【課題】スペクトル線幅を高精度に制御する。
【解決手段】レーザ装置は、出力するレーザ光のスペクトル線幅を調節可能なレーザ発振器と、前記レーザ発振器から出力された前記レーザ光のスペクトルを検出するスペクトル検出器と、前記スペクトル検出器に入射する前記レーザ光の光強度を調節可能な減衰部と、を備えてもよい。前記減衰部は、レーザ光の入射位置に依存して透過率が変化する可変アッテネータと、前記レーザ光の入射位置が変化するように前記可変アッテネータを移動させる移動機構と、を含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】容量性負荷に対して階段状の高電圧パルスを与えることができ、段数や各段の電圧変化量、各段の時間幅を様々に変更することが可能な回路を提供する。
【解決手段】駆動回路１Ａは、階段波及び矩形波の何れかを出力端１１から選択的に出力して容量性負荷５２を駆動する回路であって、定電圧ＶＨを供給する高電圧電源４１と、出力端１１と高電圧電源４１との間に直列接続されたＦＥＴ２１と、出力側コイルがＦＥＴ２１のゲートに接続された変圧器２２と、変圧器２２の入力側コイルに容量素子２３を介して接続された入力端１２ａと、定電圧ＶＨより低い定電圧ＶＬを供給する高電圧電源４２と、出力端１１と高電圧電源４２との間に直列接続されたＦＥＴ３１と、出力側コイルがＦＥＴ３１のゲートに接続された変圧器３２と、変圧器３２の入力側コイルに容量素子３３を介して接続された入力端１２ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】マスタレーザの波長をスレーブレーザキャビティのモードの近傍に最高の精度で調整し、マスタソースとスレーブキャビティとの間の偏光制限を排除できる、光学装置を実現する。
【解決手段】本発明は、複数の波長で光線を放射する光学ソース(2)と、各々がホログラフィック媒体(MH)を備える少なくとも１つのレーザ(3)と、前記光学ソース(2)から派生した前記光線を前記少なくとも１つのレーザ(3)に注入する手段(FO,MCS,MUX,CO,IO,AV)と、を備え、前記ホログラフィック媒体(MH)は、ホログラムを生成することによって、前記少なくとも１つのレーザが少なくとも１つの発振モードで発振するように適合し、前記少なくとも１つの発振モードは、前記複数の波長の中の少なくとも１つの波長によって決定される光学装置(1)に関する。本発明は、前記光学ソースが、前記複数の波長で同時に放射する光源を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】自然放出光による光学系の損傷や光学特性の低下が抑制されたファイバレーザ装置を提供する。
【解決手段】ファイバレーザ装置５は、第１の光源１０、第２の光源１２、ファイバレーザ増幅器２０、およびファイバレーザ発振器３０を有する。第１の光源１０は、第１のシード光を第１の周期を有するパルス列として放出する放出期間と、前記第１の周期よりも長い非放出期間とを有する。第２の光源１２は、前記第１のシード光の波長とは異なる波長を有する第２のシード光を、前記非放出期間内に第２の周期を有するパルス列として放出可能である。ファイバレーザ増幅器２０は、第１の希土類元素が添加された光ファイバ２２を有し、ファイバレーザ発振器３０は、前記第１のシード光の前記波長における光吸収強度が前記第２のシード光の前記波長における光吸収強度よりも高い第２の希土類元素が添加された光ファイバを有する。 （もっと読む）

