【課題】オーバーシュートのない速い応答になり、モータ発生トルクが大きくならず速度制御系の安定度を高めるサーボ機構の速度制御装置を提供する。
【解決手段】２慣性系を有して、モータ速度をフィードバックし、負荷機械の速度の比例制御を行う比例ゲインを備えたサーボ機構の速度制御装置において、時間[0 T]において、初期値０，最終値１となる関数Ｘ（ｔ）＝t/Ｔ 但し、ｔ：時間、Tは補償を完了する時間、の関数値を発生させ、
ｙ（ｔ）＝ｘ（ｔ）×（JL/JM）
ｚ（ｔ）＝ｙ（ｔ）＋１ 、とし、速度比例制御器ｋｖの出力とｚ（ｔ）（３７の出力）とを乗算することにより負荷イナーシャの補償を行うものである。 （もっと読む）

【課題】 設置位置の調整の手間がなく簡単に移動対象物の位置を検知することができるインパクト駆動アクチュエータを提供する。
【解決手段】 インパクト駆動アクチュエータ１００は、パルス電圧の印加により急峻な変形を起こし、衝撃的な慣性力を移動対象物２１に与えて移動対象物２１を移動させる積層型圧電素子１１０と、該圧電素子１１０を移動対象物２１に接触させるエアシリンダ１２０と、圧電素子１１０と一体的に設けられて移動対象物２１の位置を検知する接触式の変位センサ１４０とを有する。 （もっと読む）

【課題】パラメータ自動調整装置が不要で、複数軸を同じサーボパラメータに調整できる多軸サーボシステムを提供する。
【解決手段】 複数のモータ制御装置（１）から一つを調整軸モータ制御装置（１１）に、他を展開軸モータ制御装置（１２）にパラメータで指定し、上位装置（３）は、複数のモータ制御装置（１）に動作させる移動指令発生部（３１）と、調整軸モータ制御装置（１１）のパラメータ変更要求とパラメータの識別情報と変更情報とに従い、複数のモータ制御装置（１）のサーボパラメータを変更するパラメータ設定部（３２）を備え、モータ制御装置（１）は、制御係数を計算するパラメータ計算部（１１４）と、サーボ情報を解析してパラメータの値を決定し、パラメータの変更が必要かどうかを判断するパラメータ調整部（１１２）と、パラメータ変更要求とパラメータの識別情報と変更情報を上位装置（３）に送信するパラメータ変更要求部（１１３）とを備えた。 （もっと読む）

【課題】負荷変動の影響を受け難い制御系とし、騒音を抑えた無理のない制御を可能とする。
【解決手段】駆動軸に連結された駆動側慣性体と、従動軸に連結された従動側慣性体とを含む捩り振動系を成す機構の位置決め制御装置において、予め初期位置から目標位置への状態軌道及び操作量軌道のデータ系列を制御の参照軌道としてそれぞれ記憶する状態軌道系列記憶部１３０及び操作量軌道系列記憶部１２０を備えた参照軌道発生部１１０と、前記状態軌道系列記憶部１３０に記憶された前記状態軌道に沿うように前記操作量軌道系列記憶部１２０に記憶された操作量軌道に対してフィードバック制御部１４０によって状態フィードバック制御を行い、位置決めする。 （もっと読む）

【課題】被駆動体の加速度に関する情報を用いて、駆動体の制御ゲイン又は時定数を適切かつ定量的に設定可能な制御装置、及び制御ゲイン又は時定数を調整する機能を備えた調整装置を提供する。
【解決手段】制御装置１０は、第１加速度センサ６による被駆動体３の加速度検出値を用いて、速度指令作成部１４及び電流指令作成部１６の制御ゲインを補正する制御ゲイン補正部１８を有する。 （もっと読む）

【課題】より高精度な検査面の位置を保つ基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板１０１を検査する基板検査装置において、水平方向に移動するＸＹステージ１２１と、ＸＹステージ１２１上に配置され、上下方向に移動するＺステージ１０３と、Ｚステージ１０３を３箇所で上下方向に移動させる圧電素子を有する３つのアクチュエータ機構１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃ、およびＺステージ１０３を支持する弾性ヒンジ１０８を備えた。また、Ｚステージ１０３上には基板１０１の中心を仮想中心軸として回転方向に移動するθステージ１０６が配置され、直線方向に移動するロッド３０８と、ロッド３０８に接続され弾性変形しながらθステージ１０６を回転させる弾性部材１１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】信号線を布設することなく、リニアスケールの信号を、空間光伝送を用いて確実に移動制御装置に伝送することができるリニアスケール用信号伝送装置を提供する。
【解決手段】移動体の移動量に応じたパルス信号を出力するリニアスケール３と移動体の移動を制御する移動制御装置５間で信号の伝送を行なう。スケール側空間光伝送装置１がリニアスケール３に接続され、リニアスケール３から出力されるパルス信号に基づき生成された移動体の移動量を示す座標値信号を、空間光に重畳して制御側空間光伝送装置２に送信する。制御側空間光伝送装置２は移動体の移動を制御駆動する移動制御装置５に接続され、スケール側空間光伝送装置１から空間光に重畳して送られた移動体の移動量を示す座標値信号を受信する。 （もっと読む）

