【課題】噴射ノズルから紫外線の照射によって硬化するインクを噴射する液体噴射装置に
おいて、ノズル抜けの検査にかかるコストを抑制可能とする。
【解決手段】噴射ノズルから、電磁波の照射によって硬化する液体を液体受部材に噴射し
て検査パターンを生成する。液体受部材の表面は液体をはじく特性を有しており、内部に
液体が浸透しないようになっているので、液体受部材に噴射した液体に電磁波が照射され
ることにより、液体が液体受部材の表面で硬化する。従って、液体受部材の表面で硬化し
た液体を剥がし取ることで、液体受部材を再利用することができる。その結果、ノズル抜
けの検査の度に液体受部材を交換する必要が無くなるので、検査にかかるコストを抑制す
ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】微粒子を含有するスラリーを用いて得られる微粒子含有塗膜の乾燥工程における、膜厚を適切に算出することのできる微粒子含有塗膜の膜厚算出方法を提供すること。
【解決手段】微粒子および溶媒を含むスラリーを基材上に塗布して得られる微粒子含有塗膜の膜厚を算出する方法であって、微粒子含有塗膜の乾燥初期における、溶媒の気化による膜厚の減少量から求められる膜厚減少直線と、微粒子含有塗膜の完全乾燥時の膜厚である乾燥膜厚から求められる乾燥膜厚直線と、これらの交点である膜厚変化停止点とを求め、膜厚変化停止点までは膜厚減少直線を用いて、微粒子含有塗膜の膜厚を算出し、膜厚変化停止点からは乾燥膜厚直線を用いて、微粒子含有塗膜の膜厚を算出する微粒子含有塗膜の膜厚算出方法。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドのノズルと導電線との距離が比較的長い状態で吐出ヘッドのノズルの吐出状態を検査できるようにする。
【解決手段】導電線群５４の各導電線と導電線群５６の各導電線とに電位差を生じさせた状態で、検査対象のノズルから吐出されたインク滴によって電流が流れた検査時導電線があるか否かの判定やこの検査時導電線と検査対象のノズルから正常にインク滴が吐出されたときに電流が流れる正常時導電線との比較により、正常吐出か異常吐出か不吐出かを判定する。これにより、ノズルと導電線群５４や導電線群５６との距離が比較的長い状態で正常吐出か異常吐出か不吐出かを判定することができる。 （もっと読む）

【課題】液滴を吐出する液滴吐出装置において、長時間の液滴吐出停止を行った際に、ノズルを詰まらせず、装置を大型また複雑にせずに産業用途へ適用できる液滴吐出ヘッドおよびそれを搭載したインクジェット装置を提供すること。
【解決手段】液滴を吐出するノズル近傍に、気体を噴流する噴流口を設けて、長時間の吐出を停止する際に気体を噴流する口から気体を流し、ノズル近傍へ周囲からの気流が直接当たらないようにすることで、記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】ワークの搬送精度を向上させた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル孔を有する液滴吐出ヘッドと、検出部と、ワークを搬送させるワーク搬送部と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記液滴吐出ヘッドの前記複数のノズル孔のうち、互いに異なるノズル孔から液滴を吐出させ、前記ワーク上にアライメントマークを形成し、前記検出部に検出させた前記アライメントマークの検出位置に基づいて、前記ワーク搬送部に前記ワークを搬送させる。 （もっと読む）

【課題】塗布剤塗布方法において、時間経過によって粘度が変化する塗布剤の塗布量のムラを抑制するとともに作業効率を向上することができるようにする。
【解決手段】塗布剤塗布方法であって、圧力を塗布剤の硬化開始時からの経過時間に応じて変化させる圧力制御データを決定する圧力決定工程（ステップＳ５、Ｓ９）と、圧力制御データに基づいて予め設定された試し塗布速度で塗布剤を試し塗布する試し塗布工程（ステップＳ６）と、試し塗布量を測定する試し塗布量測定工程（ステップＳ７）と、単位塗布長さ当たりの塗布量が予め設定された目標塗布量となる塗布速度の大きさを算出する塗布速度算出工程（ステップＳ８）と、算出された塗布速度によって被塗布体と吐出口とを相対移動させて、被塗布体に塗布剤を塗布する本塗布工程（ステップＳ１０）とを、備える方法とする。 （もっと読む）

