【課題】 一対のリニアモータのスライダ間をアーム部材で結合するリニアモータで発生する各モータ間の位置誤差を補正して高精度の位置決め制御を可能とするリニアアクチュエータを実現する。
【解決手段】 位置検出手段を備えた一対のリニアモータのステータを所定距離を隔てて平行に配置し、前記リニアモータのスライダ間をアーム部材で結合したリニアアクチュエータにおいて、
前記一対の位置検出手段の出力の和に基づき前記スライダ間の中点位置信号を算出する中点位置検出手段と、
前記一対の位置検出手段の出力の差に基づき前記スライダ間の位置誤差信号を算出する位置誤差検出手段と、
前記中点位置信号と目標位置信号との偏差に基づく推力指令によりドライバを介して前記リニアモータのスライダを駆動する中点位置制御手段と、
前記位置誤差信号を演算した補正信号を前記推力指令に差動的に重畳させる姿勢制御手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】速度、位置制御の応答を高くするとともに外乱力に対する補償を大きくすることができる速度制御装置および位置制御装置の制御方法を提供する。
【解決手段】サーボモータと、コントローラと、制御対象２である負荷機械とを備えた回転速度制御装置の制御方法において、負荷慣性Ｊ_Lをサーボモータ慣性Ｊ_Mの２倍以上とし、回転速度制御ゲイン２を（１＋Ｊ_L／Ｊ_M）倍増大することにより、負荷慣性の結合により低下したループゲインを補償する。この回転速度ゲイン２の増大によって、閉ループの応答は変化がないが、外乱力の抑制効果は回転速度制御ゲイン分、すなわち（１＋Ｊ_L／Ｊ_M）大きくなり、制御精度が従来に比べて、５０％以上、向上する。 （もっと読む）

【課題】 バルブの動作角度に応じて，前記制御感度を自動で適切に調節することが可能なバルブポジショナ，及びバルブ駆動装置を提供することにある。
【解決手段】
バルブの目標角度に対する検出角度の偏差に基づいてバルブ駆動用アクチュエータを制御する場合に，バルブの検出角度（実際の動作角度）に基づいて，バルブ駆動用アクチュエータの制御感度を調節することを特徴とするバルブポジショナとして構成される。
具体的には，Ａ／Ｄ変換器２ｂからのデジタル信号（検出信号）が変化した場合，動作感度算出回路９が記憶部８に記憶されている動作感度テーブルを参照し，バルブの検出角度に応じて判断回路３における不感帯の幅を設定する。 （もっと読む）

【課題】 本発明はＸステージが移動可能に搭載されたＹステージの並進駆動を高精度に行うことを課題とする。
【解決手段】 ステージ装置１０は、上記Ｙ１リニアエンコーダ５２、Ｙ２リニアエンコーダ５４、Ｘリニアエンコーダ５８により検出されたＹ１，Ｙ２，Ｘ方向位置信号が入力されると、Ｘ，Ｙ，θ座標変換を行って移動体重心位置を演算し、推力非干渉化ブロック７０により移動体重心位置に応じてＹ１，Ｙ２リニアモータ３６，３８の推力ｆ_１，ｆ_２が互いに干渉しないように推力非干渉化を行う。推力非干渉化ブロック７０は、第１乃至第３分配演算部８４，８６，８８により、互いに逆方向に作用する２つの回転力が釣り合うように推力ｆ_１，ｆ_２の分配比を設定してＹステージ１８に重心軸周りの回転力が作用しないようにＹステージ１８を並進駆動する。 （もっと読む）

【課題】操作子に適度な操作反力を再現する汎用性の高い技術を提供する。
【解決手段】 操作装置は、人が操作する操作子と、人が操作子に加えている操作力を検出する操作力検出手段と、操作子の速度を検出する手段と、検出した操作子の速度に検出した操作力に起因して生じる加速度から計算する速度変化量を加味して第１速度を算出する手段と、第１速度と反対向きの力を決定する手段と、第１速度に決定した反対力に起因して生じる加速度から計算する速度変化量を加味して第２速度を算出し、算出した第２速度が第１速度と反対向きであれば、算出した第２速度をゼロとする手段と、操作子の速度が第２速度算出手段で算出した第２速度に変化するように、操作子を動作させるアクチュエータとを備える。 （もっと読む）

本発明は位置決め装置に関する。前記位置決め装置は少なくとも１つの位置センサーと、少なくとも１つの位置制御部と、少なくとも１つの位置作動装置とを有する。前記位置センサーは、被位置制御装置の位置を測定する。前記位置制御部は、前記位置センサーにより提供される計測信号を入力信号として用いる。そして前記位置制御部により生成された出力信号は、前記位置作動装置により、前記被位置制御装置の位置を制御するために用いられる。前記位置決め装置は、前記被位置制御装置に作用する重力を補正する重力補正手段を更に有する。前記重力補正手段は、少なくとも１つの重力補正制御部と、少なくとも１つの重力補正作動装置とを有する。前記重力補正制御部は、前記位置制御部により生成された出力信号を入力信号として用い、出力信号を生成する。前記生成された出力信号は、前記重力補正作動装置により、前記被位置制御装置に作用する重力を補正するために用いられる。

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【課題】アクチュエータの種類を問わず、共通の命令で制御することが可能であるとともに、アクチュエータの種類を含む変更が容易なアクチュエータ制御装置を提供する。
【解決手段】アクチュエータにサーボ機構５８を介して接続される制御装置は、プログラムに従って当該アクチュエータの動作を制御するとともに、通信制御装置１２２を介して他のアクチュエータあるいは上位の主制御装置と同一のインタフェースで通信を行うことにより、相互に協調してワークに対する作業を遂行する。 （もっと読む）