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Fターム[5H750CC00]の内容

交流ー交流変換 (2,847) | 変換素子 (497)

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本発明は、交流電源(2)から少なくとも2つの負荷たとえばプラズマプロセスにおける負荷へ送出される電力の電力供給調整方法および電力供給調整装置に関する。本発明によれば、負荷に対する電力供給実際量が電力供給目標量と比較され、偏差が生じているならば交流電源(2)と上述の負荷の少なくとも1つとの間で電力の供給および/または取り出しによって整合される。このような方法および装置によればプラズマプロセスにおいて、電極へ送出される電力を交流電源の種類に依存することなく所定の電力供給と一致するよう調整することができる。
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