【課題】吸脱着処理した比較的低濃度（１０００ｐｐｍ以下）の塩化メチレンを主溶剤とする排気ガスを多量に、かつ、安価にしかも手軽に有害物質を生成することなく分解する方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも一種類のハロゲンを有する化合物を含有する排気ガスを放電により分解処理することを特徴とする排気ガスの処理方法。 （もっと読む）

【課題】酸素富化膜を利用し、目の細かなフィルターを使用しなくとも、酸素濃縮能の低下を防止し、もって実用化し得るようにした酸素濃縮器を提供する。
【解決手段】酸素富化膜の大気側にエアーの流れを生じさせ、該酸素富化膜の他面を減圧にして酸素富化空気を得る酸素濃縮装置において、前記酸素富化膜を通過した大気側のエアーの流れを、マイナスイオン発生器を通してマイナスイオン化エアーとした。 （もっと読む）

【技術課題】 基板に損傷や表面汚染を与えることなく、エッチングや成膜が行え、チャンバや電極等の構造は同一であるにも拘らず、導入するガスやプラズマ励起周波数を変えることにより、エッチングや成膜にも応用可能であり、生産性に優れるとともに、低価格で高性能なプラズマプロセス用装置を提供すること。
【解決手段】 容器内105に対向するように設けられ夫々平板状に形成された第１及び第２電極102，104と、プラズマに対して安定な材料から成り第１電極102上を覆うように設けられる保護部材101と、第２電極104上に被処理物103を取り付けるための保持手段と、第１電極102に接続される第１の高周波電源111と、第２電極104に接続される第２の高周波電源110と、容器105内に所望のガスを導入するためのガス供給手段とを少くとも備え、第１の高周波電源の周波数が前記第２の高周波電源の周波数より高いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 メインテナンス後に再装着しても割れることのない電極板を有するプラズマ装置を提供する。
【解決手段】 電極支持体２２と電極板２３との境界面の少なくとも片方に，薄い絶縁被膜６２を設け，電極支持体２２と電極板２３との直接の接触を避け，絶縁被膜の厚さを調整して，融着を防止しつつ性能を保持したプラズマ装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】 真空ポンプを損傷させず整備、点検の容易で且つ燃焼処理を必要としないＰＦＣの処理方法および処理装置を提供する。
【解決手段】 真空室１２の後段には配管１４を介して真空ポンプ１６と反応ガス導入部１７とプラズマ処理部１８と重合体回収部２０とが連続して設置され、処理装置１０を構成する。このように処理装置１０を構成すれば、プラズマ処理後の反応物が真空ポンプを通過することがなく、反応物によって真空ポンプが損傷するのを防止することができる。またプラズマ処理を行う部分については大気圧の環境に設置されるため、プラズマ処理部の整備や点検を容易に行うことができる。また混合ガスをプラズマ処理することによって重合体を生成するので、当該重合体を回収するだけでＰＦＣの処理を済ませることができる。 （もっと読む）

【課題】 絶縁保持が効果的になされ、もれ電流を最小化することができる局所処理装置を提供する。
【解決手段】 外部からの電磁的遮蔽をなすケーシングを有する。前記ケーシングの管通路上に放電管を設ける。前記放電管の一端をガス供給源に接続して放電管内に処理用気体を導入可能とする。前記放電管の他端にノズルを脱着自在に連結して、当該ノズルより処理用気体を外部に放出可能とする。前記放電管を挟むように一対の電極を対向配置して、当該電極の一方にリードの一端を接続し、当該リードの他端をケーシング部材外部の高周波電力源に接続して伝導経路を形成しする。これにより、ケーシング内を密閉空間とするとともに前記伝導経路の周囲に中空部分を設けて絶縁空間を形成した。 （もっと読む）

【課題】 原料の性質を改質する超微粒子の製造方法と改質した超微粒子材料に関し、改質した超微粒子を効率的に得ることのできる超微粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】 反応性ガスを含むガスのプラズマを発生させる工程と、原料を蒸発させ、前記反応性ガスを含むガスのプラズマ中を通過させることにより改質された超微粒子を生成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造工程等から排出される排ガスを処理して、その中に含まれる有害・汚染物質を実質的に完全に分解除去することができ、かつ安価で二次的汚染も生じない構造を備えた排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】 所定間隔をもって平行対向状に配置させた一対のプラズマ電極２０，２１間の真空雰囲気中に、排ガスを導入して、プラズマ電極２０，２１に高周波発振器２２からの高周波電気エネルギを印加すると、プラズマが発生して、排ガス中の構成物質がプラズマ電極２０，２１の電極表面に、プラズマ反応生成物として堆積固化し、この結果、上記排ガス中の有害・汚染物質が分解除去される。上記電極表面は、そこに堆積固化した反応生成物のみを除去し得る構造を備え、これにより、プラズマ電極は廃棄することなく再使用可能である。 （もっと読む）

【課題】 基材樹脂に紫外線吸収剤や酸化防止剤などを添加しなくても、プラスチック成形体の劣化を効果的に防止して、耐久性を付与する方法を提供する。
【解決手段】 プラスチック成形体に、シロキサン系化合物、シラザン系化合物、シラン系化合物などのプラズマ重合性ケイ素化合物のガスを接触させ、プラズマ重合処理することにより、プラスチック成形体表面にケイ素化合物のプラズマ重合被膜を形成させて、劣化を防止する方法である。 （もっと読む）