【課題】マスフローコントローラの流量制御バルブのより長期間の使用を可能にするとともに、流量設定値を減少させた場合に実流量をより正確に制御可能にする。
【解決手段】流量センサ部２と、その流量センサ部２の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ３と、流量測定値と流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部６と、フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ３に出力する開度制御信号出力部７とを備えており、前記比例演算における偏差に乗算するゲイン値を、流量設定値を所定量以上減少させた時点から所定期間である減少変化期間において、減少前の設定流量値と減少後の設定流量値との変化分を用いて得られる演算値が小さくなれば大きな値が算出される関数を用いて算出している。 （もっと読む）

【課題】制御弁のスライド弁体の動作を安定させる流量制御弁を提供する。
【解決手段】
第１スライド部３と第２スライド部４を有する弁体２を弁軸方向に摺動可能に収納し、圧力流体源１０からの圧力流体を両スライド部間に供給する圧力流体供給路５と、弁体２の作動により圧力流体を制御しつつ出力する圧力流体出力路６を備え、圧力流体供給路５を第２スライド部４と弁箱１端間で形成される第２外方室Ｋ２に連通させる連通路、５Ｐを設けた制御弁である。これら各連通路に第２のオリフィスＯＦ２を介設したものである。 （もっと読む）

【課題】搬送流路に取り外し可能な流量調整装置を仮設し、該流量調整装置により搬送流路を流れる流体の流量を目標流量に自動的に調整することができる流体搬送設備を提供する。
【解決手段】流体送出装置から主ダクトに送出された流体の流量を調整すべく分岐ダクトとの分岐部と流体送出装置との間に第１流量調整部材が設置され、主ダクトから分岐された分岐ダクトには第２流量調整部材が取り付けられ、これら流量調整部材を通過する流量が流量調整装置により目標流量に調整され、この流量調整装置が、流量調整部材ごとに設置される流量調整ユニットと、これら各流量調整ユニットを操作する１つの情報処理装置とを備る。流量調整ユニットのそれぞれは、流量検知装置と、流量調整部材の操作部を作動させる作動装置と、操作部の操作力を検知する操作力検知装置と、作動装置に開閉部の開閉量変更値を出力する制御装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】一次側圧力センサを設けることなく、従来のマスフローコントローラの機械構成を用いてＰＩ性能を発揮するマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路１内を流れる流体Ｆの流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ２と、流量センサ２の上流側に設けた流量制御バルブ３と、流量制御バルブ３の駆動電圧Ｖを検出する電圧検出部４と、少なくとも流量測定値（ＯＵＴ）、流量設定値（ＳＥＴ）及び駆動電圧をパラメータとして所定の演算式から流量制御バルブ３の開度制御信号を算出して出力する制御部５と、を具備する。 （もっと読む）

本発明は、流体の圧力及び／又は流量を制御する方法に関する。この方法のため、パイプライン（１５）を流れる流体から流れエネルギーが引き出される。このエネルギーは、そのうちの少なくとも一部が電気エネルギーに変換され、流体の流量及び／又は圧力の電気制御（６５）に使用される。パイプライン（２０）における流体の流量及び／又は圧力を制御する装置は、流れる流体から流れエネルギーを引き出し、このエネルギーのうちの少なくとも一部を電気エネルギーに変換するように構成された、少なくとも１つの発電機（３５）を備える。本装置は、パイプライン（２０）における流体の流量及び／又は圧力を、発電機（３５）によって給電される電気駆動機構をもって制御する手段（６５）を備える。 （もっと読む）

【課題】商用電源が得られないような場所であっても、安定かつ確実に電力を得ることができるだけでなく、迅速かつ容易に配水することができ、さらにユーザーごとに高精度な管理を行うことができる広域分散用水分配管理システムを提供すること。
【解決手段】河川からの用水を複数の領域に分配するための広域分散用水分配管理システム１であって、前記河川に設けられた取水ゲート６と、前記取水ゲート６を制御するゲート制御部１２と、それぞれ自給可能な複数の電源部７，８，１６と、前記複数の電源部７，８，１６からの電力を蓄電し、この蓄電した電力を前記ゲート制御部１２に供給する蓄電部１１と、を備え、前記ゲート制御部１２は、前記複数の領域のそれぞれに必要な用水の流量を示す、無線送信された流量情報を受信する受信部を備え、かつ、前記受信部によって受信された流量情報に基づいて、前記取水ゲート６を制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
省エネルギーを考慮した上水道運用計画方法及び装置を提供することにある。
【解決手段】
配水計画手段１２０は、上水道の導送水管網に対し、浄水場等をノードとし、導水管等をアークとしたネットワークを構成して並べたネットワークを用い、各アークでのコスト係数をエネルギー原単位とし、前記コスト係数から求まる総費用が最小になるよう導水量等の動的な計画値を算出する。異常検知手段１３０は、過去と現在のコスト係数を比較することによって異常検知を行う。 （もっと読む）

【課題】 所望の比率の流量で流体を分配することができるマイクロ流量分配コントロール装置を実現することにある。
【解決手段】 本発明は、入力側流路を流れる流体を、複数のマイクロ流路に分配するマイクロ流量分配コントロール装置に改良を加えたものである。本装置は、マイクロ流路に設けられ、流量を測定する流量センサと、この流量センサの上流側または下流側のマイクロ流路に設けられるバルブと、流量センサの測定結果によってバルブの調整を行う調整手段とを設けたことを特徴とするものである。 （もっと読む）