【課題】 最も硬い結晶面（１１１）面でＣａＦ₂ 結晶をカットし、この結晶面を表面粗さの小さな高精度研磨を行うことにより、潜傷を少なくし、レーザ照射によるＣａＦ₂ 結晶の表面損傷を防止する。そして、Ｐ偏光のフレネル反射率を小さくし、真性複屈折による偏光純度の悪化を防止するＣａＦ₂ 結晶を用いたガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 ガスレーザ装置は、レーザチャンバ１１と、レーザチャンバ１１の一方の側とその反対側に設置された光共振器と、レーザチャンバ内部に封入されたレーザガスと、レーザガスを励起する励起部と、レーザチャンバに設けられ、入射平面がフッ化カルシウム結晶の（１１１）結晶面に平行であり、励起されたレーザガスから発生するレーザ光の入射平面への入射角度は、２４．９°から６８．７３°の角度範囲内であり、フッ化カルシウム結晶が［１１１］軸を中心に回転され、真性複屈折が極小となる領域に設置される２つのウィンドウ１２，１３と、を備える ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】広い区域にわたって高繰返し率のレーザ光を用いる表面及び／又は基板の処理を伴う製造工程で使用される高電力及び高安定性ガス放電レーザを提供する。
【解決手段】直列に接続した複数の一次巻線と複数の一次巻線の各々を通る単一の二次巻線とを有する多段分割ステップアップ変圧器と半導体トリガスイッチとを含むＤＣ電源に接続されかつそれぞれの電極に接続した第１及び第２のパルス圧縮及び電圧ステップアップ回路を含む電源モジュールと、単一出力レーザ光パルスビームを生成するためにＰＯＰＡ構成レーザシステム又はＰＯＰＯ構成レーザシステムのいずれかとして第１及び第２のレーザユニットの作動を達成するように、それぞれの第１及び第２のパルス圧縮及び電圧ステップアップ回路の作動パラメータに基づいてそれぞれの半導体スイッチの閉成を計時するように作動するレーザタイミング及び制御モジュールとを含むマルチチャンバレーザシステム。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を得る。
【解決手段】波長変換装置は、第１面を備える非線形結晶と、前記第１面に接合し、少なくとも１つの層を含む第１膜と、前記第１膜に接合する第１プリズムと、を備えてもよい。前記第１膜と前記第１プリズムとの前記接合は、オプティカルコンタクトであってもよい。前記非線形結晶は、ＫＢＢＦ結晶であってもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ（ＭＯ）１０からのビームは、ＭＯビームステアリングユニット３０を介して増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ（ＰＯ）２０からのビームは、ＰＯビームステアリングユニット４０を介してＯＰＳ５０に入射し、ＯＰＳ５０からの光はコヒーレンスモニタ６０を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ６６は、コヒーレンスモニタ６０の検出値に基づいて、ＭＯビームステアリングユニット３０のミラー、ＰＯビームステアリングユニット４０のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御し、出力レーザ光のコヒーレンスが所望の値になるように制御する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ（ＭＯ）１０からのビームは、ＭＯビームステアリングユニット３０を介して増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ（ＰＯ）２０からのビームは、ＰＯビームステアリングユニット４０を介してＯＰＳ５０に入射し、ＯＰＳ５０からの光はコヒーレンスモニタ６０を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ６６は、コヒーレンスモニタ６０の検出値に基づいて、増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器のミラー、ＭＯビームステアリングユニット３０のミラー、ＰＯビームステアリングユニット４０のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ（ＭＯ）１０からのビームは、ＭＯビームステアリングユニット３０を介して増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ（ＰＯ）２０からのビームは、ＰＯビームステアリングユニット４０を介してＯＰＳ５０に入射し、ＯＰＳ５０からの光はコヒーレンスモニタ６０を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ６６は、コヒーレンスモニタ６０の検出値に基づいて、増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器のミラー、ＭＯビームステアリングユニット３０のミラー、ＰＯビームステアリングユニット４０のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御する。 （もっと読む）

【課題】変換効率の良い波長変換装置及び紫外光生成レーザ装置を提供すること。
【解決手段】光入射面と、光出射面とを備え、前記光入射面から入射した光の第２高調波光を発生する波長変換素子と、前記波長変換素子に入射する光が通る入射部と、前記波長変換素子から出射した光が通る出射部とを備える液体セルと、前記波長変換素子と共に前記液体セル内に収容されて、かつ前記波長変換素子が少なくとも前記光出射面が液体と接するように浸漬される浸漬液と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を効率的に増幅する。
【解決手段】ＥＵＶ光源装置は、レーザ装置と、前記レーザ装置から出力されたレーザ光を入力して所定のターゲット物質に集光し、該レーザ光の集光によって励起した前記所定のターゲット物質から放射した極端紫外光を集光しつつ出力するチャンバと、を備える。レーザ装置は、スラブ型増幅装置と、前記光を出力するマスタオシレータと、前記スラブ型増幅装置から出力された光を増幅する増幅器と、を備える。スラブ型増幅装置は、自由空間軸と導波軸とを有する第１スラブ型増幅器と、前記第１スラブ型増幅器の入力段に配置され、該第１スラブ型増幅器に入力する光の偏光方向および断面形状の少なくとも一方を変換する第１ビーム調節部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御が行える狭帯域化レーザ装置を提供する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅Ｅ９５をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅Ｅ９５が、目標スペクトル純度幅Ｅ９５_０の許容幅Ｅ９５_０±ｄＥ９５内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御する。 （もっと読む）

【課題】自励発振光を抑制し、レーザ光の増幅を効率的に行うことができる極端紫外光源装置用ドライバーレーザを提供する。
【解決手段】このドライバーレーザは、発振によりレーザ光を生成して出力する発振器と、発振器から出力されるレーザ光を増幅する少なくとも１つの増幅器とを有する。増幅器は、レーザ光を入力するための第１のウィンドウ及びレーザ光を出力するための第２のウィンドウを有し、放電により励起された媒体のエネルギーを用いて、第１のウィンドウに入力されるレーザ光を増幅して第２のウィンドウから出力する放電部と、発振器から出力されるレーザ光を放電部の第１のウィンドウに出力し、その後に放電部の第２のウィンドウから出力されるレーザ光を放電部の第１のウィンドウにもう１度出力し、その後に放電部の第２のウィンドウから出力されるレーザ光を所定の方向に出力する光学系とを含む。 （もっと読む）

