【課題】導電層に均一な電界を形成し、良質の多結晶シリコン薄膜を形成することができる多結晶シリコン薄膜の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、チャンバーと；前記チャンバー内の下部に設置され、導電層を含む基板が位置する基板ステージと；前記チャンバー内の上部に設置され、前記導電層に電源を印加する電極端子を含む電源印加部と；前記電極端子と前記導電層との間に位置する導電性パッドと；を含む多結晶シリコン薄膜の製造装置及び製造方法に関する。
したがって、本発明は、導電層に均一な電界を形成し、良質の多結晶シリコン薄膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】薄膜トランジスタ及びそれを含む有機電界発光表示装置の製造において、金属膜を半導体層に直接接触させて結晶化時にアーク発生を防止し、熱伝導を効率的に行い結晶化させるとともに、工程を単純化させて収率を高くする。
【解決手段】基板を提供する工程、上記基板上にバッファ層を形成する工程、上記バッファ層上に非晶質シリコン層のパターンを形成する工程、上記基板全面にソース／ドレイン電極用金属膜を形成する工程、上記ソース／ドレイン電極用金属膜に電界を印加する工程、上記非晶質シリコン層パターンを結晶化して半導体層を形成する工程、上記ソース／ドレイン電極用金属膜をパターニングし、上記半導体層と接続するソース／ドレイン電極を形成する工程、上記基板全面にゲート絶縁膜を形成する工程、上記ゲート絶縁膜上に位置し、上記半導体層に対応するゲート電極を形成する工程、および上記基板全面に保護膜を形成する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】薄膜トランジスタ、その製造方法及びそれを含む有機電界発光表示装置を提供する。
【解決手段】薄膜トランジスタは、基板と、上記基板上に位置するバッファ層と、上記バッファ層上に位置する半導体層と、上記半導体層上に直接接触して位置するソース／ドレイン電極と、上記基板全面にわたって位置するゲート絶縁膜と、上記ゲート絶縁膜上に位置し、上記半導体層に対応するように位置するゲート電極と、を含み、上記ソース／ドレイン電極は１つまたは多数のホールを有する。 （もっと読む）

【課題】半導体膜から金属元素を取り除く従来のゲッタリング工程と異なる方法により半導体膜中から金属元素を除去する方法を提供することを課題とする。
【解決手段】金属元素を用いて結晶化された半導体膜に対して、パルスレーザを照射することにより、半導体膜にリッジが形成される。このリッジを除去することで、金属元素を除去する。リッジを除去したため半導体膜表面が荒れている場合、不活性雰囲気下で半導体膜にレーザを照射し半導体膜表面を平坦化する。 （もっと読む）

【課題】曲げストレスによるオン特性の劣化を抑制できる半導体装置、この半導体装置の製造方法、前記半導体装置を備えた画素アレイ基板、前記半導体装置を備えたセンシング素子アレイ基板、表示パネル、インプットパネル、表示装置、携帯機器、Ｘ線検査装置、及びレントゲン装置を提供する。
【解決手段】単結晶膜または多結晶膜からなる結晶化領域であるチャネル領域１４と、アモルファス膜からなるアモルファス領域であるソース領域２４及びドレイン領域３４とからなる半導体層４を備えており、チャネル領域１４は、半導体層４となるアモルファス膜を形成し、アモルファス膜に電流を流して一部分を結晶化することにより形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】金属膜の伝導熱により非晶質シリコン層を結晶化する過程で発生するアークの問題を解決する薄膜トランジスタ、その製造方法及びそれを有する有機電界発光表示装置を提供すること。
【解決手段】画素部と配線部とを含む基板と、前記基板上に位置するバッファ層と、前記バッファ層上に位置し、前記画素部に位置するゲート電極及び前記配線部に位置するゲート配線と、前記基板全面にわたって位置するゲート絶縁膜と、前記ゲート電極上に位置する半導体層と、前記半導体層に電気的に接続するソース／ドレイン電極とを含み、前記ゲート配線上には金属パターンが位置することを特徴とする薄膜トランジスタ及びその製造方法に関する。また、上記薄膜トランジスタを有することを特徴とする有機電界発光表示装置に関する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の特性を向上させることができる連続発振のレーザ装置を用いた半導体装置の作製方法の提供を課題とする。
【解決手段】絶縁表面上に半導体膜を形成し、半導体膜に希ガスを添加し、希ガス雰囲気中で希ガスが添加された半導体膜にレーザ光を照射し、レーザ光の照射の際に半導体膜に磁場を印加し、半導体膜は数μｓ以上数十μｓ以下の間溶融している半導体装置の作製方法を提供する。なお、レーザ光は基本波と高調波を合わせることで効率よく半導体膜を結晶化できる。 （もっと読む）

