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Fターム[5H790BA02]の内容

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Fターム[5H790BA02]に分類される特許

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【課題】プリパルス電圧の低減を確実、容易にする。
【解決手段】パルス発生回路1はコンデンサC0から高圧パルス電流を発生させてコンデンサC1を充電する。磁気パルス圧縮回路2は、可飽和リアクトルSR2の飽和でコンデンサC1からコンデンサC2に圧縮パルス電流として転送し、可飽和リアクトルSR3の飽和でコンデンサC2からピーキングコンデンサCPに圧縮パルス電流として転送する。プリパルス補償電圧生成回路は、前段の磁気パルス圧縮回路からピーキングコンデンサに転送されるパルスに含まれるプリパルス電圧と逆極性で、かつ同じタイミングのプリパルス補償電圧を、コンデンサC1−3から可飽和リアクトルSR2−2とパルストランスPTAとダイオードD1で取り出し、このプリパルス補償電圧をピーキングコンデンサCP―3に印加することで、プリパルス電圧を相殺する。 (もっと読む)


【課題】高効率に高電圧短パルスを負荷に印加可能な高電圧パルス発生装置、及びこれを用いた放電励起ガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】高電圧パルスを発生するパルス発生回路24と、発生した高電圧パルスを圧縮するパルス圧縮回路25とを備え、パルス発生回路24及びパルス圧縮回路25を構成する要素部品のうち、少なくとも一部が絶縁性冷媒に満たされた容器中に設置され、容器中に設置された要素部品と容器の外部に設置された要素部品との間が、電流導入端子44を介して電気的に接続される高電圧パルス発生装置において、電流導入端子44が、高圧側及び接地側の通電部材57、58を備え、前記高圧側及び接地側の通電部材57、58のうち少なくとも一方が面形状となっている。 (もっと読む)


【課題】攪拌機の回転数を上げて絶縁油の循環量を増大させ、かつ絶縁油中に気泡が発生するのを防止する。
【解決手段】タンク11内の絶縁油12の油面または油面近傍に金属または絶縁物の防波板(または防波物)21を設け、ファン16,17の回転数を上げるも、油面が波打って絶縁油の中に気泡が巻き込まれるのをなくし、気泡が主回路素子部14の素子の高圧部に流れ込むことによる絶縁耐圧の低い気泡で部分放電が発生するのを防止する。
防波板は、油面または油面近傍に半固定にした構造、タンクの上下方向で可動できるようにした構造、またはタンクの金属製フタ13との間を金属製フィンで一体化した構造とする。 (もっと読む)


【課題】出力の短パルス化を可能とするとともに、回路周辺の磁性体等の発熱を防止する。
【解決手段】コンデンサC1,C2と可飽和リアクトルT3,T4により複数段の磁気パルス圧縮回路を構成するとともに、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成するコンデンサC2の反接地側導体(容器を兼ねる外側導体)18により最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルT4の両側及び上方を覆う。 (もっと読む)


【課題】従来の種々の問題を解決する電源用筐体を提供する。
【解決手段】本発明の電源用筐体は、電源回路を設置する底板と、前記底板の周縁に前記底板に垂直に設けられた側面板と、前記底板と前記側面板で囲まれた空間を覆うように設けられた天板とを備え、前記底板と前記側面板と前記天板とが互いに溶接又はロウ付けされて構成されるモノコック構造の箱状であること特徴とする。 (もっと読む)


【課題】
繰り返し周波数の増加に伴い発生する可飽和リアクトルのコアの過度の発熱を抑制し、磁気パルス圧縮器の高繰り返し運転を可能にする。
【解決手段】
磁気パルス圧縮回路10の最終段の磁気スイッチ部2に、磁気圧縮用可飽和リアクトル(圧縮用リアクトル)21-nと回路切替用可飽和リアクトル(切替用リアクトル)22-nとが直列接続された2つの直列回路が互いに並列に接続されている並列回路を備える。切替制御部3は、パルス発振毎に切替用リアクトル22-1、22-2の磁気リセット量が交互にゼロおよび最大になるように、すなわち切替用リアクトル22-1、22-2が交互にオン・オフするように切替制御する。
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【課題】パルス電源の長時間負荷試験にも電力エネルギーの無駄な消費を無くす。
【解決手段】パルス電源からの放電パルスで充電されるピーキングコンデンサCpの充電電圧を可飽和リアクトルLX1の飽和動作で模擬負荷用コンデンサCX1,CX2へ転送し、この転送終了後にコンデンサCX1の充電電力をリアクトルL3と整流器SOSで反転充電し、この後にコンデンサCX1,CX2の充電電力をリアクトルL4,L2を介して電力蓄積用コンデンサCLに転送し、このコンデンサの直流電力をインバータで交流に変換して交流電源側に回生する。 (もっと読む)


【課題】負荷を介さずに低圧の初期充電が可能で且つ負荷に供給される電圧のサグを補償することのできる高電圧パルス発生装置を提供する。
【解決手段】コンデンサ2と、自己消弧型半導体素子3及び4と、ダイオード5及び6とから成る単位ユニットN台をN段直列接続し、1段目の単位ユニット1の正側入力とN段目の単位ユニット1の負側出力から負荷11に給電するようにした直列接続体と、1段目の単位ユニット1の入力端子間に接続された自己消弧型半導体素子7と、1段目の単位ユニット1のコンデンサ2の両端に接続された初期充電用電源10と、初期充電用電源10及び自己消弧型半導体素子4をオンして初期充電を制御する初期充電制御手段12と、自己消弧型半導体素子3及び7をオンして負荷11にパルス電圧を供給するための放電制御手段13とを具備し、放電制御手段13は、各段の自己消弧型半導体素子3を各々独立してオンオフする。 (もっと読む)


