【課題】低コスト化及び小型化を図りながら、レーザ光の波長及び光強度を安定化できるレーザ光源装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源装置１は、電流が供給されることで励起光Ｌ１を出射する励起用光源１０と、励起用光源１０からの励起光Ｌ１を受けてレーザ光Ｌ２を生成する共振器２０と、レーザ光源装置１から出射されるレーザ光の光強度を可変とする光学素子８１を有する光強度変更装置８０と、当該レーザ光源装置１から出射されるレーザ光の光強度を検出する光強度検出装置７０と、励起用光源１０及び光学素子８１を制御する制御装置６０とを備える。制御装置６０は、光強度検出装置７０の検出結果に基づいて、励起用光源１０に供給する電流値を制御する光源制御手段と、光強度検出装置７０の検出結果に基づいて、光学素子８１を制御する素子制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来技術のＫＴＮを使わない偏向光源では、ビーム径を十分に太くできた。ＫＴＮ等を用いた光ビームスキャナを利用する場合、実用的な制御電圧の制限のためビーム径を細く絞る必要がある。ビーム径が細い状態で伝播する光ビームは、回折のために電気光学偏向器から出た後で、伝播するにつれビーム拡がりを生じる。偏向光源の偏向範囲における解像点数が十分に確保できない問題があった。
【解決手段】本発明の偏向光源は、全体にレーザ発振器部と角度分散部とから構成される。レーザ発振器部は、第１の回折格子を含む波長可変型光源を構成する。レーザ発振器部は、波長軸上で非常に大きい分解点数を持つ。レーザ発振器部の出力光ビームは出力結合鏡から出射される。出力ビームは、角度分散部においてより太いビーム径に変換された後、第２の回折格子に入射し、波長軸上で非常に大きい分解点数を維持したままでレーザ発振器の波長変化が空間的な偏向に変換される。 （もっと読む）

【課題】従来技術の電気光学結晶をプリズム型に加工した電気光学偏向器を利用した波長可変光源では、以下の問題があった。（１）印加電圧の変化を通じて変化させることのできる波長範囲が狭い。（２) 共振器モード番号を不変に保った、モードホップのない滑らかな波長変化動作が実現されていない。（３）大きな寸法の電気光学偏向器を用いるために、高速動作が困難であって光学的均一性の確保も難しい。
【解決手段】本発明の波長可変光源は、共振器内に利得媒質と回折格子とを有し、利得媒質と回折格子との間に電気光学偏向器を挿入し、回折格子の電気光学偏向器の挿入したのと異なる側に直入射端面鏡を配置する。回折格子への電気光学偏向器側からの光入射角θと、回折格子への直入射端面鏡側からの光入射角φとの間で、｜θ｜＞｜φ｜の関係を満たす。回折格子と電気光学偏向器との間に、２分の１波長板を挿入することもできる。さらに、凹面回折格子を使用することができる。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で小型化に向き、かつ、調整作業が簡素な構造で、単一縦モードのポンプ光を発生することができる固体レーザー。
【解決手段】励起光によりポンプ光を発生させ励起光と波長の異なるレーザー光を出力する固体レーザー１において、励起光によりポンプ光を発生するレーザー結晶４と、レーザー結晶４と対向配置され、ポンプ光をレーザー結晶４とは反対側の端面Ｓ４で反射する共振器ミラー５と、を備え、ポンプ光を共振させる第１共振器６を、レーザー結晶４の共振器ミラー５とは反対側の端面Ｓ１と共振器ミラー５のレーザー結晶４とは反対側の端面Ｓ４で形成し、第１共振器６で共振させたポンプ光の一部を共振させる第２共振器７を、共振器ミラー５のレーザー結晶４側の端面Ｓ３と共振器ミラーのレーザー結晶４とは反対側の端面Ｓ４で形成し、第２共振器７から単一縦モードのポンプ光を出力する構成とした。 （もっと読む）

【課題】電磁放射線をフィルタリングする装置および発信装置構成を提供すること。
【解決手段】電磁放射線をフィルタリングする装置および発信源構成は、電磁放射線の周波数に基づいて当該電磁放射線の１つ以上の成分を物理的に分離するよう構成された少なくとも１つのスペクトル分離構成を備える。また、前記１つ以上の成分に関連する少なくとも１つの信号を受信するよう構成された少なくとも１つの連続回転光学構成を備える。さらに、前記信号を受信するよう構成された少なくとも１つのビーム選択構成を備える。 （もっと読む）

