【課題】コストを低減した制御装置により、粘性の低い液体と粘性の高い液体とを混合する場合であっても所望の比率で混合することができる。
【解決手段】複数の液体供給源Ｔ１，Ｔ２に接続する給液配管ＳＰ１，ＳＰ２を分岐させ、分岐管路を複数の混合タンクＭＴ１，ＭＴ２に接続して第１液体と混合用液体とからなる液体を供給可能とし、混合タンクに供給された第１液体の積算流量を測定し、この測定値から混合タンクに供給することが必要な液体の積算流量を算出し混合用液体の理論上の必要量を求め、混合タンクに供給された混合用液体の積算流量を測定し、この測定値と混合用液体の理論上の必要量とから混合用液体の不足量を算出し、混合用液体の積算流量の測定値が混合用液体の理論上の必要量に対し不足する場合には、予め求めておいた混合用液体の不足量に対する流量制御弁の弁開度に基づいて流量制御弁の弁開度を制御し混合用液体を混合タンクに供給する。 （もっと読む）

【課題】作動油の粘度に基づいて油圧制御弁に対する制御指令値を設定する場合に、作動油の粘度を精度よく推定できる油圧制御装置を提供すること。
【解決手段】第一油路５８と第二油路５９との油圧差で作動する油圧作動装置２６へ流出入する作動油の流量を制御する油圧制御装置であって、第一油路に通じる第一ポート６５ｄ、第二油路に通じる第二ポート６５ｅ、供給ポート６５ａ、および、排出ポート６５ｂ，６５ｃを弁本体６５に有し、制御指令値に応じて弁本体内部のスプール弁子６６を変位させて作動油の流量を制御する油圧制御弁６０を備え、作動油の流量に対応する値と作動油の油圧とに基づいて推定された粘度に基づいて制御指令値を設定し、作動油の流量に対応する値は、第一、第二ポートのいずれか一方が供給ポートと連通し、もう一方で排出ポートとの連通状態と非連通状態とが切り替わる制御指令値において検出される。 （もっと読む）

流量制御装置１０は、使用時に投入される流体の供給源に連絡する上流端１４と、供給ダクト２６と接続可能に連絡する下流端１６とを有するハウジング１２とを備える。流路１８は、前記ハウジング１２の前記上流端１４と前記下流端１６により規定される。バルブ装置２０は、前記流路１８を通る流体の流れを制御するために、前記流路１８に配置されている。流量制御部２１は前記バルブ装置２０と協働する。前記流量制御部２１は、前記バルブ装置２０の状態に関わらず、前記流路１８を通る流体の流れを促す。
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【課題】 限られた占有スペース内で必要なコンダクタンスを精度よく求めて、所定のガス流量を安定よく、かつ、再現性よく設定することができるガス流量制御方法を提供する。
【解決手段】 ガス配管２の途中に設けられる流量制限部材８に、予め設定された径及び長さで、かつ、角部のない切り溝１５を機械加工することによってコンダクタンスを所定の公式に基いて算出可能な単一の制限流路１６を形成し、その単一制限流路１６によるコンダクタンスＣと圧力差（Ｐ１−Ｐ２）とにより、プロセスチャンバー１へ供給されるガス流量Ｑを設定する。
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【課題】蒸発材料の移送管において、管内の流れをスムースにするとともに、弁開閉時においても、蒸発材料の濃度が変化するのを抑制し得る蒸発材料の流量制御装置を提供する。
【解決手段】蒸発材料移送管６内の途中に配置されて且つ連通用開口穴１２が形成された中段鉛直部１１ｂを有する仕切部材１１と、上記中段鉛直部の連通用開口穴に対して水平方向で移動自在に設けられて当該連通用開口穴を開閉し得る円錐状部１５ｂが先端に形成されたニードル弁体１５と、このニードル弁体を上記連通用開口穴に対して移動させてその円錐状部により当該連通用開口穴を開閉させる開閉手段１８と、上記ニードル弁体を挿通されて先端部が円錐状部の中心から外方に突出するように設けられるとともに先端部にガス放出穴１６ａが形成されたガス放出管１６と、上記ニードル弁体側と蒸発材料移送管側との間に設けられた密封用のベローズ２１とから構成したもの。 （もっと読む）

【課題】 所望の比率の流量で流体を分配することができるマイクロ流量分配コントロール装置を実現することにある。
【解決手段】 本発明は、入力側流路を流れる流体を、複数のマイクロ流路に分配するマイクロ流量分配コントロール装置に改良を加えたものである。本装置は、マイクロ流路に設けられ、流量を測定する流量センサと、この流量センサの上流側または下流側のマイクロ流路に設けられるバルブと、流量センサの測定結果によってバルブの調整を行う調整手段とを設けたことを特徴とするものである。 （もっと読む）