【課題】 オリフィスに付着する異物を自動的に排除できる減圧弁を提供する。
【解決手段】 上面と下面を連通するオリフィス２７を開けたピストン７の上面に設定圧力と二次側圧力との偏差に基づいて一次側流体を導入することによりピストン７を変位せしめてピストン７に連結した主弁６を開閉操作する。ピストン７上方のピストン室９の頂壁に異物排除部材２８をねじ結合する。異物排除部材２８はピストン室９を垂下して設けられ、ピストン７の上方への変位によりオリフィス２７内に進入してオリフィス２７に付着した異物を下方の出口３側に排除する。これにより、オリフィス２７に付着する異物を自動的に排除できる。 （もっと読む）

【課題】一次圧力を所定の二次圧力に設定する減圧弁において、二次圧力の感圧部を設置する。
【解決手段】感圧部は感圧ピストン部材５９を介して制御部側に上昇ダイヤフラム６１を、ボンネット側に下降ダイヤフラム６６を対面位置に設置する。下降ダイヤフラム６６の有効径は上昇ダイヤフラム６１の有効径より小さく設定する。下降ダイヤフラム６６とばね受６９の間に調整ばね６８を、本体部材５１と制御ダイヤフラム１６の間にバランスばね５８を設置して二次圧力の制御に変化の大きい一次圧力を採用せず、二次圧力を用いる構造として精密な減圧弁を実現する。 （もっと読む）

【課題】整圧装置の稼働状況の如何に拘わらず、整圧制御の安定性を確保すること。
【解決手段】整圧装置１０は、上流側流体導管１Ａと下流側流体導管１Ｂの間に装備されるメインガバナ１１と、上流側流体導管１Ａと下流側流体導管１Ｂとを連通するパイロット流路１２とを備える。メインガバナ１１は、パイロット流路１２から出力される駆動圧によって開度調整を行う駆動部１１Ａを備え、パイロット流路１２に、パイロット流路１２の流量を二次圧に基づいて調整するパイロットバルブ１３と、パイロット流路の流量に応じて駆動圧を設定する抵抗部２０を設ける。抵抗部２０が線形的な圧力流量特性を有している。 （もっと読む）

【課題】圧力調整ネジを自動的に回転駆動させるための構成を追加して、簡易に且つコストの低減を図りながら、圧力制御弁の設定圧力を自動的に変更設定する。
【解決手段】ケーシングに取り付け自在な閉塞部材が設けられ、当該閉塞部材がケーシングに取り付けられた状態で、閉塞部材とケーシングとにより、圧力設定バネ９を収納するとともに圧力設定バネ９の伸縮方向に延びる収納空間６１が形成され、閉塞部材に対し伸縮方向に沿う姿勢で収納空間へ向けて貫設された回転駆動軸と、回転駆動軸を回転駆動させる駆動部とが設けられ、圧力調整ネジが、圧力設定バネ９の一端を支持するとともに、駆動部による回転駆動軸の回転駆動により伸縮方向に沿って移動自在に収納空間６１内に配設されている。 （もっと読む）

【課題】従動回転軸と駆動回転軸とを適切に心出し、且つ従動回転軸を駆動回転軸に対して適切に位置決めした状態で、従動回転軸を駆動回転軸に連結する。
【解決手段】駆動回転軸Ｊ２を位置決めする固定架台５０が設けられ、固定架台５０には、ケーシング１４を、従動回転軸Ｊ１が駆動回転軸Ｊ２に連結可能な位置で位置決めする支持部５３と、従動回転軸Ｊ１の位置を駆動回転軸Ｊ２の位置に一致させた状態で、ケーシング１４を駆動回転軸Ｊ２の側へ案内する案内部５４とが設けられ、従動回転軸Ｊ１と駆動回転軸Ｊ２とを連結する回転軸連結部１６が設けられる。 （もっと読む）

【課題】実調整用関係情報の設定を簡易に且つ正確に行う。
【解決手段】設定圧力を目標設定圧力に調整すべく、圧力設定バネ１４の圧縮量を調整自在な圧力調整ネジ１６を回転させるモータ１７の作動を制御するモータ制御部１８と、目標設定圧力と圧力調整ネジ１６の回転角度との関係における調整用傾きを決定するための調整用傾き決定情報、及び、現在の整圧器２の二次側圧力を示す現圧力情報を入手する情報入手部１９とを備え、モータ制御部１８は、情報入手部１９にて入手した調整用傾き決定情報に基づいて調整用傾きを決定し、その決定した調整用傾き、情報入手部１９にて入手した現圧力情報、並びに、現在の圧力調整ネジ１６の回転角度を示す現回転角度情報に基づいて、設定圧力を目標設定圧力に調整するときの目標設定圧力と圧力調整ネジ１６の回転角度との関係を示す実調整用関係情報を設定する実調整用関係情報設定処理を行う。 （もっと読む）

