【課題】高出力ビームが得られ、エネルギー効率に優れたレーザ装置およびこれを用いたレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、全反射ミラー１１，部分反射ミラー１２およびブリュースターウィンドウ１３を含むレーザ発振器と、レーザ発振器から出力されたレーザ光を時間的に分配するための音響光学素子２１と、ウィンドウ１４，ミラー１５，１６および偏光回転ミラー１７を含むレーザ増幅器などで構成される。レーザ光は、レーザ増幅器内に配置された放電励起ガス２を複数回通過する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を効率的に増幅する。
【解決手段】ＥＵＶ光源装置は、レーザ装置と、前記レーザ装置から出力されたレーザ光を入力して所定のターゲット物質に集光し、該レーザ光の集光によって励起した前記所定のターゲット物質から放射した極端紫外光を集光しつつ出力するチャンバと、を備える。レーザ装置は、スラブ型増幅装置と、前記光を出力するマスタオシレータと、前記スラブ型増幅装置から出力された光を増幅する増幅器と、を備える。スラブ型増幅装置は、自由空間軸と導波軸とを有する第１スラブ型増幅器と、前記第１スラブ型増幅器の入力段に配置され、該第１スラブ型増幅器に入力する光の偏光方向および断面形状の少なくとも一方を変換する第１ビーム調節部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】優れた偏光消光比を持つ軸対称偏光ビームを発生できるレーザ発振器を提供する。
【解決手段】レーザ発振器は、リアミラー４および出力ミラー１を有する往復型の光共振器と、光共振器内に設けられ、光を増幅するためのレーザ媒質と、光共振器の光軸を折り返すための１つまたは複数の折り返しミラー２，３とを備え、折り返しミラー３は、ラジアル偏光の反射率とアジマス偏光の反射率が互いに異なる反射型回折光学素子で構成される。 （もっと読む）

【課題】優れた偏光消光比を持つラジアル偏光のレーザ光を低コストで発生できるレーザ発振器を提供する。
【解決手段】レーザ発振器は、リアミラー４および出力ミラー１を有する往復型の光共振器と、光共振器内に設けられ、光を増幅するためのレーザ媒質と、光共振器内に設けられ、アジマス偏光の反射率がラジアル偏光の反射率を上回る反射型回折光学素子と、光共振器の内部または外部に設けられ、光の偏光をラジアル偏光からアジマス偏光へまたはアジマス偏光からラジアル偏光へ変換する２つの反射型λ／２板８，９とを備え、ラジアル偏光のレーザ光を発生することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ発振光の横モードを容易に制御することができるレーザ光源を提供する。
【解決手段】レーザ光源１は、出力ミラー１１，レーザ媒質１２，光ビーム径調整部１３，アパーチャ１４，反射ミラー１５，駆動部２１，制御部２２を備え、出力ミラー１１から外部へレーザ発振光３１を出力する。レーザ媒質１２を挟んで反射ミラー１１および出力ミラー１４が対向して配置されていて、これによりレーザ共振器が構成されている。反射ミラー１５は、光の反射の際に当該光ビーム断面の各位置に応じた量の振幅または位相の変化を与えるものであって、外部からの制御に従って振幅または位相の変化量分布を呈示して、この振幅または位相の変化量分布に基づいてレーザ発振光３１の横モードを決定する。 （もっと読む）

【課題】ディザースプリングとブロックの接合構造にディザ角振動伝達に十分な接合強度を備えるリングレーザージャイロを供給する。
【解決手段】回転運動を検出するブロック６１と、リングレーザージャイロにディザー角振動を印加するために、ブロック６１の中央部の円形貫通穴６２に装着されて、円筒形の外周壁６４と、中心から外周壁６４に向かって、放射方向に伸長する複数の腕６８を有するディザースプリング６３と、を備える前記ジャイロにおいて、ディザースプリング６３の外周壁６４の外周面６４ａ上には、ディザースプリング６３の軸線と平行な直線状の凸部６６、あるいは溝７２が複数の腕６８の隣接間にそれぞれ備えられ、ブロック６１の貫通穴６２の内周面６２ａ上には、凸部６６あるいは溝７２にそれぞれ嵌合された直線状溝７２あるいは凸部８２が備えられていることを特徴とするリングレーザージャイロ。 （もっと読む）

