もっと読む）

【課題】１パルスあたりの出力エネルギーを従来以上に増加させたとしても、レーザチャンバに設けられた光学素子の劣化を抑制することできるエキシマレーザ装置を提供する。
【解決手段】所望するレーザ出力以上の範囲内で、レーザチャンバに設けられた光学素子に照射するレーザビームのエネルギー密度を低下させるように、レーザビームの幅を広げる。 （もっと読む）

【課題】 レーザ発振器から出射されるレーザビームの性能の低下及び電極消耗量を抑止可能な電極を提供する。
【解決手段】 陽極と陰極との間に電圧を印加し、両極間に放電を生じさせるために用いられる電極であって、少なくとも陰極の表層部が、ＮｉとＭｏの合金、またはＮｉとＷの合金で形成されている電極を提供する。 （もっと読む）

【課題】必要ガス流速の増大及びファンへの投入電力の増大を抑え、４ｋＨｚ以上のさらなる高繰り返し動作と長時間使用を可能にした放電励起式パルス発振ガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】細長いアノードとカソードの放電面形状が、電極長手方向に直交する断面において凸面の曲線形状であり、接地電位の電極の幅Ｗｅと放電電極間の最小間隔ｇがｇ／Ｗｅ＞３の関係を有し、放電電極間へ４ＫＨｚ以上のパルス繰り返し数で、５０ｍＪ／ｃｍ³以上の密度の電力を供給する電源を備えており、放電面の凸面の曲線形状が、楕円、双曲線、又は、ｘ^N／（Ｗｅ／２）^N＋ｙ^N／ｈ^N＝１（ｈは電極曲線部高さ、ｘは電極の幅方向の位置座標、ｙは電極の凸面方向の座標、Ｎは３以上の整数）で表現される高次関数の何れかであり、電極幅内において、ΔＥ＝電界強度の差、Ｅave＝電界強度平均値とし、その割合ΔＥ／Ｅaveが３５％以下である。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で小型・安価に構成することができ、安定して長寿命に動作するＨｅ−Ｎｅガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】ガラスで構成されたレーザ管にＨｅ−Ｎｅガスが封入されてなる発振器と、その発振器に具備され、内部にＨｅガスを収蔵し、そのＨｅガスをレーザ管に補給することができる補給タンクとを有するＨｅ−Ｎｅガスレーザ装置において、レーザ管（管孔１２）の内部空間と補給タンク６１の内部空間とをガラスの隔壁６４を隔てて隣接させ、レーザ管の内部のＨｅガスの分圧と補給タンク６１の内部のＨｅガスの分圧との差により、隔壁６４を透過して補給タンク６１からレーザ管へ供給される単位時間当たりのＨｅガスの量を発振器から外部へ漏出する単位時間当たりのＨｅガスの量と等しくする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でレーザ管からのＨｅガスの透過・散逸を防止する。
【解決手段】ガラスで構成されたレーザ管にＨｅ−Ｎｅガスが封入されてなる発振器を有するＨｅ−Ｎｅガスレーザ装置において、発振器（リングレーザ発振器）１０をＨｅガス非透過性の気密筐体６１に収納し、気密筐体６１内部の発振器１０を取り囲む空間にレーザ管（ブロック１１内の通路１２）に封入されたＨｅ−ＮｅガスのＨｅ分圧と等しい分圧を有するＨｅガスを成分に持つ混合気体を充填する。Ｈｅガスの透過自体が発生しない。 （もっと読む）

【課題】 共振器を備えた高出力ガスレーザ発振器・増幅器において、共振器を構成するミラーで表面損傷及び歪みが発生しないように照射するピークエネルギ密度を減少させ、レーザの中心波長が変化したとしてもレーザ出力が減少しないようにする。
【解決手段】 リア側ミラー１と出力側ミラー２とからなる共振器と、その共振器中に配置されレーザガスが封入されたレーザチャンバー３と、レーザチャンバー３内のレーザガスを励起する励起手段４、５とを備えたガスレーザ装置において、レーザチャンバー３とリア側ミラー１の間、及び、レーザチャンバー３と出力側ミラー２の間の少なくとも一方に、ミラー側のレーザビームの径あるいは幅を広げるビーム拡大光学系６１、６１’を介在させた高出力ガスレーザ装置。 （もっと読む）

【課題】本発明はレーザガスの消費量を低減できるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機を提供するものである。
【解決手段】レーザガス２に放電を発生させる電極３、４、電源５からなる放電手段と、レーザガス２を放電手段による放電部分に送風する送風手段１０を備え、送風手段１０は、翼車２４、回転軸２５、モータロータ２６から構成された回転部と、モータステータ２７、ケーシング２８から構成された回転を行わない非回転部を有し、非回転部に送風手段１０の内部へ冷却ガスとして空気を導入する冷却ガス供給口１７を設け、冷却ガス供給口１７に流量調整弁１８、電磁弁１９、フィルタ２０、空気取入口２１からなる冷却ガス供給手段を接続し、非回転部にガス排出口２２を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】寿命を縮めることなく軸受の寿命の判断を行えるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機を提供するものである。
【解決手段】送風手段１０は、翼車１４、回転軸１５、モータロータ１６から構成された回転部と、モータステータ１７、ケーシング１８から構成された回転を行わない非回転部を有し、回転部と非回転部の間に上部軸受１９、下部軸受２０を設け、上部軸受１９、下部軸受２０の方向に上部温度検出手段２２、下部温度検出手段２５を付勢する上部弾性体２３、下部弾性体２６と、上部軸受１９、下部軸受２０と上部温度検出手段２２、下部温度検出手段２５の間に上部緩衝部材２１、下部緩衝部材２４を配置する。 （もっと読む）

