【目的】 少ない処理液により高品質の処理を行い得るようにする技術を提供する。
【構成】 半導体ウエハＷは第１の処理部材１１に支持ピン２により支持されるようになっており、第１の処理部材１１の平坦な対向面１ａと半導体ウエハＷの被処理面Ｗａとの間には隙間３が形成される。第１の処理部材１１に対向する第２の処理部材１２と半導体ウエハＷの被処理面Ｗｂとの間には隙間４が形成される。それぞれの隙間３，４には、処理液が供給されるようになっており、処理液はそれぞれの隙間３，４の中に毛細管現象により広がり、それぞれの被処理面Ｗａ，Ｗｂが処理される。次いで、それぞれの隙間３，４の中に乾燥用のガスを供給することにより、処理液が除去されるとともに、被処理面Ｗａ，Ｗｂが乾燥処理される。 （もっと読む）

【目的】 使用場所や方法の規制を受けることなく、塵埃等を十分に除去することができる実装プリント基板の再生方法を得る。
【構成】 アルコール水溶液で洗浄した実装プリント基板に窒素ガスを吹きつけ、さらに基板上に残留するアルコール水溶液を除去するために乾燥させる。 （もっと読む）

【構成】 平面板２とその平面板に垂直に固定されている数個の垂直壁１からなる回転体であり、シリコンウェハー３を中心部に固定するシロッコファン、そのシロッコファンに垂直に、シリコンウェハー３のオリフラー部分に乾燥ガスを照射するための噴射口を有する支柱４を設けてなるスピンドライヤー。
【効果】 シリコンウェハーを回転させないので、シリコンウェハーの慣性モーメントの中心を求める必要性は全くなく、そのため装置が簡素化され、シリコンウェハーが回転により破損して装置や他のシリコンウェハーの破損は皆無となる。スピンドライヤーを多段にすることにより、洗浄、乾燥の効率がよく、シリコンウェハーの品質とコスト低減をはかれる。さらに、液体窒素または液体水素による洗浄効果により、シリコンウェハー表面のシリコン酸化物の微粒子等が除去できるため、シミ残りが少なく、次工程以後の歩どまりが減少する。 （もっと読む）

【目的】 バスケットを水平方向に搬入、搬出できるようにし、併せてバケットが縦方向に短かく成形でき、部品のバスケットに対する搬入、搬出を容易すること。
【構成】 水平なレール５と、レール上を走行する台車９と、台車上に水平方向又は垂直方向に回転自在に配設したバスケット２２，２５と、バスケットの搬入出用駆動シリンダ１９と、台車の枠体１０の端部に枢着した駆動アーム２０と、駆動アームの先端と駆動シリンダの先端との間に枢着された連結リンク２１とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】 大掛かりな洗浄設備にたよることなく、被洗浄体に付着している異物を剥離して適正に洗浄する。
【構成】 高圧容器内１で生成された気体溶存水Ｗ２を洗浄水噴射系４の洗浄水噴射ノズルから被洗浄体５に噴射することにより、被洗浄体５に対する洗浄水Ｗ１衝突時の衝撃力によって被洗浄体に付着している異物を剥離して除去するとともに、洗浄水Ｗ１に溶存している気体の分離によって発生した多数の気泡Ａが被洗浄体５に衝突して破裂した場合の衝撃力によって、被洗浄体５に付着している異物を剥離して除去するようにしている。 （もっと読む）

【構成】 給油対象タンク内の油蒸気を吸引する吸引手段と、吸引した油蒸気を検出する油蒸気検出手段と、油蒸気を排出させ油蒸気検出手段をクリーニングする排出手段とを具備し、電源起動時および給油ノズルの非使用状態が予め設定された所定時間以上となった時に、吸引手段および排出手段をそれぞれ所定時間空運転させる制御手段を設けてなる。
【効果】 吸引手段および排出手段は、電源起動後は常に暖機状態が維持されることになるため、給油作動がいつなされてもこれらの吸引性能および排出性能を低下させることがない。したがって、低温時においても、電源起動後は常に正確な油種判定を行うことができるとともに給油作動開始を即座に行うことができかつ油蒸気センサのクリーニングを十分に行うことができる。 （もっと読む）

【目的】 グリーンシート屑および接着剤の剥離・除去に際し、枠を損傷したり変形させることがなく、枠の再利用に好適な枠の洗浄装置を提供すること。
【構成】 グリーンシート保持用枠２ａに接着されたグリーンシート屑および接着剤を溶剤により膨潤させた後、機械的除去手段により剥離・除去する枠の洗浄装置において、前記グリーンシート保持用枠に接着された、溶剤により膨潤６させたグリーンシート屑および接着剤を除去するための複数段の流体噴出用ノズル７，８と、後処理用ブラシ部９および清浄化仕上げ１０・乾燥部１１，１２，１３，前記保持用枠から剥離されたグリーンシート屑の回収部を設けたことを特徴とする枠の洗浄装置。 （もっと読む）