【課題】ヘリウムガスの再液化装置に用いられるヘリウム精製器において、不純物を捕捉する捕捉体の熱伝導性を改善する。
【解決手段】ヘリウムガス中の不純物を冷却・固化して捕捉する捕捉体として、三次元網構造を有する発泡金属材料を用いる。発泡金属捕捉体６０をヘリウムガスの流路に配置し、流路を形成する内筒５０、外筒５２および発泡金属捕捉体６０を支持するフランジ６２により熱が伝えられ、冷却および加熱が行われる。三次元網構造を有することにより、発泡金属捕捉体６０の内部まで短時間で熱が伝わる。 （もっと読む）

本発明は以下の工程を包含する分離プロセスに関する：（ｉ）少なくとも１種類の望ましい成分と少なくとも１種類の望ましくない成分を包含する気相混合物を凝縮装置に導入する工程、（ｉｉ）熱伝達ガスを用いて同凝縮装置の温度を制御する工程、および（ｉｉｉ）同凝縮装置を同気相混合物の少なくとも一部を選択的に凝縮するに十分な温度および圧力で運転し、それにより少なくとも１種類の同望ましい成分を含有する回収物を生成する工程。同分離プロセスは、例えば化学気相蒸着プロセスあるいは原子層蒸着プロセスでの未反応有機金属化合物の回収のような半導体製造のための適用に特に有用である。
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【課題】昇華又は蒸留等を行う精製装置において、精製装置の汚染を防ぎ、高い純度で精製された目的物質を、高い収率で精製することのできる精製装置を提供する。
【解決手段】物質を気化して精製する精製部と、精製部を固定する固定手段と、精製部に近接して設けられ、精製部に温度勾配を付ける温度調節手段と、を有する精製装置である。精製部は、第１の精製管と第２の精製管とを含み、第１の精製管が隣接する第２の精製管に遊嵌されている。 （もっと読む）

【課題】トラップ装置ごと交換することなく、カートリッジのみを交換することを可能とする反応室の排気ガスから生成物を分離除去するトラップ装置を提供する。
【解決手段】トラップ装置２６に設けられるカートリッジ１８であって、カートリッジ取付け蓋と、前記カートリッジ取付け蓋に挿通固定される媒体導入チューブ３３及び媒体排出チューブ３２と、前記挿通固定された媒体導入チューブ３３及び媒体排出チューブ３２に連結されるスパイラルチューブとを有する。 （もっと読む）

半導体製造工程の反応副産物を捕集する装置が設けられ、本装置は、薄膜の蒸着及び食刻工程でプロセスチャンバから発生される反応副産物が真空ポンプに吸入されることを積極的に遮断しながら反応副産物が実際に捕集される有効面積を最大化することによって反応副産物の捕集効果及び捕集容量を増大させ、それにより捕集された反応副産物を容易に除去することができる。本装置は、内部収容空間を有する中空のハウジングと、プロセスチャンバとハウジングとを連結する第１連結管と、真空ポンプとハウジングとを連結し、ハウジングの底面から内部に伸長して突出する突出部を含む第２連結管と、ハウジング内部に配置され第１連結管を介して流れ込む反応副産物を冷却する冷却要素と、ハウジング内部に複数層形状で配置され反応副産物が積層される捕集プレートとを含む。 （もっと読む）

【課題】 リン等の有機化合物の捕集効率の低下を無くし、リントラップの交換周期を長くすることができる有機化合物捕集装置を提供することにある。
【解決手段】 回収槽１０内に、導入したガス中の有機化合物を冷却凝固させる冷却板１３を設けた有機化合物捕集装置において、冷却板１３に、冷却板１３に付着堆積した凝固物を除去するスクレイパー１８を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】融点が２５℃よりも高く、昇華状態では温度降下時に融点で結晶化しにくい昇華物質を回収するのに際して、装置の内壁や配管に広範囲にわたって昇華物質が付着堆積するのを防止する。
【解決手段】結晶化部３において昇華物質Ａと冷却ガスＢとを衝突させ、混合することによって、昇華物質Ａの結晶化を促進する。結晶化部３からの混合ガスＥを、フィルター９とガス吸引手段１０とを備えている回収部２に通過させ、昇華物質を回収する。 （もっと読む）

【課題】真空成膜装置の排気コンダクタンスの悪化を押さえながら排気中の水分の除去効率を高める真空成膜装置用コールドトラップ及び真空成膜装置用排気システムを提供する。
【解決手段】成膜室１０と成膜室１０の内部を排気する排気手段２との間の排気流路７ｃ内に磁界を発生させるようにして排気流路７ｃの内部に配置された１以上の永久磁石１ａと、永久磁石１ａの近傍に配置され、冷媒を流通させて排気流路７ｃを流通する排気中の水分子を冷媒配管１ｂに凝結させて除去する冷媒配管１ｂとを備えている。 （もっと読む）

【課題】
ＭＯＣＶＤ排ガス中に含まれる固体成分を効率的に捕集し、かつ配管詰まりが生じにくい固体除去装置ないし煤トラップを提供する。
【解決手段】
気体中に含まれる少なくとも一つの成分の固化物を付着する部分を有する気体を流通する固体除去装置であって、必要に応じて、前記気体中に含まれる少なくとも一つの成分が固化する温度以下に気体を冷却する手段を備えるとともに、該固体装置内での気体の流路が屈曲を繰り返す構造とする。 （もっと読む）

凍結乾燥プロセスから廃液を再生するためのシステムは、凍結乾燥される材料から廃液を収集するために凍結乾燥サイクル中に使用される少なくとも１つの凝縮装置、および凝縮装置から材料を収集するために設置された１つの回収容器を有する。システムは、廃液から形成された氷晶が、凍結乾燥サイクル後に凝縮装置から除去され、再使用されるように回収容器へ入れられることを特徴とする。製品システムは、凍結乾燥された材料と凍結乾燥中に収集された廃液との両方を含む。
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