【課題】各サブアレーでの位相差の補正と共に各サブアレーの指向角の補正さらに所望の位置への焦点調整を同一の装置により行うフェーズドアレーレーザ装置を提供する。
【解決手段】基準レーザ光源の出力光をサブアレーに分岐し、サブアレーごとに増幅後、コヒーレント加算を行うフェーズドアレーレーザ装置において、前記各サブアレー毎に、前記サブアレーの１つに基づき生成された参照光とサブアレー出力光の合波光を各象限ごとに電気信号にする４象限光検出器９と、サブアレー出力光をコリメートする光学系のための並進駆動機構１１と、前記４象限光検出器からの信号に基づき、参照光とサブアレー出力光の光位相差を検出しサブアレーのための光位相変調器にフィードバック制御すると共に、サブアレー出力光の指向方向誤差を検出し前記並進駆動機構にフィードバック制御するフィードバック制御手段１０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】出射されるレーザ光の横モードを精度良く調整することができる固体レーザ装置を提供する。
【解決手段】固体レーザ装置１０は、ＳＥＳＡＭ１２及び出力ミラー１４から成る共振器と、共振器内に配置された固体レーザ媒質１８と、固体レーザ媒質１８に励起光を入射させる半導体レーザ２０及びセルフォックレンズ２２と、共振器内の発振光の横モードを制御するためのナイフエッジ２６と、ナイフエッジ２６を保持し且つ共振器の光軸方向へ移動させるナイフエッジホルダ２８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザ励起固体レーザ装置に関し、光共振器内にエタロンなどを挿入しない構成で、１０６４.４ｎｍ近傍のシングルモード発振を実現する。
【解決手段】Ｎｄ：ＹＡＧの端面であって光共振器の端部となる端面に波長１０６４.４ｎｍ近傍に対するＨＲコートを施すと共に、Ｎｄ：ＹＡＧの光透過方向の厚みを、１０６４.４ｎｍ近傍に反射ピークが存在し且つ１０６１.８ｎｍ近傍に反射ピークが存在しないような厚みとする。 （もっと読む）

コンパクトで、光学的にポンピングされる固体マイクロチップレーザ装置は、低コストの緑色及び青色レーザ光源を得るため、効率的な非線形キャビティ内周波数変換を使用する。レーザは、Ｎｄ：ＹＶＯ_４などの固体ゲイン媒質および非線形結晶を含む。非線形結晶は、周期的に分極されたニオブ酸リチウムまたは周期的に分極されたリチウム・タンタル酸塩で形成され、その結晶は、高い信頼性を確実にするために、ＭｇＯでドープされたか、ＺｎＯでドープされたか、または、ストイキオメトリックである。非線形結晶は、赤外線ポンプレーザ・ビームから可視波長範囲へエネルギーを転換するため、効率的な周波数倍増を提供する。レーザ装置は、出力ビームのための出力開口を有するパッケージに組み付けされ、レーザアセンブリを収容する光学台と一体化される。パッケージは、半導体ダイオード・ポンプレーザ、マイクロチップレーザ・キャビティ・アセンブリ、光学台プラットフォームおよび電気リードに囲み、ヒートシンクを提供する。 （もっと読む）

【課題】簡明な構成で、出力光のスペクトル幅を調整可能なレーザ装置、光源装置これらの調整方法を提供する。
【解決手段】光源装置１は、レーザ装置１０と波長変換部３０とを備えて構成される。レーザ装置１０は、単一波長のパルス光を発生するレーザ光発生部１１と、レーザ光発生部１１により発生されたパルス光Ｌsを増幅する光増幅部１２と、光増幅部１２により増幅されたパルス光Ｌaの一部を時間的に切り出して短パルス光Ｌp出射するパルス光変調部１５と、パルス光変調部１５による切り出しタイミングを調整する遅延調整器８７およびトリガパルス遅延部８４からなるタイミング調整部と、を備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】安定した高出力の軸対称偏光ビームを発生できるレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、ミラー２，４からなる共振器と、共振器内部に配置され、光増幅作用を有するレーザ媒質１と、共振器内部に配置され、共振器の光軸を折り曲げる折り曲げミラー３などで構成される。共振器内でのレーザ光は、互いに直交関係にあるＳ偏光およびＰ偏光を有する。折り曲げミラー３の反射面には、Ｐ偏光と比べてＳ偏光に対してより高い反射率を有するＳ偏光優先反射領域７と、Ｓ偏光と比べてＰ偏光に対してより高い反射率を有するＰ偏光優先反射領域８とが設けられ、ラジアル偏光またはアジマス偏光を有するビームを発生する。 （もっと読む）

