【課題】価格の安いリニアエンコーダを用いて安価な平面モータを実現する。
【解決手段】プラテン上に載置され該プラテン上をＸ−Ｙ方向に駆動可能に構成されたスライダを有する平面モータにおいて、前記スライダの位置検出手段として前記スライダに固定したヘッドと前記スライダが駆動されるＸ−Ｙ方向に配置されたスケールからなるリニアエンコーダを用いた。 （もっと読む）

【課題】位置決めを高精度に実行することができる位置決め装置の設計方法、位置決め装置の製造方法、位置決め装置、及び露光装置を提供する。
【解決手段】第１方向に移動可能なＸステージ１００と、結合部により該Ｘステージ１００に結合され、該Ｘステージ１００に対して第２方向に移動可能なＹステージ２００と、Ｘステージ１００を第１方向に移動させるモータ（不図示）と、を備える位置決め装置において、モータ（不図示）がＸステージ１００を移動させる力と、第１方向における該Ｙステージ２００の位置と、の関係を表す伝達関数に基づく、剛体モードと、１次共振と、２次共振と、の関係に基づいて、位置決め装置のＸステージ１００及びＹステージ２００の少なくとも一方の作製上の諸元が定められる。 （もっと読む）

【課題】ウエハステージの駆動方向によって発生する微小振動を適切に処理し、１つのウエハ内の露光精度を均一に保つ露光装置及び露光方法を提供する。
【解決手段】原版を保持する原版ステージと、基板を保持、及び移動可能とする基板ステージと、原版のパターンを基板に投影する投影光学系と、基板ステージの位置を計測する位置計測手段と、該位置計測手段の計測値に基づいて、基板ステージの駆動を制御する制御手段と、を有し、ステップ・アンド・リピート方式によって原版のパターンを基板に露光する露光装置であって、制御手段は、基板ステージが、基板を位置決めするために露光位置に向けて駆動する際、予め測定した、基板ステージの駆動方向による、目標位置、倍率、若しくは回転のうち、少なくとも１つのずれ量に基づいて、基板ステージの駆動位置の補正を実施する（Ｓ１０３〜Ｓ１０７）。 （もっと読む）

【課題】静止安定性を有する位置決め装置。
【解決手段】対象物を移動させる駆動力を発生する駆動部と、対象物を目標位置に向かって移動させるべく駆動部をサーボ制御する制御部と、対象物を、駆動力よりも大きな固定力で固定する固定部とを備え、移動した対象物が目標位置に到達した後、少なくとも固定部が対象物を固定するまで、制御部は、対象物が移動していた期間のサーボゲインよりも小さなサーボゲインでサーボ制御を継続する。上記位置決め装置において、浮上力を発生させて対象物を浮上させる浮上力発生部を更に備え、浮上力発生部が浮上力の発生を停止した後、少なくとも少なくとも固定部が対象物を固定するまで、制御部は、力発生部が対象物を浮上させていた期間のサーボゲインよりも小さなサーボゲインでサーボ制御を継続してもよい。 （もっと読む）

【課題】安価な構成により高精度でかつ短時間に原点復帰を行うことができる位置決め装置の実現を実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向およびＹ軸方向に位置制御されるスライダ２００，３００と、このスライダ２００，３００と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ２００，３００と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ２００，３００に設けられ、スライダ２００，３００のプラテン１０に対する位置を検出するＸ軸レゾルバおよびＹ軸レゾルバと、
Ｘ軸レゾルバおよびＹ軸レゾルバで得られる位置検出信号に基づいて、スライダ２００，３００をプラテン１０上に設定された原点位置にサーボ制御する原点復帰制御部４０２と、
を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 スライダをプラテン上に浮上させた状態でサーボモータモードとステップモータモードを切り換えることを可能とした平面位置決め装置を実現する。
【解決手段】 Ｘ軸方向に推力を発生するＸ軸モータ及びＹ軸方向に推力を発生するＹ軸モータを夫々２個以上搭載したスライダと、前記各モータをサーボモータモード及びパルスモータモードに切り換えて制御可能な位置制御手段を有し、前記スライダをプラテン上に浮上させた状態でＸ軸方向及びＹ軸方向にスライドさせて位置制御する平面位置決め装置において、
前記位置制御手段に対してサーボモータモード及びパルスモータモードの切り換え指令を出力するモード切り換え手段を備え、
このモード切り換え手段は、少なくとも１個のＸ軸モータ及びＹ軸モータよりなる第１グループと、少なくとも１個のＸ軸モータ及びＹ軸モータよりなる第２グループ毎に、サーボモータモードまたはパルスモータモードとする前記切り換え指令を、前記位置制御手段に対して出力する。 （もっと読む）

