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Fターム[5F110DD25]の内容

薄膜トランジスタ (412,022) | 基板 (39,595) | 製法 (875) | 処理 (504)

Fターム[5F110DD25]に分類される特許

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本発明の課題は、機械的応力に対し良好な耐性をもち、その製造が公知の従来技術よりも煩雑でない縦型ナノトランジスタを提供することである。本発明によればこの課題は、以下の特徴を備えた縦型ナノトランジスタによって解決される。すなわちソースコンタクトと、ドレインコンタクトと、ゲート領域と、ソースコンタクトとドレインコンタクトの間に配置され半導体特性をもつ円筒状のチャネル領域が設けられており、この円筒状チャネル領域は絶縁性フレキシブル基板に埋め込まれており、この領域は、ゲート領域とチャネル領域上部が同軸構造を成すよう、フレキシブル基板上およびチャネル領域上部の金属層により形成されたゲート領域により取り囲まれている。さらにソースコンタクトと半導体特性をもつチャネル領域とドレインコンタクトは縦方向に配置されていて、ソースコンタクトとドレインコンタクトと半導体特性をもつチャネル領域に対向するゲート領域と、基板の上側および下側は電気的に絶縁性の部材を有している。メモリ装置は多数のこの種の縦型ナノトランジスタから成る。本発明はこの種のトランジスタの製造方法にも関する。
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【課題】本発明は、高解像度構造を有する有機電子部品、特に低ソースドレーン間の距離を有する有機電界効果トランジスタ(OFET)及びその生産方法に関する。
【解決手段】有機電子部品は、生産中レーザーを用いて作られた凹部及び/又は修正された区域を有し、その中には、例えば、金属の導体トラック/電極が配置される。 (もっと読む)


【課題】アクティブマトリクス型の発光装置における光の取り出し効率を向上させる手段を提供する。
【解決手段】アクティブマトリクス型の発光装置において、第1の凹部101a〜第3の凹部101cを有する第1の基板100に金属膜102a〜第3の金属膜102cを形成することや、画素電極145、有機層148、凸部149aの表面を有する陰極149からなる発光素子150を形成することにより、光の損失や隣の画素への光漏れを防ぐことができる。 (もっと読む)


【課題】 本発明の目的は、基板上に高品質な半導体膜を形成するための半導体膜形成方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明は、バイアス触媒CVD,高密度バイアス触媒CVD,バイアス減圧CVD,バイアス常圧CVDを利用して、基板に半導体膜を形成する半導体膜形成方法である。真空容器1に原料ガスを供給し、真空容器1中に配置された基板10と電極3aとの間にグロー放電開始電圧以下の電界を印加して、基板10上に、少なくとも錫、ゲルマニウム、鉛のいずれか一つ以上を含有する半導体膜と、絶縁膜と、を形成することを含む工程と、この半導体膜および絶縁膜にレーザーを照射してアニールする工程と、このアニールする工程の後工程であって、水蒸気でアニールを行う工程と、を備える。 (もっと読む)


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