【課題】ネットワーク接続における高精度なフルクローズ制御を実現するに際し、省配線が可能で小型のサーボシステムを提供する。
【解決手段】上位マスタ１とサーボアンプ２，３，４間をネットワークで接続されたサーボシステムにおいて、被駆動体９の位置情報を検出するリニアスケール８を備え、リニアスケール８の情報を上位マスタ１が読み出し、通信によりサーボアンプ２，３に位置情報を与えてサーボモータ５，６を駆動することで、フルクローズ制御を実現する。 （もっと読む）

【課題】 電動機駆動装置での制御性能の向上を図る。
【解決手段】 位置検出器３２を有する電動機３１を位置指令値Ｐｍに基づいて駆動する電動機駆動装置１であって、位置制御周期Ｔｐで動作し検出位置θと位置指令値Ｐｒｅｆから電動機駆動部１４の入力値となる速度指令値Ｎｒｅｆを出力する位置制御演算処理部１１と、前記Ｔｐと比べて長い周期Ｔｍで前記Ｐｍを受信する通信部１２と、前記Ｐｍを記憶する記憶部１３と、前記Ｐｍに補間演算を行ない位置指令値Ｐｒｅｆを出力する位置指令補間演算処理部１６と、前記Ｎｒｅｆにより電動機３１を駆動する電動機駆動部１４とを備え、位置指令装置２より、今回の指令値Ｐｍと次回のＰｍを同時に受信し、記憶部１３に受信順に複数記憶し、位置指令補間演算処理部１６において、前記Ｐｍと次回のＰｍにより、前記Ｔｐに合わせて補間演算を施して前記Ｐｒｅｆを生成し、電動機の位置制御動作を行なう。 （もっと読む）

【課題】複数軸の同期制御において演算周期単位での同期が可能な位置決め制御装置を得ること。
【解決手段】所定の位置決めポイント毎に、指令位置、加速演算周期数、定速演算周期数及び減速演算周期数を指定したポイントテーブル形式の制御データを格納したメモリと、メモリに格納された、位置決めポイント毎の指令位置、加速演算周期数、定速演算周期数及び減速演算周期数を解析し、位置決めポイント毎の指令速度、加速度及び減速度を求める解析手段と、解析手段により求められた、位置決めポイント毎の指令速度、加速度及び減速度に基づいて、位置決めポイント毎の速度及び位置指令値を求め、ポイントテーブルに指定された加速演算周期数、定速演算周期数及び減速演算周期数で位置決めポイント毎の位置決めが完了するように、駆動軸ドライバに位置決めポイント毎の速度及び位置指令値を出力する位置指令手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型の変位センサを設置することにより、小型で、かつ、位置決めできるリニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】駆動モータ１により回転駆動するねじ部と、このねじ部に螺合されたナット部と、このナット部に取り付けられたスライダーとを備え、前記ねじ部の回転により前記ナット部とともに前記スライダーが直線的に移動するリニアアクチュエータにおいて、前記スライダーの両側面を拘束するガイド７と、このガイドの反スライダー側側壁に取り付けられた第１のアンテナ１５と、この第１のアンテナに対向する反スライダー側側壁に取り付けられた第２のアンテナ１６と、この第１と記第２のアンテナに挟持されるよう前記スライダーの両側壁に取り付けられた第３のアンテナ１７とを備え、前記第１と第２のスライダーに対して前記第３のアンテナの位置が変化したときの静電容量の変化により前記スライダーの位置情報を検出する。 （もっと読む）

【課題】速度指令のテーブルを作成することなく制御対象を位置決めできる位置決め制御装置を提供する。
【解決手段】位置決め制御装置は、制御対象を目標位置に停止させる場合の現在位置を検出する位置検出器１０４_x，１０４_y，１０４_zと、現在位置と目標位置との相対距離から速度指令を演算する速度指令演算手段１６と、速度指令と制御対象の現在位置における実測度とにもとづき制御対象を速度制御する速度制御ユニット１７，１８，１９とを有する。 （もっと読む）