【課題】改変されたリットマン構成を有する周波数ステップ・レーザー・システム及び当該システムを用いる方法を提供する。
【解決手段】共通の光軸を有するレーザー共振器１０４及び外部共振器１１０を有するレーザーと、外部共振器１１０内に固定された反射回折格子２１４と、レーザー共振器１０４及び反射回折格子間のコリメータ・レンズ１１２と、外部共振器１１０の一端を画定し、該固定された反射回折格子２１４に光学的に結合され、該固定された反射回折格子２１４の位置のまわりにピボット回転する調整可能な反射ミラー２２０と、を有する波長チューナブル・システム及びその使用方法。 （もっと読む）

【課題】波長可変レーザモジュールの構成を複雑にすることなく、発振波長が不連続に変化する不連続点を検出し、この不連続点及びその近傍を避けて確実に動作点を設定・更新できるようにして、安定した単一モード発振を実現する。
【解決手段】波長可変レーザモジュール１を、利得媒質８と、発振波長の不連続な変化をもたらす周期的な特性を持つ一の波長フィルタ１０とを備える波長可変レーザ部２と、波長可変レーザ部２の発振波長に応じて周期的に変化するモニタ信号を出力するモニタ部３とを備えるものとし、モニタ部３を、モニタ信号を規定する周期を持つモニタ用波長フィルタ１６を備えるものとし、一の波長フィルタ１０の周期及びモニタ用波長フィルタ１６の周期の関係を、発振波長が不連続に変化した場合にモニタ信号が変化するように設定する。 （もっと読む）

【課題】線状の基本波を折り返す光路を有する共振器を備えるレーザ光源装置において、出力光の均一化と安定化を図る。
【解決手段】励起光源１と一対の共振器ミラー５及び１１とを有し、共振器ミラーにより構成される共振器３０内に少なくともレーザ媒質６と波長変換素子１０を設ける。励起光源１から横モードパターン光でレーザ媒質６を励起し、レーザ媒質６の発振により得られる線状の基本波を波長変換素子１０に照射して線状の変換波を出力する。共振器３０内に光路折り返しの反射部９を設け、各部を支持体４０上の異なる面４０Ａ，４０Ｂに配置することで、線状の基本波の長手方向をこの反射部９の入射面に対して略垂直に配置する。 （もっと読む）

【課題】ＳＨＧレーザ装置におけるレーザ光の高出力を維持しつつ単色性を向上させる。
【解決手段】Ｎｄ：ＹＡＧ結晶である固体レーザ媒質３の励起光入射側端面に、該媒質３に接触する初期層と最も外側の最終層とが低屈折率のＳｉＯ₂膜層４ａであり、その間を、ＳｉＯ₂膜層４ａと高屈折率のＴａ₂Ｏ₅膜層４ｂとが交互に積層された構造を基本として、前半層と後半層とでそれぞれ１層ずつＴａ₂Ｏ₅膜層４ｂを透過率が中間のＡｌ₂Ｏ₃膜層４ｃに置き換えた誘電体多層膜４を形成する。この各膜層４ａ、４ｂ、４ｃの膜厚とＡｌ₂Ｏ₃膜層４ｃの置換位置とを適宜に調整することで、励起光の波長８０９〜８１２nmを９９．９％以上透過し、基本波光の波長（９４６nm）波長を９９．９％以上反射し、且つ固体レーザ媒質３で励起される不要な波長（１０６４nm）を高い効率で透過させる選択的反射・透過層となる。これにより、高出力の青色レーザの単色性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】周波数を倍加させた固体レーザを備える光電子アセンブリにおいて、技術的に簡単に実施できるものを提案する。
【解決手段】光電子アセンブリが、調節された状態で光電子アセンブリ内に固定された、周波数を倍加させたモジュール式の固体レーザ２を備えている。固体レーザは、制御手段４によって制御可能な熱源５に熱伝導可能に接続された光共振器３を備えている。固体レーザ２の作動温度Ｔが、制御手段４により４０℃から５５℃までの間で調節されている。 （もっと読む）

