【課題】分離向上等の目的で分析条件を時間変化させる測定においても圧力変動の小さい超臨界流体用圧力制御装置を提供する。
【解決手段】 超臨界流体が通る流路に設けられた弁室１２と、
該弁室１２に配置され、弁閉時に弁室１２へ先端部が嵌め合わされ、弁開時に弁室１２より退避するよう電気的に操作された弁体１６と、を備えた弁と、
前記弁室１２の上流側又は下流側の流路内超臨界流体圧力を検出する圧力検出手段２２と、
前記圧力検出手段２２により検出された圧力が、目標圧力となるように制御する開閉制御手段２４と、
前記超臨界流体の状態により開時の弁開度を調整する弁開度調整手段３０と、
を備えたことを特徴とする超臨界流体用圧力制御装置１０。 （もっと読む）

【課題】マイクロ流体回路における小さい差動圧力を制御するために適切なプログラム可能高精度圧力レギュレータを提供すること。
【解決手段】差動圧力を測定する手段に基づいて、圧力を精確に制御するレギュレータに関する。より具体的には、本発明は、比較的高いバックグラウンド圧力を追跡し、正または負のオフセットを付与して毛管ネットワーク内で流体を輸送するために利用され得る小さい差動圧力を生成する圧力制御を提供する。本発明は、マイクロ流体素子（ドーナツキャビティ等）を高度な精度で制御する方法にも方向付けられる。高性能液体クロマトグラフィの応用例では、これは、追跡圧力レギュレータを用いて、液体ポンプ圧力と制御された空気圧との間の差を測定およびこれに応答するために、追跡圧力レギュレータを用いて達成される。 （もっと読む）

【課題】流量制御機器が流量制御を開始した直後から流量特性を検定することができる流量検定システムを提供すること。
【解決手段】第１遮断弁７Ａと、第１遮断弁７Ａの下流側に配置された流量制御機器８Ａと、流量制御機器８Ａの下流側の圧力を測定する圧力センサ１２とを有するガス配管系の流量を、圧力センサ１２が測定した圧力に基づいて検定する流量検定システム１６において、流量制御機器８Ａの正常時に圧力センサ１２が測定する圧力を積算した標準値を記憶する標準値記憶手段２７と、第１遮断弁７Ａを介して流量制御機器８Ａに供給され、流量制御機器８Ａに流量を制御されたプロセスガスを、圧力センサ１２に供給したときに、圧力センサ１２が測定する圧力を積算して圧力積算値を算出し、圧力積算値を標準値と比較して、流量の異常を検知する異常検知手段１４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】圧力作用室からの押圧力に対する反発力を圧縮コイルバネにより得ており、且つ圧縮コイルバネと一次側の流体室とをダイアフラムによって区画している流体制御弁において、一次圧力に変動があっても二次圧力が変動しないようにする。
【解決手段】圧力作用室Ｒ３からの押圧力に対する反発力を生じさせる圧縮コイルバネ３６を、ダイアフラム３４の下方に設けた。また、一次側にあるダイアフラム３４の有効受圧径よりも弁座部２５ｃの有効受圧径が大きくなるように形成した。ここで、一次圧力の変動に伴って弁開度が変化すると、圧縮コイルバネ３６が伸縮してその荷重も変動する。このようなバネ過重の変動があっても、有効受圧径の差に起因して一次圧力の変化分が圧縮コイルバネ３６の荷重変化分を打ち消すようになる。その結果、圧縮コイルバネ３６の伸縮にかかわらず二次圧力を一定に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】ねじ駆動ポンプの二次側室は制御対象物の制御口部に接続され、一次側室はポンプ及び圧力制御弁に接続され、一次側室内の圧力制御及びねじ駆動ポンプの駆動制御により二次側室内の圧力を制御して制御対象物に対する圧力液体の圧力制御を行うようにしているから、制御対象物の高圧制御を行うことができる。
【解決手段】復動型ピストンによりヘッド側に一次側室７が形成されると共にロッド側に二次側室８が形成されてなるねじ駆動ポンプＷを用い、ねじ駆動ポンプの二次側室に制御対象物の制御口部を接続し、一次側室にポンプ及び圧力制御弁１０を接続し、一次側室内の圧力制御及びねじ駆動ポンプの駆動制御により二次側室内の圧力を制御して制御対象物に対する圧力液体Ｌの圧力制御を行う制御部１１を設けてなる。 （もっと読む）

本発明は、ガス供給入口が開かれ閉じられた時に、高圧回路（３）と低圧回路（４）とが装置の耐侵入性を最もよく保障する順序を用いて自動的にコントロールされるように、高圧回路（３）と低圧回路（４）とを分離するための調整手段（８）を備えている膨張弁ブロックに関する。
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