単指向性リングレーザ発振器は、大容量の非対称断面レーザゲイン媒体に結合するために、一つの横寸法において進行波不安定モードを有し、直交横寸法において導波管又は自由空間ガウスモードを有する。この装置のコンセプトは、凹面の光学機器を使用することなく、キャビティ内放射形態における左右の転換のような新規で革新的な特徴を有する。キャビティ内リング光学機器の一つの調整不良に対する高い鈍感性が、通常キャビティ内焦点面で出会う高い強度の放射と関連する有害ない効果を被ることなく、レーザの単指向性操作はキャビティ内及びキャビティ外光学技術の両方を使用して達成される。
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【課題】アルカリ性過酸化水溶液流量を増加させることなく、塩素ガス気流と液柱流の接触反応表面積を増大させて、ミストを伴わない励起酸素を効率よく発生する。
【解決手段】ヨウ素レーザー装置用の液柱式励起酸素発生装置において、アルカリ性過酸化水素水溶液を、複数の液柱ノズル２から鉛直下方に噴出して、液柱流５を形成する。これと塩素ガス気流とを反応させる。ガス供給口10と液柱流５との間に、１Torr以上760Torr以下の圧力損失を発生させるガス整流器13を設ける。ガス排出口14側の側壁と液柱流５との間に、0.1mm以上100mm以下の間隔の整流補助空間15を設ける。これにより、液柱流５群中を通過するガス流速の鉛直方向空間分布が、最大1000mmにわたって均一化される。その結果、ガス気流と接触可能な液柱流５の長さが、最大1000mm程度確保でき、ガス気流と液柱流５の接触表面積が増大する。 （もっと読む）

【課題】半導体露光装置の２ステージシステムの紫外ガスレーザにおいて、出力エネルギーを減少させることなくレーザ光の偏光純度を高くすること。
【解決手段】レーザ光を出力する発振段レーザと、前段のレーザから出力されたレーザ光を増幅して出力する一以上の増幅段レーザと、少なくとも一つの前記増幅段レーザのレーザ光軸上に設けられ、レーザ光に含まれ互いに直交する二つの直線偏波状態の成分のうちの一方を高反射率で反射し、他方を高透過率で透過する偏光子と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】集積回路リソグラフィのような用途において利用される高ピークパワー短パルス持続時間ガス放電レーザシステム、例えばエキシマ又は他のフッ素ガス放電レーザ、例えばフッ素分子ガス放電レーザシステムを提供する。
【解決手段】高ピークパワー短パルス持続時間ガス放電レーザ出力パルスを供給するための装置及び方法が開示され、これは、パルスストレッチャを含むことができ、これは、出力レーザパルスの一部分を光遅延経路を有する光遅延内に迂回させるレーザ出力パルス光遅延開始光学機器と、光遅延の出力をレーザ出力パルス光遅延開始光学機器に送出するように直列に整列した複数の共焦点共振器とを含むことができる。複数の共焦点共振器は、１２パス４ミラー構成を構成する４つの共焦点共振器を含む。複数の共焦点共振器の各々は、曲率半径を有する第１の凹球面ミラーと、同じ曲率半径を有し、その曲率半径だけ離間している第２の凹球面ミラーとを含むことができる。パルスストレッチャは、第１の共焦点共振器セルを含むことができ、この第１の共焦点共振器セルは、第１の凹球面ミラーの面上の第１の点での出力レーザパルスの部分を含むレーザ出力パルス光遅延開始光学機器からの入力ビームを受光して第１の反射ビームを発生させる曲率半径を有する第１の凹球面ミラーと、同じ曲率半径を有してその曲率半径だけ第１の凹球面ミラーから離間し、第２の凹球面ミラーの面上の第１の点で第１の反射ビームを受光して、第１の凹球面ミラーの面上の第２の点に入射する第２の反射ビームを発生させる第２の凹球面ミラーとを含むことができ、第２の反射ビームは、第１の凹球面ミラーにより第１のミラー上の第２の点から反射されて第１の共焦点共振器セルからの出力ビームを形成し、この第１の共焦点共振器セルは、更に、第１の共焦点共振器セルの出力ビームを第２の共焦点共振器セルの入力ビームとして受光する第２の共焦点共振器セルを含むことができる。この装置及び方法は、ビーム送出ユニットの一部を形成することができ、かつ集積回路リソグラフィ光源又は集積回路リソグラフィツールの一部とすることもできる。この装置及び方法は、複数、例えば２つのパルスストレッチャを直列に含むことができ、かつ空間コヒーレンス測定法を含むこともできる。 （もっと読む）