【課題】圧力制御応答性を向上させることができる真空圧力制御システムを提供すること。
【解決手段】真空比例開閉弁１６の弁開度を調整して、反応室１０内の真空圧力を目標圧力にフィードバック制御する真空圧力制御システムにおいて、反応室１０内の真空圧力、または真空目標圧力からＯリング４９のリーク開始位置を算出し、その予圧圧力値をフィードバック制御の下限値とする。 （もっと読む）

【課題】チャンバ室の圧力を目標圧力降下勾配に近づけるように電動真空弁の弁開度を切り換える設定点を簡単かつ安価に設定できる電動真空弁による排気速度制御方法を提供すること。
【解決手段】電動真空弁２１の弁開度を等比倍数に従って段階的に制御し、弁開度毎に、真空ポンプ１３により粘性流領域から排気を行わせ、圧力センサ１５によりチャンバ室の真空圧力を測定して圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を実測した後、圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を目標圧力降下勾配Ｘに近似させるように時間的にずらし、圧力降下カーブ同士の交点を電動真空弁２１の弁開度を切り換える設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に決定し、その後、設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に基づいて電動真空弁２１の弁開度を切り換え、粘性流領域における排気速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】効率的に流動体を移動体に充填できる流動体充填システム、移動体、及び供給設備を提供すること。
【解決手段】流動体を充填可能なタンク１９を備える移動体３と、前記タンク１９に前記流動体を充填可能な供給設備１とから成る流動体充填システムであって、前記移動体３は、前記流動体の充填圧力を充填開始からの経過時間ごとに規定する充填プロファイルを記憶する充填プロファイル記憶手段３４と、前記充填プロファイルを前記供給設備１に送信する充填プロファイル送信手段２５ａ、２５ｂ・・・とを備えるとともに、前記供給設備１は、前記充填プロファイルを受信する充填プロファイル受信手段１１ａ、１１ｂ・・・と、前記充填プロファイルに応じて充填圧力を制御する充填圧力制御手段１５とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】鋼管柱２内に下部からコンクリート４を圧入中に、その閉塞の予兆把握を行えるようにし、鋼管コンクリート柱を安全且つ高い信頼性で構築可能にする。
【解決手段】鋼管柱２の下部からコンクリート４を圧入して鋼管コンクリート柱を構築する方法である。前記コンクリート４の圧入圧力と、前記鋼管柱２内の前記コンクリート４の充填高さＨとを計測し、前記圧入圧力の計測値Ｐｎと前記充填高さの計測値Ｈｎとの関係を表示手段３５にプロットして表示しながら、前記コンクリート４を圧入する。 （もっと読む）

【課題】整圧器を複数の系列に分けて設置する複数系列整器において、各整圧器の破損の危険を可及的に防止できる複数系列整圧器制御システムを提供する。
【解決手段】複数系列に配置された複数の整圧器を制御するシステムであって、各整圧器の開度を検出する開度検出器１Ａ、１Ｂ、１Ｃと、各整圧器の開度を設定圧力及び二次側圧力に基づいて調整するパイロット整圧弁５Ａ、５Ｂ、５Ｃと、該パイロット整圧弁５Ａ、５Ｂ、５Ｃの設定圧力を調節する調節器７Ａ、７Ｂ、７Ｃと、作動状態にある整圧器の開度検出器の信号を入力して該入力値に基づいて他の整圧器のパイロット整圧弁の設定圧力を調節するように調節器に指示する制御手段１１とを備えたことを特徴とする複数系列整圧器制御システム。 （もっと読む）