【課題】特に水の使用量が著しく減少しても、チャタリングの発生や二次側圧力が過大に上昇することのない減圧装置を提供する。
【解決手段】弁体を直接駆動する構成のために小流量域での開閉弁の応答性が良好でチャタリングの発生や閉弁時に二次側圧力がその設定圧力より上昇しない直動式減圧弁３と、大流量の給水に適したパイロット式減圧弁４とを並列に配管し、直動式減圧弁３の設定圧力をパイロット式減圧弁４の設定圧力よりも高く設定したので、必ずパイロット式減圧弁４が先に閉弁し、その時に二次側圧力が上昇しても、減圧装置１全体としては直動式減圧弁３が開弁中でその圧力は給水管２の末端に取付けられる使用中の蛇口などの水栓から排出され、その後に直動式減圧弁３が閉弁することにより、減圧装置１全体が全閉することになるので、チャタリングの発生や二次側圧力の過大な上昇は皆無である。 （もっと読む）

【課題】整圧器を複数の系列に分けて設置する複数系列整器において、各整圧器の破損の危険を可及的に防止できる複数系列整圧器制御システムを提供する。
【解決手段】複数系列に配置された複数の整圧器を制御するシステムであって、各整圧器の開度を検出する開度検出器１Ａ、１Ｂ、１Ｃと、各整圧器の開度を設定圧力及び二次側圧力に基づいて調整するパイロット整圧弁５Ａ、５Ｂ、５Ｃと、該パイロット整圧弁５Ａ、５Ｂ、５Ｃの設定圧力を調節する調節器７Ａ、７Ｂ、７Ｃと、作動状態にある整圧器の開度検出器の信号を入力して該入力値に基づいて他の整圧器のパイロット整圧弁の設定圧力を調節するように調節器に指示する制御手段１１とを備えたことを特徴とする複数系列整圧器制御システム。 （もっと読む）

ピストン（１８）が中に受けられる調整チャンバ手段（９）を備える流体圧力調整器であって、該調整チャンバ手段（９）内で、該ピストン（１８）の対向する部分によって第１チャンバ（１０）および第２チャンバ（１１）が画定され、該第１チャンバ（１０）および該第２チャンバ（１１）が、該流体の第１入り口（１２）および第２入り口（１３）をそれぞれ備え、該第１入り口（１２）および該第２入り口（１３）が、第１圧力（ＰＩＮ）で第１環境（２）に接続され、該第１チャンバ（１０）および該第２チャンバ（１１）が、該流体の第１出口（１４）および第２出口（１５）をそれぞれ備え、該第１出口（１４）および該第２出口（１５）が、第２圧力（ＰＯＵＴ）で第２環境（２３）に接続され、該ピストン（１８）が、該第２圧力（ＰＯＵＴ）を調整する目的で該第２出口（１５）を開放／閉鎖するように、該第１チャンバ（１０）内の該流体の圧力の変動に応答して該調整チャンバ手段（９）内で可動であり、該第１チャンバ（１０）内の該圧力変動を誘発させるために、該第１出口（１４）を開放／閉鎖するための弁手段（２６）を備える流体圧力調整器。 （もっと読む）