【課題】 小型軽量かつ安価で気密構造を必要とせず、また放電電極容器が破損しにくく取り扱いが容易であり、放電電極容器内部での水漏れや結露を防止した放電電極を備えたレーザ発振器を得る。
【解決手段】 放電箱１２は、放電電極２が設けられた面だけに破損しやすい無機絶縁物を配置し、その他の面は破損しにくい無機金属で構成されているため、組立の際には放電電極２の面だけを注意すればよく、取り扱いが容易となる。また、絶縁物１６を放電箱１２の内部に充填することで、放電箱１２の内部と外部に大きな圧力差が生じないため、容器１１には厚みの薄い無期金属の板材を用いても強度を確保できる。 （もっと読む）

【課題】 張付き放電が発生した場合に、ノイズによる誤動作がなく、高速に張付き放電を検出することで、電極が損傷して寿命が短くなることを防止するレーザ発振器を得る。
【解決手段】 発振器電極へ高周波高電圧を供給する変圧器の二次側と発振器筐体との間に流れる張付き放電電流を検出し、この検出した値と放電電極へ高周波電圧を供給するインバータ回路の制御用矩形波信号とを乗算し、乗算した結果から交流成分を取り除き、その結果得られた値から張付き放電が発生しているか否かを判断する （もっと読む）

【課題】本発明は、真鍮や銅からなる配管の冷媒による腐食を防止し、長期に渡って安定した性能を維持できるレーザ発振装置およびレーザ加工機を提供する事を目的とする。
【解決手段】放電管３と、放電管３にレーザガスを流すための送風手段１５と、送風手段１５と放電管３の間に位置してレーザガスを冷却する熱交換器１３、１４を備え、熱交換器１３、１４へ冷却水を送る配管として、銅または真鍮を用い、配管の接合部分を非アミン系化合物の接着剤で接着したもので、非アミン系化合物の接着剤を配管の接合部分に用いるので、銅や真鍮を腐食せず、長期に渡って水漏れ事故による装置の故障を防止できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、加工性能を向上でき、かつ安価で信頼性の高いレーザ発振装置およびレーザ加工機装置を提供することを目的とする。
【解決手段】高電圧電源４を構成するスイッチング素子５を放熱用構造物７に固定し、放熱用構造物７は高電圧電源４の雰囲気温度よりも低温の冷却媒質８を内部に循環させる冷却部を有し、かつスイッチング素子５は電気回路９と接続するリード端子６が同一面に設けられ、スイッチング素子５のリード端子６の引き出し方向が鉛直、あるいは、水平に対して角度４５度から９０度未満となるように放熱用構造物７に取付けたものである。 （もっと読む）

【課題】送風機、熱交換器、ガス配管は、ガスレーザ発振装置を構成する部品の多くを占めていて体積の小型化ならびに材料費の低コスト化の大きな障害になっていた。
【解決手段】内部にレーザガスを配置した筐体１９と、前記筐体１９の内部に対向配置した放電電極２３、２４と、前記放電電極２３、２４よりも筐体１９の外側でレーザの光軸２０方向に対向配置した部分反射鏡２６と反射鏡２５を備え、前記筐体１９は、その内部に前記放電電極２３、２４によるレーザガスへの放電空間２１よりも大なる直径の空間を有し、前記放電空間２１の方向に延びる冷却フィン２７を前記レーザの光軸２０方向に間隔を開けて複数設け、かつ冷却媒体の通路を設けたことにより、放電によるガス温度上昇ならびに冷却による温度降下でガスの対流を発生させ、レーザガスの循環を可能にした。 （もっと読む）

【課題】長期間に渡って安定したレーザ出力およびレーザ加工性能を維持できるレーザ発振装置およびレーザ加工機を提供することを目的とする。
【解決手段】電極６と、前記電極６へ接続した電源７と、前記電源７と前記電極６により形成される放電空間にレーザガス４を循環供給させる送風機１を備え、前記送風機１には、レーザガス４を移動させる回転体２１と、前記回転体２１を駆動する駆動部２２と、前記回転体２１と前記駆動部２２を連結する駆動軸２３と、前記駆動軸２３を貫通させるとともに前記回転体２１と前記駆動部２２を隔離する隔壁２５と、前記隔壁２５と前記駆動軸２３の間に配置した軸受け２６と、前記軸受け２６と前記回転体２１の間にシール材２７とを配置し、前記駆動軸２３と隔壁２５間の空間に圧力変動低減部２８を設けた。 （もっと読む）

【課題】従来のガスレーザ発振装置は、レーザガス消費量が多く、ランニングコストが増大するという問題が発生していた。
【解決手段】レーザガス４を移動させる回転体２１ａ，２１ｂと、回転体２１ａ，２１ｂを駆動する駆動部２２と、回転体２１ａ，２１ｂと駆動部２２を連結する駆動軸２３と、駆動軸２３を貫通させるとともに回転体２１ａ，２１ｂと駆動部２２を隔離する隔壁２５と、隔壁２５と駆動軸２３の間に配置した軸受け２６と、軸受け２６よりも回転体２１ａ，２１ｂ側に配置し、かつ軸受け２６の外形寸法よりも大きな空間部２８と、軸受け２６と空間部２８の間にシール材２７を配置したものである。 （もっと読む）