【課題】放熱性が高く、光ファイバレーザを低光損失で保持、収納できる光ファイバレーザモジュールを提供すること。
【解決手段】励起光源１と、励起光源１から出力された励起光を導波する増幅光ファイバ６、６Ａと、増幅光ファイバ６、６Ａを巻いた状態で保持し、かつ増幅光ファイバ６、６Ａの放熱を行う保持部９、９Ａと、を備えた光ファイバレーザ５０と、複数の増幅光ファイバ６、６Ａを備える、単数または複数の光ファイバレーザ５０を、収納する筐体１０１と、を備え、増幅光ファイバ６、６Ａが互いに離間した状態で配置されている。 （もっと読む）

【課題】１パルスあたりの出力エネルギーを従来以上に増加させたとしても、レーザチャンバに設けられた光学素子の劣化を抑制することできるエキシマレーザ装置を提供する。
【解決手段】所望するレーザ出力以上の範囲内で、レーザチャンバに設けられた光学素子に照射するレーザビームのエネルギー密度を低下させるように、レーザビームの幅を広げる。 （もっと読む）

【課題】スペクトル純度幅Ｅ９５の制御を、中心波長の制御にほとんど影響を与えることなく広い制御範囲で行えるようにし、スペクトル純度幅Ｅ９５を安定化させた狭帯域化レーザ装置を提供する。
【解決手段】光共振器内の出力側、すなわち出力カプラ３１側に波面調整器３２が設けられる。レーザチャンバ１０で発生した光は、レーザチャンバ１０側から波面調整器３２を通過し、出力カプラ３１に達する。波面調整器３２は所望のスペクトル純度幅Ｅ９５が得られるように、凹レンズ３３と凸レンズ３４間の距離を調整することで所望の波面になるように調整する。 （もっと読む）

【課題】
１バースト期間のうちの不安定期間に出力されるレーザ光のスペクトル幅を目標とするスペクトル幅に近づけて、１バースト期間内でレーザ光のスペクトル幅を安定させることによって、集積回路パターンの品質悪化や生産効率の低下を防止する。
【解決手段】
狭帯域化したレーザ光を連続してパルス発振するバースト期間と発振休止する発振休止期間とを交互に繰り返して動作する狭帯域化レーザにおいて、発振休止期間の長さに応じて発振休止期間中にパルス発振した場合のスペクトル幅を予測してスペクトル幅を変化させるアクチュエータを予め制御する。または、前回以前のバースト初期のスペクトル幅の不安定期間に計測されたスペクトル幅の計測値とそのときのスペクトル幅調整機構の動作指令値といった実績に基づいて不安定期間中にスペクトル幅制御を行う。 （もっと読む）

【課題】
レーザ装置の製造時の機差によるＥ９５幅等のスペクトル幅のばらつきや、レーザ装置の交換やメンテナンスに伴うＥ９５幅等のスペクトル幅のばらつきを抑制し、半導体の露光装置が形成する集積回路パターンの品質を安定させる。
【解決手段】
先ず予め複数の狭帯域化レーザ装置に共通するスペクトル幅の上限値と下限値とを設定しておく。そして、狭帯域化レーザ装置のメンテナンス時や出荷時など、狭帯域化レーザ装置を半導体露光の光源として使用する前に、狭帯域化レーザ装置をレーザ発振してスペクトル幅を検出する。この際、スペクトル幅が予め設定した上限値と下限値との間の値になるように、狭帯域化レーザ装置に備えられたスペクトル幅調整部を調整する。 （もっと読む）

【課題】 最も硬い結晶面（１１１）面でＣａＦ₂ 結晶をカットし、この結晶面を表面粗さの小さな高精度研磨を行うことにより、潜傷を少なくし、レーザ照射によるＣａＦ₂ 結晶の表面損傷を防止する。そして、Ｐ偏光のフレネル反射率を小さくし、真性複屈折による偏光純度の悪化を防止するＣａＦ₂ 結晶を用いたガスレーザ用光学素子及びそれを用いたガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも入射平面と射出平面のどちらか一方の平面がＣａＦ₂ 結晶の（１１１）結晶面に平行であり、入射平面から入射したレーザ光が［１１１］軸と［００１］軸を含む面内で、［１１１］軸と［００１］軸との間、［１１１］軸と［０１０］軸を含む面内で、［１１１］軸と［０１０］軸との間、又は、［１１１］軸と［１００］軸を含む面内で、［１１１］軸と［１００］軸との間、を通過し、射出平面から射出されることを特徴とする。 （もっと読む）