【課題】 本発明は、強力な殺菌力・洗浄力を有し、なおかつ水中で容易に安全なＯ_２ に戻る負電荷酸素原子（Ｏ^- ）の性質を用い、液体自体もしくは該液体中に置かれた対象物を殺菌・洗浄または浄化することを目的とする。
【解決手段】 本発明の負電荷酸素原子による殺菌・洗浄または浄化装置は、カルシウムアルミネート複合酸化物または少なくともセリウムを含む複合酸化物からなる部材を加熱し負電荷酸素原子を取り出すと共に、該負電荷酸素原子発生部から負電荷酸素原子をして希ガス流または乾燥空気流で搬送して液体中に放出し、該液体自体の殺菌・浄化もしくは該液体中に置かれた対象物（例えば、半導体ウエハー）の洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】 ガス中に含まれる、ＮＯ_xやＳＯ_x等の各種の有害物質を効率的に酸化分解除去し、芳香族系物質であるフェノールやダイオキシン等の有機有害物質も除去する。
【解決手段】 電気的に絶縁した円筒容器の中心部に導電性酸化物を被覆した金属棒を配置してこれを陽極（１０）とし、その外側を多孔性金属板によって同心円状に囲み、これを陰極（１１）とし、さらにその外側で、かつ、円筒（１２）の内側に導電性酸化物を被覆した金属円筒を収容し、円筒容器内へのガスの流入部（１３）とその排出部（１５）とを備えた排ガス中の有害物質の酸化分解装置であって、陽極（１０）と陰極（１１）に、線間電圧で０．４ｋＶ／ｃｍ〜７ｋＶ／ｃｍ、周波数５０〜１５０ｋＨｚ、電流１〜５０ｍＡを付与する。 （もっと読む）

【課題】
プラズマ処理装置において、プラズマ処理によって生成されるプラズマ、荷電粒子、およびダストなどの拡散を防止することで、プラズマ処理前の被処理物あるいはプラズマ処理後の被処理物へのプラズマ処理に係る影響を防止し、被処理物の品質を一定に保つようにする。
【解決手段】
プラズマ処理装置１０は、被処理物２０を巻出す巻出装置４、巻出装置４から巻出された被処理物２０にプラズマ照射するプラズマ照射部６、及びプラズマ照射部６でプラズマを照射された被処理物２０を巻取る巻取装置５を、閉塞された空間内に設置している。そして、プラズマ照射部６とその両側の巻出装置４及び巻取装置５との間にプラズマ照射部６にて生成したプラズマや荷電粒子や帯電したダストなどの拡散を防止する磁場シールド８を設けている。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１のパケットに対して汚染なしに化学的または物理的処理を行うためのマイクロ流体デバイス（１）に関する。 （もっと読む）

大気圧プラズマを利用した表面処理装置を提供する。表面処理装置は、処理ガス貯蔵部及び該処理ガス貯蔵部の下部に位置したプラズマ発生部からなり、ａ）前記処理ガス貯蔵部は処理ガスを導入する第１流入口を備え、ｂ）前記プラズマ発生部は、お互いに向かい合った上部電極及び下部電極と、該上部電極及び下部電極との間に形成されたプラズマ発生空間と、前記上部電極及び下部電極を絶縁させる絶縁体と、電極の表面温度を下げる放熱器と、前記処理ガスを前記処理ガス貯蔵部からプラズマ発生空間に導入する第２流入口と、前記プラズマ発生空間で生成されたプラズマ及びプラズマに転換されない処理ガスをプラズマ発生空間の外部に誘導する排出口と、交流電圧を印加する交流電源と、を含み、前記上部電極及び下部電極はすべて平板形電極であり、前記排出口は前記下部電極に形成され、前記下部電極の下側には基板が位置される。前記表面処理装置は、処理しようとする基板の形態に制限を受けることがなく、基板の処理面積を増加させることができるだけではなく、大気圧下で連続的な基板の表面処理を可能にする。
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本発明は、容器を搬送するための運動システムと、大気圧で動作する、それぞれ１個ずつ容器を処理するべく設計された複数のプラズマ発生器とを備えた、プラズマを使用して容器の表面を処理するためのデバイスに関する。プラズマ発生器は、処理ガス供給システムと、スイッチとして機能する少なくとも１つのトランジスタもしくはＬＣアダプタを備えた、電流にパルスを供給するべく設計された電源システムとを備えている。
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【課題】パティキュレートフィルタを備えた状態でＮＯとＮＯ₂の比を制御してＮＯxの低減化を行う排気浄化装置を提供する。
【解決手段】エンジン１の排気管１１途中に装備されて酸素共存下でも選択的にＮＯxをアンモニアと反応させ得る選択還元型触媒１６と、選択還元型触媒１６の入側で排気ガス９中に還元剤として尿素水２１を添加する尿素水添加手段２２と、尿素水添加手段２２の添加より上流に装備されて排気ガス９中の煤を捕捉するパティキュレートフィルタ２８と、パティキュレートフィルタ２８より上流で排気ガス９中に放電してＮＯ₂を発生させるプラズマ発生装置２５と、排気ガス９中のＮＯとＮＯ₂の比を調整するようプラズマ発生装置２５を温度領域ごとに制御して尿素水添加手段２２に尿素水の添加を行しめる共にパティキュレートフィルタ２８中の煤を酸化し得る制御装置３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 処理される微粒子が確実に表面改質効果を得ることができる微粒子処理方法並びに装置の提供。
【解決手段】 ガスをプラズマ処理装置に供給する工程と、前記ガスのプラズマ処理装置への供給経路に粒子を供給し、ガスの流れとともにプラズマ処理装置内へ粒子を供給する工程と、前記供給経路のプラズマ処理装置内出口に対向して配された一対の電極間において、該出口を囲むようにプラズマを生じさせる工程からなることを特徴とする微粒子処理方法である （もっと読む）

本発明は、フッ素を発生し、そして再循環するための装置および方法に関する。本出願人は、フッ素分離器が、単独でまたはプラズマ発生器との組み合わせのいずれかで使用され、フッ素の使用地点で薄膜加工のために十分な量のフッ素を生成し得ることを確認した。上記フッ素分離器は、凝縮器、膜分離デバイス、固体電解質を含むフッ素イオン伝導体、または上記のものの組み合わせの形態を取り得る。いくつかの実施形態においては、フッ素含有反応生成物は、フッ素分離器に通される。他の実施形態においては、分離されたフッ素は、単独でまたはさらなるフッ素含有供給原料と一緒に、プラズマ発生器に通される。上記フッ素分離器は、フッ素が再循環され、廃棄生成物が上記系から除去されることを可能にする。
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【解決手段】 本発明は、空気を処理するための、引火及び爆発を防止するプラズマ発生装置（１）に関しており、プラズマは、金網によって少なくとも部分的には取り囲まれており、金網は、炎がハウジングを抜け出さないようにする寸法に作られている。本発明は、特に民間航空機の、飛行の安全と防護の要件を満たすのに、特に有用である。 （もっと読む）