【課題】 低振動、かつ冷却板の支持強度の高いコールドトラップを提供する。
【解決手段】 流路外壁が、ガスが流れる流路を画定する。パルスチューブ冷凍機が、蓄冷器、コールドヘッド、及びパルス管を含んで構成されている。蓄冷器とパルス管がコールドヘッドを中心として相互に反対側に配置され、蓄冷器及びパルス管のコールドヘッド側とは反対の端部が、それぞれ流路外壁の相互に異なる位置に取り付けられている。コールドヘッドが蓄冷器とパルス管とによって流路内に支持されている。冷却板が流路内に配置され、コールドヘッドに熱的に結合されている。 （もっと読む）