【課題】水晶振動子の密閉構造での劣化要因を除去し、長期エージング特性が、１０^−６／年レベルの周波数安定度の製造限界を突破する。
【解決手段】高安定水晶振動子の製造プロセスとして、プロセスＳ１１で、容器本体内所定位置に、電極が形成された水晶素子を導電性接着剤で固定後乾燥、又は金バンプでダイボンディングし、プロセスＳ１２で、容器本体内に遠紫外線照射や低イオン照射により、汚染物を分解処理して、容器本体内を清浄化し、プロセスＳ１３で、電解研磨されたステンレス製保持器やキャップを使用し、ステンレス製キャップからのガス発生を極力抑え、プロセスＳ１４では、電解研磨されたステンレス製キャップで真空又は不活性ガスで保持器を封止し、プロセスＳ１５で各工程での歪の除去を熱エージングで、あわせてプロセスＳ１１からプロセスＳ１４で除けなかった不要ガスの排出を行ない、高安定水晶振動子製造を可能とする。 （もっと読む）

【解決手段】 ２個の腕部を有する音叉形状の水晶素子片２を準備し、両腕部の先端に水晶面が露出する重り部９ａ、９ｂを設けるように、水晶素子片の表面に電極５ａ〜７ａ、５ｂ〜７ｂを成膜する。反応性イオンエッチング装置によりフレオン系ガスをイオン源として、反応性のイオン化した粒子を重り部に照射することにより重り部表面を部分的に除去して、その周波数を調整する。
【効果】 水晶振動片の材料自体の質量を減らして周波数調整するので、重り部に電極膜を設ける必要が無く、工数の大幅削減により生産効率が向上し、電極材料使用量の大幅減少により製造コストが大幅に低減する。更に、優れたエージング特性の高精度で高信頼性の音叉型水晶振動子が得られる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子片６２の側端面に上下面の電極７３、７４と連続する電極を形成するためのレジストマスク９３を形成する際に、露光不良によってレジストマスクが正確に形成されず、側端面における電極の形状不良によるショートや断線の発生を防止するようにした圧電素子を提供する。
【解決手段】水晶ウエハーをエッチングして圧電素子片６２を形成する際に、パウダービームエッチングを行なうようにし、これによって圧電素子片６２の側端面をその全周に亘って厚さ方向の中央部が外方に突出するような傾斜面から構成するようにしたものである。 （もっと読む）