【課題】低コスト、高発電効率、軽量であって一般家庭用途への適用が容易であり、しかもパネルの基材に樹脂材料を使用することもできる太陽電池パネルの製造方法及び薄膜シリコンの製造方法を提供すること。
【解決手段】この太陽電池パネル１の製造方法は、基材２上に直接又はバッファ３層を介して第１〜第３非晶質膜４，７，８を製膜する工程と、製膜工程を繰り返して第２非晶質膜７を積層する工程と、第１非晶質薄膜４に金属１１をドープする工程と、金属１１ドープ後の第１非晶質膜４をアニール処理して金属１１を核とする多結晶又は準単結晶部１１ａを生成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】結晶化装置において、エキシマ・レーザーの高繰り返し連続照射におけるレンズの熱膨張および基板の熱膨張を低減する。
【解決手段】結晶化装置は、レーザー光を照射する照明光学系と、このレーザー光を所定の光強度分布の光線に変調する光変調素子と、この光変調素子の変調光を基板上に結像させる結像光学系と、基板を支持すると共に基板上の二次元位置を定める位置決めステージとを備え、基板に設けられた薄膜を変調光により溶融して結晶化させる結晶化装置において、照明光学系、光変調素子、結像光学系を含む光学系、および位置決めステージを室内に収納し、室内温度を所定の一定温度に制御自在とする恒温室を備える。エキシマ・レーザーの高繰り返し連続照射による熱発生に対して、光学系および基板ステージを恒温室内に設置する構成とすることでレンズおよび基板の温度を一定とする。 （もっと読む）

【課題】ＣＷレーザや発振周波数が１０ＭＨｚ以上のパルスレーザを用いた結晶化で得られるそれぞれの結晶粒の面方位を、レーザビームの照射領域内で一方向とみなすことができる方向に制御する。
【解決手段】半導体膜上にキャップ膜を形成したのちにＣＷレーザまたは発振周波数が１０ＭＨｚ以上のパルスレーザを照射して半導体膜を結晶化する。得られた半導体膜は複数の結晶粒を有し、この結晶粒は幅が０．０１μｍ以上、長さが１μｍ以上であり、この半導体膜の表面に垂直な方向を第１方向とし、この第１方向を法線ベクトルとする面を第１面とすると、第１面における半導体膜の面方位は、±１０°の角度揺らぎの範囲内において｛２１１｝方位が４割以上である。この半導体膜を用いて半導体装置を作製する。 （もっと読む）

【課題】集積回路から発生する熱の蓄積に起因する問題を解決することを課題とする。
【解決手段】一方の面上に集積回路が形成された基板を有している。この基板の他方の面（集積回路が形成されていない側の面）は、凹部が形成されており、一方の面と比較して表面積が大きくなっている。そして、他方の面に形成された凹部には、放熱性材料が充填される、もしくは、少なくとも凹部の表面に放熱性材料を含む膜が形成される。また、このような集積回路装置が多層に設けられていてもよい。 （もっと読む）

【課題】 生産性の低下を招くことなく大面積を均一に処理して、アモルファスシリコン薄膜の改質を行うことができるようにする。
【解決手段】 アモルファスシリコンからなる半導体膜を帯状の基板上に成膜して被照射対象物１１１を作製する。中空円筒状のマイクロ波照射管１０９の中心部またはその近傍を通過するように、マイクロ波照射部１０６内に被照射対象物１１１を搬送しながら、マイクロ波照射管１０９内にてマイクロ波を多重反射させる。これにより、多重反射により均一化されたマイクロ波を、帯状を有する被照射対象物１１１の長手方向に向かって順次照射することができる。 （もっと読む）

【課題】
線状レーザの走査回数を減少させ、レーザアニールにかかる時間を短縮させ、半導体装置の作製工程、作製時間、作製にかかるコストを短縮させることを課題とする。
【解決手段】
本発明では、線状レーザビームの照射面に重なり合うように高温の気体を局所的に噴き付ける。線状レーザビームは、レーザ発振器から射出したレーザビームをレンズに入射することにより得られる。高温の気体は、気体圧縮ポンプで圧縮された気体をノズル型ヒータにより加熱することによって得られる。加熱された気体は、線状レーザビームの照射面に重ね合わせるように噴出する。 （もっと読む）

【課題】 発光装置、特に発光装置が有する画素部の高精細化、高開口率化が進むにつれて、より幅の小さい配線を形成することが要求されている。しかしインクジェット法を用いて配線を形成する場合、配線形成表面でドットが広がってしまい、配線の幅を小さくすることが難しかった。
【解決手段】 本発明は、配線形成表面に光触媒物質を形成し、該光触媒物質の光触媒活性を利用して配線を形成することを特徴とする発光装置の作製方法である。インクジェット法により、光触媒物質上に、溶媒に導電体が混入された組成物を吐出することにより、ドットの径より狭い、つまり幅の小さい配線を有する発光装置を提供することができる。 （もっと読む）