【課題】簡単な操作で減圧弁の減圧機能を無効に設定したり、また有効に設定できるようにした減圧弁を提供する。
【解決手段】一次側圧力室２と二次側圧力室３を区画する隔壁７を内部に有し、該隔壁７に一次側圧力室と前記二次側圧力室を連通する弁口８を開設した弁ユニット４と、弁ユニット４の内部に設けられ、二次側圧力室３の圧力に応じて変位する弁棒９と、該弁棒９に支持され、弁口８を開閉する弁体５とを備えた減圧弁において、弁棒９は、弁体５の開弁方向への移動に伴って弁ユニット４の外部に突出する延長軸部３１を有しており、開弁状態で弁ユニット４の外部に突出する延長軸部３１を保持して弁棒９の閉弁方向への変位を規制する規制手段３０を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】簡単な操作で減圧弁の減圧機能を無効に設定したり、また有効に設定できるようにした減圧弁を提供する。
【解決手段】二次側圧力室の圧力上昇に伴いダイヤフラムが弁体を閉弁方向へ移動させることにより二次側圧力室の圧力を低下させる減圧弁であって、弁体を支持する弁棒はダイヤフラムを貫通すると共に、弁体と反対側に延長した軸部を有している。この軸部と同軸に設けられた押棒と、該押棒の先端に設けられた操作部と、押棒を軸部から離間する方向に付勢するバネと、操作部を介して押棒がバネに抗して押し込まれた状態で押棒を保持する保持手段とを備えており、保持手段によって押棒が押し込み状態で保持されているとき、押棒の下端部が軸部の頂部に当接して弁棒の閉弁方向への変位を規制する。 （もっと読む）

【課題】圧力調整器に直接装着することが可能な構造を有することで、コンパクト且つ取り付け作業性が良好な圧力調整器マウント用ディジタル表示計を得る。
【解決手段】正面に調整ハンドル３１を有し一次圧力及び二次圧力をそれぞれ測定するための各圧力センサ５０を設けた圧力調整器３０に対し装着され、前記一次圧力及び二次圧力を表示するな圧力調整器マウント用ディジタル表示計１であって、正面側にディジタル表示部２１を有し前記圧力調整器の上方に位置する匡体２０を設け、該匡体内には、前記各圧力センサ５０からの信号線に接続され各圧力値をディジタル表示するためのデバイスが収納され、前記匡体２０は、その前面又は後面に固定される平面パネル１０（背面パネル１５）により圧力調整器３０に装着して成る。 （もっと読む）

【課題】 配管内を流れる流体の圧力制御に対する応答を早くし、流体の流量制御を安定的に行なう。
【解決手段】 流体を供給する配管に設けられた圧力制御弁７を制御する圧力制御系と、圧力制御弁７の下流側に設けられた流量制御弁２４を制御する流量制御系を備え、圧力制御系における圧力制御弁７の下流側に要求される圧力設定値Ｐ２Ｓに対し、圧力制御弁７の下流側の圧力に基づいてフィードバック制御が行なわれる流量制御装置において、圧力設定値Ｐ２Ｓ、供給先の流量要求値ＦＳ、圧力制御弁７の上流側の圧力及び温度から圧力制御弁７の所要弁流量係数を算出し、算出された所要弁流量係数に基づいて圧力制御弁７の補正開度を算出し、この補正開度信号と圧力制御系からの修正量信号を加算した信号により圧力制御弁７の開度を制御する構成とする。 （もっと読む）

【課題】一様に調整された出力圧と流量とを生じるバイパス圧力調整器を提供する。
【解決手段】液体燃料バイパス圧力調整器が、ボディと、該ボディにより形成された弁チャンバと弁座と内側連続周面とを有する。該内側連続周面は、該弁チャンバを部分的に形成し、該弁座の軸方向下流に配置され、該弁座の軸方向下流に向かって半径が増加する。該圧力調整器の拡幅弁頭が、少なくとも部分的に該弁チャンバ内に配置され、該弁座に係合する閉位置と、該弁座から離間した閉位置との間を軸方向に可動である。該弁頭は外周エッジを有する。該弁頭が閉位置にある時に、該外周エッジは、該弁チャンバの該内側連続周面に近接して位置する。該内側連続周面に、円筒部と、該円筒部の下流に配置された拡大部とが設けられる。該弁頭の該外周エッジは、該弁頭が閉位置にある時、該円筒部と軸方向に並列し、該弁頭が開位置にある時、該拡大部と軸方向に並列する。 （もっと読む）