【課題】コンデンサ高電圧充電器のインバータ回路の制御において、充電完了付近での1回のパルス出力による充電により充電電圧が充電電圧値を超過することを抑止し電圧精度を向上させ、充電電圧のばらつきを抑制し安定させる。
【解決手段】充電電圧設定値とコンデンサ充電電圧検出値とが入力される差動増幅回路と、コンパレータからなる電圧比較回路と、電圧比較回路からの出力値が入力されるスイッチ部を有するリミッタ回路とを備え、リミッタ回路が、差動増幅回路からの出力値と、電圧比較回路からの出力がスイッチ部を介して出力された出力制限電圧値とのダイオードOR回路を構成し、充電電圧検出値が電圧比較回路の電圧規定値を超えると、ダイオードOR回路の出力と三角波発生回路の出力とを比較するPWM制御回路により、インバータ回路へのパルス幅を最小にして充電完了手前付近から充電完了までの間の充電電力を抑えて充電する。 (もっと読む)


【課題】
磁気パルス圧縮動作前にリセット電流に起因してピーキングコンデンサCpに充電される電圧Vcpのピーク値を極力小さくすることによって、高繰り返し周波数のレーザ装置であっても良好な放電を得る。
【解決手段】
主放電後の所定の時間で、各リセット巻線LR1〜LR3、TC1R、TC2Rに流れる電流に起因して発生するピーキングコンデンサCpの電圧が、主放電後の所定の時間に対応して設定された上限値以下に抑制されるように、各素子を調整する。
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【課題】 容量性負荷のインバータ充電方式の高電圧充電器において、大きな充電速度を得ながら、充電後の電圧低下がなく、高い電圧安定度を得ることができ、かつノイズの発生も小さくできる高電圧充電器を提供する。
【解決手段】 高速充電を行う大出力の主インバータ4と、電圧調整を主目的とする小出力の補助インバータ7を並列接続し、充電期間の前半においては、主インバータと補助インバータを同時に運転して、容量性負荷を目標電圧の近傍まで高速充電し、ひきつづき、充電期間の後半では、主インバータ4を停止し、補助インバータ7のみで低速充電を行い、目標電圧に到達させ、その後、外部回路が放電動作を行うまでの期間は、目標電圧に保持するよう補助インバータ7の運転を持続させる。 (もっと読む)


【課題】回路素子の責務軽減と装置の小型化・コストダウンを図る。
【解決手段】初段コンデンサC0は充電器2によって初期充電され、スイッチS1のターンオン制御でコンデンサC0からコンデンサC1へのエネルギ移行を行い、エネルギ移行で充電されたコンデンサC1の電圧で飽和する可飽和リアクトルSI2によって該コンデンサC1から圧縮した狭パルス電流を得、負荷4に供給する。
負荷で吸収されずにコンデンサC0へ反射されたキックバック電流によって、該コンデンサC0が初期充電極性とは逆極性に充電されたときに、該コンデンサC0を初期の充電極性に反転充電させてキックバックエネルギを回生するエネルギ回生回路を含む。 (もっと読む)


【課題】LC共振回路のコンデンサ容量やリアクトル値の変動による充電精度の低下をなくし、さらに高い繰り返しにも所定の時間内で充電できる。
【解決手段】スイッチ2,7は、オン制御でコンデンサ6とリアクトル5のLC共振回路に半周期の振動電流を発生させ、この振動電流が所定値に達したときにオフ制御でコンデンサを目標電圧より少し高い電圧まで粗充電する。スイッチ10は、オン期間で粗充電電圧と充電電圧指令との比較によってコンデンサ電圧を目標電圧まで微調整放電させる。
制御装置11は、コンデンサの容量変化、又はリアクトルのリアクトル値変化により生じる粗充電電圧の充電誤差を逐次補正する補正制御手段として、コンデンサの内部温度を基に前記コンデンサの静電容量を算出し、この静電容量を前記設定電流演算の変数として設定する容量C算出部11Dを設ける。 (もっと読む)


【課題】 小型・簡単な構造であって電流パルスの立ち上がり時間を短縮することができ、投入エネルギーを大きくすることが可能なパルス発生装置およびこれを用いたDPP方式EUV光源装置を提供すること。
【解決手段】 チャンバ1内に設けられた主放電電極3a、3bに高電圧パルス発生部20から高電圧パルス電圧を印加し、高密度高温プラズマ発生部2において高温プラズマを発生させ波長13.5nmのEUV光を放射させる。高電圧パルス発生部20はスイッチSW1 〜SWn とコンデンサC1 〜Cn の直列回路からなるユニット回路部U1 〜Un を複数並列に接続したものである。コンデンサC1 〜Cn を充電し、スイッチSW1 〜SWn にトリガ信号を与え、コンデンサC1 〜Cn に充電されていた電荷を放電させることにより、主放電電極3a、3b間にパルス状の電力エネルギーを供給することができる。 (もっと読む)


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