【課題】真空容器の真空引きの過程において発生するパーティクルの巻き上がりを抑制する技術を簡易に実装する技術を提供する。
【解決手段】真空制御バルブ１００は、真空容器に接続される上流側流路１４１と、真空ポンプに接続される下流側流路１４２と、を含む流路１４０と、弁開度を操作することによって、上流側流路１４１と下流側流路１４２との間のコンダクタンスを変化させる開閉弁１１０と、上流側流路１４１の内部の圧力を計測する圧力センサ１２０と、上流側流路１４１の目標圧力値を予め設定された時間関数として変化させ、計測された圧力と目標圧力値との間の偏差に応じて開度を操作する制御部１５０と、を備え、制御部１５０は、真空制御バルブ１００の外部からの開始入力に応じて、コンダクタンスを操作することによって偏差を小さくする制御を開始する。コンダクタンスは、ゼロから予め設定された範囲までの連続した範囲で操作することができる。 （もっと読む）

【課題】 地震等の不慮の災害に備えて流量計にはガス遮断機構が設けられている。しかし、地震等で家屋が破壊された場合、ガスボンベと流量計の間には前記圧力調整器や流量計までに配管があり、この配管部分が破損してガスの大気への拡散の危険性がある。
【解決手段】 本発明の圧力調整器は、ガス流入口を開閉する弁体と、リンク機構を介して前記弁体を駆動するレバーと、前記レバーと係合されたステムと、前記ステムを上下動させるシャフトと駆動装置からなる圧力調整器で、前記駆動装置が電気信号によって駆動されると前記シャフトと前記ステムと前記レバーを機械的に動作させて、前記弁体を閉塞させる機構を有する。 （もっと読む）

【課題】 圧力調整器判定装置を用いる場合に、その駆動電源を長期間に渡って確保することができるようにする。
【解決手段】 この発明の圧力調整器１は、ガス出口通路２０に配置され、ガス流を受けて回転する回転翼４１と、その回転翼４１の軸回転を電気に変換し蓄電する蓄電手段（４５，５）と、その蓄電手段５から電力供給を受けて作動し、調整器本体２の異常または寿命の判定を行う圧力調整器判定装置６と、を備えることを特徴としている。 （もっと読む）