【課題】コントロ−ラでソフトリミットの処理を行うことなく、サ−ボドライバ単体で従来よりも複雑なソフトリミットの領域指定を可能とするネットワ−クサ−ボシステムを提供する。
【解決手段】ネットワ−クサ−ボシステム５において、サ−ボドライバ３、４は、ソフトリミットの領域指定関数、及び領域指定関数に対する可動領域を示すパラメ−タを記憶保持するパラメ−タ設定手段６と、通信手段２により取得した各サ−ボモ−タ７、８のフィ−ドバック位置、または各サ−ボドライバ３、４への指令位置が、可動領域内か否かを判断する演算処理部１０と、演算処理部１０の判断結果に基づいて、サ−ボモ−タ７、８を停止させるソフトリミット処理を行うソフトリミット処理手段１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 位置検出用のＭＲ素子から出力される正弦波信号のオフセット値をより正確に求めることができるオフセット値算出方法を提供する。
【解決手段】 位置検出の対象物を一定速度で移動させたとき、ＭＲ素子から出力される正弦波信号のレベルを示すデータＭＲＡ，ＭＲＢを、正弦波信号の周期に比べて非常に短い所定サンプリング周期Δｔで取得し、該取得したデータＭＲＡ(n)，ＭＲＢ(n)に基づいて正弦波信号の２階微分値に相当する微分パラメータＤＤＭＲＡ，ＤＤＭＲＢを算出し、該微分パラメータＤＤＭＲＡ，ＤＤＭＲＢを用いて、取得した複数のデータのそれぞれに対応してオフセット値データｔｍｐＡ，ｔｍｐＢを算出し、オフセット値データｔｍｐＡ，ｔｍｐＢを平均化することによりオフセット値Ｐ，Ｑを算出する． （もっと読む）

【課題】カムの基準位置であるストローク下死点を電子カム動作を行いながら動的に変更させること。
【解決手段】ストローク下死点位置を変更するための加算移動データを設定する加算移動量設定部９と、ストローク下死点変更指令が入力されると、カム位置決め量Ａに、ストローク下死点設定部８に設定されたストローク下死点位置および加算移動量設定部９に設定された加算移動データに対応する加算移動量を逐次加算し、この加算結果を出力軸に対する位置指令値として順次出力する位置指令算出部１２と、ストローク下死点変更指令が入力されると、ストローク下死点設定部８に設定されたストローク下死点位置に加算移動量設定部９に設定された加算移動データに対応する加算移動量を逐次加算し、この加算結果でストローク下死点設定部８に設定されたストローク下死点位置を順次更新するストローク下死点変更部１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 コントローラから絶対時間の付与しないサーボ制御指令を非同期通信方式で送信し、複数のサーボアンプを同期制御させるモーション制御システムを提供する。
【解決手段】 コントローラ１００は各モータ１１Ｎへの制御指令を第１のサーボアンプ１０１へ非同期通信方式で送信し、第１のサーボアンプ１０１は受信した制御指令を他のサーボアンプへ同期通信方式で制御指令を送信し、各サーボアンプは前記同期通信方式で定められたタイミングで、それぞれ受信した制御指令を実行し、各モータ間での同期制御を実現する。 （もっと読む）

【課題】 モータの運転状況の把握や解析を可能にし、アラーム検出にかかる処理時間を短縮にする。
【解決手段】 各指令値Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３と各許容値との差分の総和より演算して各積算値とし、各積算値２２，２７，３２を履歴データとして各積算値データ履歴２３，２８，３３に記録し、各積算値２２，２７，３２が各アラーム閾値２４，２９，３４を超えると各アラームを検出し、各アラーム処理を実行する各監視部２０，２５，３０を備え、各積算値２２，２７，３２や各積算値データ履歴２３，２８，３３を上位装置１０から読み出せるようにする。 （もっと読む）

【課題】モータの実運転中に制御モードをダイレクトに切り換える際において、位置指令にフィルタ等の処理があって遅れが発生する場合や切り換え後の制御系に外部フィードフォワード指令がある場合においても、モータ動作の連続性を保つことができるモータ制御装置を提供する。
【解決手段】上位制御部と下位制御部との間に制御切り換え器１６、１７とを備え、制御モードを切り換える際に外部フィードフォワード指令に基づいて、制御切り換え時の補償値を算出し制御切り換え器１６、１７を切り換える制御切り換え部１５と、制御切り換え時の協調動作を容易にするため、位置制御部１１と速度制御部１２とトルク制御部１３の各制御と制御切り換え部を同一のモータ制御装置１内で構成する。 （もっと読む）

【課題】装置の重量を増加させることなく移動台の振動を防止する直動装置の駆動制御装置を提供する。
【解決手段】駆動制御装置が、移動台を移動させるモータのモータ駆動部と、モータ駆動部に入力する入力信号から所定の周波数成分を除去するフィルタ部とを備え、フィルタ部が除去する周波数成分の設定周波数を、移動台に負荷される負荷重量に応じた機械系の固有振動数に合わせて設定する。 （もっと読む）

【課題】 定常状態において制御システムの制振性を高めるとともに過渡状態においても安定した制御を実現する制御装置を提供する。
【解決手段】 モータ速度制御ループ９１０への入力信号を位置制御ループ３００の信号と速度制御ループ２００の信号とで切り替える第１切替器（第１切替手段）４００と、第１切替器４００の切替制御を行う切替制御部５００と、を備え、この第１切替器４００によって速度制御ループ２００が組み込まれた４重ループ（電流制御ループ、モータ速度制御ループ、速度制御ループ２００、位置制御ループ３００）と、速度制御ループ２００が入らない３重ループ（電流制御ループ、モータ速度制御ループ、位置制御ループ３００）と、が過渡状態と定常状態とに応じて切り替えられる。 （もっと読む）