【課題】作動流体が貯留されるリザーバに接続される第１流体圧シリンダと、それに伝達管を介して接続される第２流体圧シリンダとを備え、構成においてコンパクトであると共に、混入したエアを効率良く排出させるようにした流体圧伝達装置などを提供する。
【解決手段】作動流体が貯留されるリザーバに接続されると共に、第１ピストンが移動自在に収容された第１流体圧シリンダと、第１流体圧シリンダに流体圧伝達管を介して接続されると共に、第２ピストンが移動自在に収容された第２流体圧シリンダを備え、第１ピストンの移動によって生成される流体圧を流体圧伝達管を介して第２流体圧シリンダに伝達して第２ピストンを移動させる流体圧伝達装置において、第１流体圧シリンダなどにエアが混入したか否か判定し（Ｓ１０）、エアが混入したと判定された場合、混入したエアを除去する（Ｓ１２からＳ１４）。 （もっと読む）

【課題】基本機能を犠牲にすることなく、確実に、調節弁の開度制御の速応性や整定性などの制御性を向上させる。
【解決手段】供給電流Ｉが取り得る電流の範囲を複数の電流範囲に区分し、この電流範囲の区分毎に基本機能回路部７が実施する調節弁２の開度制御の制御形態（単ループ制御、二重ループ制御など）を定めたテーブルＴＢ１をメモリ５に格納しておく。ＣＰＵ４は、供給電流Ｉの実際値を検出し、基本機能回路部７に振り向けることが可能な余剰電流があるか否かを判断する。この場合、４ｍＡを超える供給電流を余剰電流とみなし、その余剰電流を基本機能回路部７に配分するように、電流調整部８へ指令を送る。また、供給電流Ｉの区分に応じ、テーブルＴＢ１に定められている制御形態で開度制御を実施するように、基本機能回路部７に指示する。 （もっと読む）

【課題】検査員の熟練を要することなくガバナ室内の異常を的確に検出することが可能なガバナ室内異常検出方法及びガバナ室内異常検出システムを提供する。
【解決手段】ガバナ室内異常検出システム５０は、ガバナ室１０の室内音を取得するためのマイクロフォン１８と、ガバナ室１０の複数の音源（ガバナ１１、水封器１４、人の声帯）に対応して、各音源に固有の特定周波数帯Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３を記憶すると共に、特定周波数帯毎に予め設定した基準許容値Ｌｖ１，Ｌｖ２，Ｌｖ３を記憶したデータ記憶部とを備え、ガバナ監視装置２０が、マイクロフォン１８を通して取得した特定周波数帯Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３毎の音量（音圧レベル）が、基準許容値Ｌｖ１，Ｌｖ２，Ｌｖ３を越えたか否かを判別する。少なくとも１つの音源の室内音の音量が、基準許容値を越えていた場合に異常を報知する。 （もっと読む）

【課題】構成の簡素化及び小型化を図り、しかも、駆動モータに不要な負荷がかかるのを防止しながら、回転出力軸の過剰な回転を防止することができる圧力制御装置の提供。
【解決手段】回転出力軸Ｊ２の回転を減速して減速回転軸Ｊ３に伝達する基準用減速機構Ｓ２と、基準用減速機構Ｓ２の減速用ギアＦ３又は減速回転軸Ｊ３が過剰回転位置に回転されると動作状態に切り換えられるスイッチ部２９と、そのスイッチ部２９が動作状態に切り換えられるに伴って駆動モータを駆動停止させる駆動モータ停止手段とが備えられ、過剰回転位置が、回転出力軸Ｊ２が適正回転範囲を越えて回転されるに伴ってスイッチ部２９を動作状態に切り換える位置に設定されている。 （もっと読む）