【課題】 支持部材に対する被噴射材の浮き上がりが生じている状態においても高精度な液体噴射を実行可能な液体噴射装置を実現する。
【解決手段】 記録紙支持部材１３に支持される記録紙Ｐの裏面の反射光を受ける反射鏡２２と、反射鏡２２を介して、記録紙支持部材１３に支持される記録紙Ｐの裏面の反射光を結像させるテレセントリック光学系２４と、テレセントリック光学系２４による結像を電気信号に変換して出力するイメージセンサー２５と、テレセントリック光学系２４の光軸方向へ反射鏡２２を変位させる焦点調整装置２６とを含む記録紙検出装置２０を備え、制御装置１００は、テレセントリック光学系２４による結像が合焦状態となるように反射鏡２２の位置を調整し、合焦状態における反射鏡２２の位置に基づいて記録ヘッド１７から記録紙Ｐへインクを噴射するタイミングを調整する。 （もっと読む）

【課題】温度変化等によって生じる基板の走査中の真直度ずれやヨーイングによるずれを補正し、基板の所定の位置に常に正確にインクを塗布することのできるインクジェット装置を提供すること。
【解決手段】基板の両側に付与されたスケールパターンを２個の第１センサで読み取り、位置演算部が位相差をゼロにするようθ軸搬送部を補正することにより、ヨーイングによるズレを抑制する。同様に、基板の両側に付与された直線パターンを２個の第２センサで読み取り、位置演算部が走査中の平均値の変動がゼロになるようＹ軸搬送部を補正する。更に、第１センサからの信号でインクジェット制御部のインク吐出タイミングの補正を行い、温度変化でヘッドユニットと基板の相対位置がずれた場合でも、正確にインクを基板の所定の位置に着弾させることができ、混色や輝度ばらつきなどの少ないデバイスを製作できる。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物に接着剤の塗布膜を所望する膜厚で形成する。
【解決手段】半導体装置の製造装置１は、塗布対象物Ｗに向けて接着剤を複数の液滴として吐出する塗布ヘッド６ｃと、塗布対象物Ｗが載置され、塗布ヘッド６ｃの下方を移動可能なステージ６ａと、塗布ヘッド６ｃの吐出を安定させる吐出安定部６ｅとを備え、吐出安定部６ｅは、塗布ヘッド６ｃから吐出された液滴を撮像して吐出確認を行う吐出確認部８１と、塗布ヘッド６ｃの吐出面を清掃しかつ濡れた状態にする清掃湿潤部８２と、塗布ヘッド６ｃから吐出された液滴の吐出量を確認する吐出量確認部８３と、吐出確認部８１、清掃湿潤部８２及び吐出量確認部８３を、それぞれの作業位置とステージ６ａとの干渉を回避する退避位置とに移動させる駆動部とを具備している。 （もっと読む）

【課題】従来、アライメントにかかるコストを低減することが困難であるという課題がある。
【解決手段】吐出ヘッドの基準ノズルを撮像するカメラ１３７と、カメラ１３７が基準ノズルを撮像した結果に基づいて、吐出ヘッドの位置を把握する制御部２０１と、を有し、制御部２０１は、複数の表示画素を有する原版１８１の複数の表示画素の少なくとも一部を、吐出ヘッドの種類に応じて発光させたときの表示パターンを、カメラ１３７で撮像した結果に基づいて、吐出ヘッドの位置の補正量を演算する、ことを特徴とするアライメント装置。 （もっと読む）