【課題】一般の減圧弁では，弁体が１つしかないので，この弁体の作動圧（設定圧）になったときにのみ開弁する。逆に言えば，上記作動圧より若干でも高い圧力では一切作動しない。そのため，流出側と流入側の圧力差が上記設定圧より小さいときに，その圧力差に見合った少量の水量を得たい場合でも，一切開弁しないので，そのような微妙な制御には向かない点を改良すること。
【解決手段】流出側の流体圧が低下すると開弁するパイロット弁と，上記パイロット弁が開くことによって低下する流出側の第１のパイロット圧に反応して開弁し，流入側から流出側への流体の流出を許容する親弁とを備えてなる減圧弁において，上記親弁の作動圧より低い第２のパイロット圧に反応して開弁し，上記親弁の開口より小さい開口を開閉する子弁を備えてなる減圧弁。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、フィードバック制御を用いずに簡単な構成で流体を一定に安定して制御できると共に流体のモニタを行うことができ、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができる手動式または開ループ制御式流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、手動式または開ループ制御式流体制御装置であり、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁と、前記流体の流量を計測する流量計測器とを具備することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、フィードバック制御を用いずに簡単な構成で流体を一定に安定して制御できると共に流量を幅広い流量範囲で微細に制御することができ、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができる手動式または開ループ制御式流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、手動式または開ループ制御式流体制御装置であり、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁と、開口面積が調節可能な絞り弁とを具備することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 低流量時においてハンチング現象をより確実に抑制して安定した圧力制御が行なえる減圧弁を提供する。
【解決手段】 流体供給口及び流体排出口が形成された主弁ケース（４０）、この主弁ケース内を一次側流路及び二次側流路に区画する弁孔（４２）、及びこの弁孔を開閉する弁体（４４）を有する主弁と、前記一次側流路からの主弁開閉作動用流体が供給され、前記二次側流路内の圧力変化に従って当該主弁開閉作動用流体の圧力を減圧調整するパイロット弁（６）と、前記パイロット弁により減圧調整された主弁開閉作動用流体により加圧される主弁作動用圧力室（５２）と、前記一次側流路からの定圧流体により加圧される定圧室（５１）と、前記定圧室と前記主弁作動用圧力室との間の圧力差に従って前記弁体の開閉動作を制御する主弁開閉制御手段と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は２次圧力が急速に低下したとき圧力制御弁に供給されるパイロット圧を昇圧させて２次圧力を設定圧力に安定的に制御することを課題とする。
【解決手段】 圧力制御装置１０は、２次圧力を設定圧力に制御する圧力制御弁１４と、圧力制御弁１４のアクチュエータ部１５に供給されるパイロット圧を調整するパイロット弁１６と、パイロット弁１６のパイロット弁用ダイヤフラム３２をアシスト動作させる電磁ソレノイド１７と、２次圧力の変化率が所定以上であるとき電磁ソレノイド１７を駆動する制御回路１８とを有する。２次圧力Ｐ_２の低下によりパイロット弁用ダイヤフラム３２が開弁方向に動作すると共に、電磁ソレノイド１７への通電がオンなり、パイロット弁用ダイヤフラム３２の開弁動作が加速される。これにより、下側パイロット圧が急速に昇圧されて弁体１４ｃの開弁動作が速まり、２次圧力は短時間で設定圧力に戻る。 （もっと読む）

【課題】バタフライバルブを備える圧力調整器において、バタフライバルブの下流のバルブ下流圧力はほぼ一定に制御する必要があるにもかかわらず、バタフライバルブの下流の機器の作動状況に影響されて変化すると言う不具合が生じた。
【解決手段】吸気管路２内に配置されるバタフライバルブ３と、バタフライバルブ３を開閉する駆動部４とを備え、バタフライバルブ３の上流圧力を駆動力にしてバタフライバルブ３の下流圧力をほぼ一定に調圧する圧力調整器１であって、バタフライバルブ３より下流の全圧と静圧との差圧を検出するとともに検出した差圧に基づいて下流圧力を補正して駆動部４に供給する下流フィードバック圧力補正機構６を備えている。したがって、バタフライバルブ３の下流の流量変化により変化する圧力の変動を抑制して調圧精度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】より簡単な構成で真空容器内の圧力を制御することが可能な真空圧力制御システムを提供する。
【解決手段】弁開度制御回路３０よりパイロット圧調整機構２０に弁開度制御信号が供給され、給気用電磁弁１６が弁開状態となり且つ排気用電磁弁１８が弁閉状態となれば、ボリュームブースタ１４よりパイロット室３６に流体が供給されてパイロット圧が急速に増大し、弁体７４は全閉状態より全開状態に速やかに変化する。一方、前記パイロット圧調整機構２０に弁開度制御信号が供給されて、前記給気用電磁弁１６が弁閉状態となり且つ前記排気用電磁弁１８が弁開状態となれば、前記ボリュームブースタ１４は前記パイロット室３６の排気を行う。この結果、前記パイロット圧は急速に減少して、前記弁体７４の弁開度は全開状態より所望の弁開度に速やかに変化する。 （もっと読む）

【課題】一次圧力導入口と；二次圧力取出口と；上記一次圧力導入口と二次圧力取出口間を開閉する主弁と；上記二次圧力取出口とパイロット圧室の圧力変動に応じ上記主弁を開閉する浮動ピストンと；を備え、主弁は浮動ピストンに臨む排気弁部を一体に有し、浮動ピストンは該浮動ピストンの位置に応じ該排気弁部と接離する弁座部を一体に有し、該弁座部が排気弁部から離間するとき二次圧力取出口を大気に連通させる空気レギュレータにおいて、排気圧が浮動ピストンに作用し動作が不安定になるのを防止する。
【解決手段】主弁の排気弁部と一体に、該排気弁部と弁座部の隙間を通る排気を受け、該排気が直接浮動ピストンに作用するのを防止する傘状部を設けた空気レギュレータ。 （もっと読む）