【課題】 対象物の加工、切削、搬送等を行なう際の対象物搭載部分およびリニアスケール等の位置検出器部分の温度を検出し、温度変化に伴う対象物搭載部分および位置検出器部分の熱膨張量または熱収縮量等の補正量を算出し、補正量に基づいて移動体の移動量を補正し、対象物の加工精度、切削精度、搬送位置決め精度を向上させることができる位置決め制御装置および位置決め制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 前記位置決めステージの温度変化である検出信号を処理する温度信号処理部と、前記位置検出手段および前記位置決め対象物の熱膨張または熱収縮に伴う位置ずれを、位置補正量として算出する位置補正処理部とを備え、前記位置補正量に基づいて、前記モータを位置決め制御する。 （もっと読む）

【課題】 原点復帰時のスライダ部同士の衝突を防止し、レーザ干渉計のつなぎ箇所にて発生する累積検出誤差をキャンセルする機能を備えたＸＹステージを実現する。
【解決手段】 四辺形のプラテン上で２個のスライダ部を夫々２次元方向に位置制御するにＸＹステージにおいて、
前記四辺形の対角点位置又は一辺の両端位置に、前記スライダ部の夫々に対応する原点位置検出手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】 プラテンに変形が生じていても、ステージの動作への悪影響を小さくすることができるＸＹステージ装置を提供する。
【解決手段】 ＸＹステージ装置１の制御系は、ＰＩＤ制御要素１３、力・位相シフト変換要素１４、位相・電流変換要素１５、電流・推力変換要素１６およびステージ可動体動力学要素１７が閉ループを構成している。加えてＸＹステージ装置１の制御系は、位置（角度）指令からプラテン補正量を算出するプラテンスケーリング要素１８と、プラテン補正量と検出したステージ可動体位置（角度）とから補償量に対応した位相を算出する位置・位相変換要素１９を備えている。これにより、プラテンに変形が生じていても、ステージの動作への悪影響を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は平面ステージの原点位置を高精度に位置決めすることを課題とする。
【解決手段】 平面ステージ装置１０では、レーザ干渉計１８〜２０により計測された計測値によってスライダ１４の動作位置を演算する。制御回路は、位置検出スイッチ２２〜２４により検出された信号をトリガにしてレーザ干渉計１８〜２０の計測値を読み込み、メモリに計測値ｘ，ｙ，θを記憶すると共に、真の原点位置を求めるための演算を行なう。また、制御回路は、第１の位置検出スイッチ２２及び第２の位置検出スイッチ２３がオフの状態のときに仮原点位置を演算し、第１の位置検出スイッチ２２及び第２の位置検出スイッチ２３がオンになったときのレーザ干渉計１８〜２０により計測された計測値から仮原点と真の原点との角度差を演算し、その後角度差の演算値に基づいて仮原点位置と真の原点位置との並進方向の差を演算し、補正値とする。 （もっと読む）

【課題】高精度で位置及び運動を制御することができる装置を提供する。
【解決手段】装置１０は、１又はそれ以上の整流リニアモータを用いる。リニアモータは、ガイドレスステージ１４を、１つの長い直線方向に動かし、ある平面において、微動のヨー回転を行わせる。単一のボイスコイルモータ（ＶＣＭ）７０を保持するキャリア／従動子６０は、長い直線運動の方向に動くステージを概ね追従するように制御される。ＶＣＭ７０は、ある平面において、電磁力を与えて、長い直線運動の方向に直交する直線方向に、ステージ１４を微動させる。これにより、適正なアライメントが得られる。整流型リニアモータの一方の要素（つまり、コイル又は磁石）が、平面上を自在に動くことのできる駆動フレーム２２の上に設けられる。駆動フレーム２２は、反作用力によって駆動され、装置の重心位置を維持する働きを持つ。１つのリニアモータを使用する場合には、２つのＶＣＭ７０を用いて、ヨー回転を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】 ヨーイング、ピッチング及びローリング、コギング、速度制御におけるループゲイン、デッドタイム発生回路に起因する位置決め精度向上の障害要因に対応した補正手段を備えた、複数のスライダ部を有するＸＹステージを実現する。
【解決手段】 格子プラテン上のスライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
独立に位置制御される複数のスライダ部を有し、これらスライダ部の夫々は、スライダ部をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御する位置制御手段と、スライダ部のＺ軸まわりのヨーイングを補正するヨーイング補正手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 送り制御系のゲインや回転機構の回転周波数での送り制御系の発振なしに、安定且つ高精度の送りを行なう送り装置を提供する。
【解決手段】 回転機構３０の回転情報をもとに、動特性可変手段３１により、送り装置の一次固有振動数が、回転機構３０の回転周波数とその高次周波数に一致しないように設定し、その固有周波数とＱ値データを送り制御手段３２の可変ノッチフィルタ４０ａ、４０ｂに設定し、その固有振動数から得たその時の摩擦トルク情報信号が、送りモータ７のトルク信号に等価外乱信号として印加され、摩擦トルクの増加に伴う位置誤差の発生なしに、回転駆動による送り装置の振動励起を回避して、変更された固有振動数とＱ値に対しては、固有振動数でのピークゲインを抑制し、送り制御手段３２と並進制御手段６０を、発振させずに安定に動作させ、安定且つ高精度の送り動作を行なうことが可能になる。 （もっと読む）