【課題】回転位置検出センサや駆動部が故障しているか否かを判定し、故障が発生している場合には、その故障に対して適切な処置を行うことができる圧力制御装置の提供。
【解決手段】第１回転位置検出センサの検出情報に基づいて回転出力軸の回転数を求め、且つ、第２回転位置検出センサの検出情報に基づいて回転出力軸の回転角度を求め、それら求めた回転出力軸の回転数及び回転角度から回転出力軸の回転位置を求める回転位置演算手段と、回転位置演算手段にて求めた回転出力軸の回転位置が目標回転位置になるように、駆動部の駆動指令値を調整する自動運転を行う制御部と、制御部による自動運転中に、第１回転位置検出センサの検出情報と第２回転位置検出センサの検出情報と駆動部の駆動指令値とを比較して、第１回転位置検出センサ、第２回転位置検出センサ、及び、駆動部の何れかが故障であることを判定する故障判定手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】自身の現在の動作型式や制御のための各種パラメータの設定変更を自動的に行わせる。
【解決手段】演算部１にポジショナ動作型式判別機能１Ｂおよび使用パラメータ選択機能１Ｃを設ける。記憶部６に正動作パラメータと逆動作パラメータを記憶させておく。ポジショナ動作型式判別機能１Ｂは、制御出力Ｋの変化方向と増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの変化方向とからポジショナ１００の動作型式を判別し、その判別結果をポジショナ１００の現在の動作型式として自動設定する。使用パラメータ選択機能１Ｃは、判別されたポジショナ１００の現在の動作型式に応じ、正動作型である場合には正動作パラメータを、逆動作型である場合には逆動作パラメータを記憶部６から使用パラメータとして選択し、選択した使用パラメータを自動設定する。 （もっと読む）

【課題】ガスの種類、流量等で変化する真空容器内の圧力をシミュレーションし得る装置を提供する。
【解決手段】真空バルブにより真空容器内圧力を所定の処理時間間隔で制御する圧力制御装置９を具備する真空処理装置における真空容器のシミュレーション装置で、開度検出器22で検出されたバルブ開度を入力してバルブ特性曲線に基づきバルブのコンダクタンスを求めるコンダクタンス取得部72と、ここで得られたコンダクタンスに、前回処理時の真空容器内圧力を乗算して排出ガス量を求める排出ガス量計算部73と、ここで得られた排出ガス量に、ガス流量テーブルから処理経過時間に応じて得られた今回処理時における流入ガス量を入力して真空容器内の圧力変化を求める圧力変化計算部75と、ここで得られた圧力変化に前回処理時における真空容器内圧力を加算して今回処理時における真空容器内圧力を求める容器圧力計算部76とを具備したもの。 （もっと読む）

【課題】圧力制御応答性を向上させることができる真空圧力制御システムを提供すること。
【解決手段】真空比例開閉弁１６の弁開度を調整して、反応室１０内の真空圧力を目標圧力にフィードバック制御する真空圧力制御システムにおいて、反応室１０内の真空圧力、または真空目標圧力から予圧圧力値（Ｏリング４９のリーク開始位置）を算出し、その予圧圧力値をフィードバック制御の下限値とする。 （もっと読む）

流体調節のためのシステムおよび処理は、流体調節システム（１００）についての状態および／または必要とされる修繕／メンテナンスを評価するために役立つ診断情報を提供してもよい。特定の実施態様で、流体調節のためのシステムおよびプロセスは、流体レギュレータ構成要素の位置制御を促進するための電気／圧力コンバータ（１２４）への入力信号の表示を受信する能力を含んでもよく、電気／圧力コンバータは、流体レギュレータ（１１０）と流体レギュレータ・コントローラ（１２０）とを含む流体調節システムの一部であり、コンバータ入力信号に基づいて少なくとも１つの流体調節システムの状態を判定するように構成されている。
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【課題】複雑な配管を要することなく、低コストでガス漏洩を検知し且つ必要なガスも供給することができる圧力調整器を提供する。
【解決手段】下流側の圧力変動に応じてダイヤフラム１０４が変位すると、これに連動して弁棒１１１も変位する。弁棒１１１には、小弁部材１１０及び、スプリング１０７、ガイド部材１３０で構成される連結部材を介して大弁部材１２０が接続されており、下流側の圧力がガス微少漏洩開始と判定される第１圧力より低下したときの弁棒１１１の変位に応じて小流量開閉部１２３、１１０が開放される。一方、下流側の圧力が通常使用開始と判定される第２圧力より低下したときの弁棒１１１の変位に応じて大流量開閉部１０６、１２０が開放される。ガス微少漏洩が発生したときには、このような第１圧力〜第２圧力の範囲に対応する弁棒１１１の変位が継続的に検出されるので、これを利用してガス漏洩の判定が可能になる。 （もっと読む）