【課題】 複数の成分を含む原料ガスからガス成分および凝縮性成分を回収するに際し、所望の純度を有し所望の製品ガスおよび凝縮性成分を確保するとともに、ガス分離膜の１次側ガス中で凝縮性成分が液化することを回避しつつ、高い回収率を得ることができるガス成分および凝縮性成分の製造方法および製造システムを提供すること。
【解決手段】 ガス分離膜Ｓから得られる透過ガスと、気液分離部Ｄ２から得られる副生液および副生ガスを生成するシステムであって、少なくとも、原料ガス流路Ｕｏ、ガス分離膜Ｓ、透過ガス流路Ｔ１、残留ガス流路Ｒ２、冷却部Ｃ２および気液分離部Ｄ２、副生ガス流路Ｇ２、副生液流路Ｌ２、添加ガス流路Ｆａ、圧力調整部ＰＣｒ１、流量調整部ＦＣｂ１を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプにより真空熱処理炉内を減圧するための排気装置であって、排気管路に外気が侵入して爆発事故を起こすようなおそれを無くし、安全性を向上させる。
【解決手段】真空熱処理炉１の排気管路９ａ，９ｂ，９ｃに接続した真空ポンプ１７，１８により該真空熱処理炉内１を減圧する真空熱処理炉の排気装置において、排気管路９ｃの大気放出側端部に圧力調節弁２７を設け、前記真空ポンプ１８下流側の前記排気管路９ｃ内の圧力を大気圧よりも高く保つようにする。また、排気管路９ｃに蒸発油を捕集するトラップ１９を設ける。 （もっと読む）

【課題】 メンテナンス性を向上するとともに、反応生成物の捕捉効率を向上する。
【解決手段】 基板を処理する処理室と、前記処理室に処理ガスを供給するガス供給管ラインと、前記処理室からの排気ガスを排気するガス排気ラインと、ガス排気ラインの途中に設けられ排気ガスに含まれる成分を除去する排気トラップ３００であって、少なくとも排気ラインに装着されるケース３１０と、ケース開口部を閉塞する蓋体３３１と、排気ガスに含まれる成分を捕集する捕集体３４３と、前記蓋体３３１に設けられ前記捕集体３４３を支持する中空支持体と、前記蓋体３３１外側から前記蓋体３３１を貫通し前記中空支持体内に至るように配置されるヒートパイプ３４５とで構成される排気トラップ３００とを備える。 （もっと読む）

【課題】トラップ容器を真空処理装置と主排気ポンプの間に配置したままで、冷却パネル及び冷凍機の取り外しを可能にする。
【解決手段】クライオトラップ１は、少なくとも気体を凝縮して排気する冷却パネル６と、冷却パネル６を冷却する冷凍機２とを有する冷却ユニットがトラップ容器７に支持され、トラップ容器７を介して真空処理装置と主排気ポンプに結合される。トラップ容器７の開口部１３から冷却ユニットの冷却パネル部分を連結管内へはめ込み、トラップ容器７を真空処理装置と主排気ポンプとの間に接続したまま、冷却ユニットを分離可能とした。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置に腐食性ガスを供給する際に，ガスフィルタでは除去できない揮発性金属成分の混入を防止する。
【解決手段】半導体製造装置（例えば熱処理装置１１０）にガス供給流路２２０を介して腐食性の高いガスを供給可能なガス供給システムであって，ガス供給流路２２０に設けたガスフィルタ２４０と，ガス供給流路２２０のガスフィルタ２４０の配設位置よりも下流側に設けられ，ガス供給流路２２０を流通するガスに含まれる揮発性金属成分を液化させて除去する金属成分除去器２５０とを設けた。 （もっと読む）

【課題】トラップ入口の目詰まりを防止してトラップのメンテナンス頻度を少なくしたトラップ装置及びこれを用いた真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空室からの排気経路に接続され排気ガス中に含まれる気化物質を凝縮させて捕捉するトラップ装置であって、気化物質が流入する流入口２と、排気ガスが流出する流出口４と、流入口から流出口に至るトラップ経路Ｔとを備え、トラップ経路を２個以上の分割経路Ｓ１、Ｓ２に分割したとき、各分割経路のコンダクタンスが流入口２側から次第に小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】真空乾燥装置における蒸気凝結器を、伝熱性能の向上、冷媒と凝結面の真空蒸気との伝達温度差損失の低減、同時に冷媒蒸発円管の核沸騰熱伝達係数と循環熱媒体の境膜伝熱係数の増大が達成でき、良い伝熱性能と高効率蒸気凝結能力を持つようにする。
【解決手段】真空乾燥装置の蒸気凝結器の、冷媒蒸発円管を、平滑管から内面溝付き円管に変更して、扁平な楕円管に変形加工し、一対の扁平面の一方または両方を、熱媒液体の通路の内壁面に密着する状態として前記通路内に装入し、冷媒蒸発楕円管と蒸気凝結プレート内の熱媒液体の通路の内壁面との密着面積を増大させ、かつ、液体の通路内に装入した冷媒蒸発楕円管に沿って等間隔に乱流を起こす棒を取り付けて、冷媒蒸発楕円管外表面の層流を擾乱して熱媒液体の対流境膜伝熱を促進する。 （もっと読む）

【課題】 低濃度のＸｅが含まれるプラズマエッチング等の半導体製造プロセス排ガス中より、水分、ＣＯ_２およびＦＣ等を機能的に除去して高純度なＸｅを回収することが可能な、簡便で捕集効率の高い回収方法および回収装置を提供すること。
【解決手段】 キセノンおよびフルオロカーボンを含む試料について、少なくとも、細孔径４Å以下の合成ゼオライトおよび酸化アルミニウムを直列に配して充填された第１吸着手段（Ａ１）、シリコーン製あるいはポリエチレン製の中空糸ガス分離膜モジュール４からなるガス分離手段（Ａ２）、活性炭、細孔径５Å以上の合成ゼオライト、細孔径５Å以上のモレキュラーシービングカーボン、あるいはこれらの組合せのいずれかが充填された第２吸着手段（Ａ３）、反応剤としてカルシウム化合物が充填された反応手段（Ａ４）、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ＣＨＦ_３を含む試料から、簡便で、効率よく、かつ選択的にＣＨＦ_３を処理する方法、処理ユニットおよび該処理ユニットを用いた試料処理システムを提供すること。
【解決手段】 酸化アルミニウムを主剤とする吸着剤の選択的吸着機能を利用することを特徴とする。また、２種類以上の吸着剤を用いて段階的に処理し、前段の１つに合成ゼオライトを主剤とする試剤を用い、後段に酸化アルミニウムを主剤とする試剤を用いることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】トラップ缶の開口部に設けたシール部材が結露・結氷することを防止し、真空漏れなどの発生を防止することができる冷却トラップ装置を提供する。
【解決手段】缶体周壁に冷媒流路１９を備えたトラップ缶１１の上部外周に取り付けた環状シール部材１２にコードヒータ１７を設ける。環状シール部材１２は、トラップ缶１１に嵌着される嵌着部１２ａと、キャビネット１３の天板１３ａに密着する密着部１２ｂと、トラップ缶１１の上部開口１１ａと蓋部材１４とを気密にシールするシール部１２ｃとを備え、嵌着部１２ａにコードヒータを装着する環状装着溝１２ｄを形成する。コードヒータ１７を複数回巻回するときには、上下に隣接するコードヒータの間にシリコン等からなる紐状体２０を配設する。また、冷媒流路から流出するホットガスの温度を検出し、検出温度に応じてホットガスの供給を制御する温度制御手段を設ける。 （もっと読む）