【課題】アクティブコア（１）、内部クラッド層（２）及び外部クラッド層（３）を備えるアクティブ光ファイバ（１１）のセクションを提供すること。
【解決手段】前記コア（１）の直径及び内部クラッド（２）の厚さは、アクティブ光ファイバ（１１）のセクションの長さ沿って徐々に変化し、これによりファイバ（１１）のセクションの長さに沿って連続モード変換処理を可能とする先細り縦プロファイルを形成する。この先細アクティブ光ファイバのセクションを作成する方法は、プリフォームからアクティブ光ファイバを延伸するためのプリフォームを作成する工程と、プリフォームを延伸タワーに設置する工程と、延伸タワー内の光ファイバを延伸する工程と、光ファイバの延伸中に引き取りプリフォーム速度及び巻き取りファイバ速度を含むふたつのパラメータの少なくともひとつを変更する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】反射面と、アウトプットカプラーの少なくともいずれか一方が、平面もしくは非常に緩やかな曲率を有する、不安定共振器における、共振器長の正確な設定、反射面とアウトプットカプラーとの平行度の問題を解決する。
【解決手段】反射面７とアウトプットカプラー６との間の光学的な平行度を調整する平行度調整装置１０が設けられる。平行度調整装置は、アウトプットカプラーを保持する保持部材１１と、反射面を保持する保持部材１２とより構成され、保持部材１１と、保持部材１２とには、同一曲率を有する凹状球面と凸状球面のいずれか一方と他方、あるいは凹状円錐面と凸状球面のいずれか一方と他方による、相互に衝合する第１の摺り合わせ面１１Ａと第２の摺り合わせ面１１Ａとが形成され、両摺り合わせ面を衝合させた状態で相互に摺動揺動させることによって共振器長の正確な設定、反射面とアウトプットカプラーとの平行度を調整する。 （もっと読む）

フォトリソグラフィにおける集積回路製造のためのレーザ光源としてのような線狭化用途におけるような使用されるエキシマ又は分子フッ素レーザシステムのようなＤＵＶガス放電レーザシステムにおけるような帯域幅の能動制御の技術を提供する。開示の主題の実施形態の態様により、誤差信号に基づいて帯域幅制御に向けて又はいかなるビーム倍率制御を利用することなく帯域幅以外の別のレーザ作動パラメータの制御に向けて、シードレーザ及び増幅器レーザにおけるガス放電間の差動タイミングを調節する段階、又は誤差信号に基づいて帯域幅制御に向けて又は帯域幅制御以外に対してビーム倍率制御を利用しながら帯域幅以外の別のレーザ作動パラメータの制御に向けて、シードレーザ及び増幅器レーザにおけるガス放電間の差動タイミングを調節する段階、及び誤差信号に基づいて帯域幅制御に向けて又は誤差信号に基づく帯域幅制御に向けたビーム倍率制御を利用しながら帯域幅以外の別のレーザ作動パラメータの制御に向けて、シードレーザ及び増幅器レーザにおけるガス放電間の差動タイミングを調節する段階を含むことができる方法及び装置を開示する。 （もっと読む）

【課題】モードホップのないシングルモードのレーザ光発振ができる小型の外部共振器型レーザ光源装置を提供することを目的とする。
【解決手段】レーザ光源と、レーザ光源からの出射光の一部をレーザ光源に戻しレーザ光源との間で特定波長の発振を起こさせてレーザ光源からの出射光を単一波長に近づけると共に出射光の他の部分を反射させる第１の光学素子と、第１の光学素子からの反射光から干渉縞を形成する第２の光学素子と、第２の光学素子から導かれた光に含まれる複数の波長の中から主となる波長を検出すると共に複数の波長のばらつき具合を検出する光検出手段と、第１の光学素子からの反射光の一部を第２の光学素子に透過させると共に反射光の他の部分を記録媒体に反射させる部分反射ミラーと、第１の光学素子、第２の光学素子及び部分反射ミラーを一体として有する光学部材と、光学部材の位置を変化させる駆動手段と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）