【課題】 ランプアニールにより効果的に被処理膜を加熱処理するための方法を提供する。
【解決手段】 基板１０１の上面側からは紫外光ランプ１０４を用いて紫外光１０７が照射される。また、基板１０１の下面側からは赤外光ランプ１０８を用いて赤外光１１１が照射される。本発明では赤外光照射による振動励起効果に加えて紫外光照射による電子励起効果が付加されるため、被処理膜１０３の励起効率が大幅に高まり、効果的な加熱処理が可能となる。 （もっと読む）

【課題】結晶化半導体薄膜に対して適正かつ効率的なフォトマスクの作成を可能にする。
【解決手段】薄膜トランジスタ回路は各々所定サイズを越える結晶粒ＳＸを収容する複数の結晶粒規定領域１０に２次元的に区画される結晶化半導体薄膜５と、各々のチャネル領域ＣＨが対応結晶粒規定領域１０内の中央に配置される複数の薄膜トランジスタと、複数の薄膜トランジスタを相互接続する配線部とを備える。 （もっと読む）