【課題】十分なフィルタ寿命を得ることができる浸漬型の洗浄装置およびそれを用いた洗浄方法を提供すること。
【解決手段】ウエハＷに形成されたレジスト膜等を除去する洗浄装置は、レジスト膜等の剥離処理を行うための洗浄液を貯留し、その中にウエハＷを浸漬させて洗浄処理を行う洗浄槽１０１と、フィルタ１１４，１１５が介在され洗浄槽１０１内の洗浄液を循環させる循環ライン１０４と、洗浄槽１０１で洗浄処理を行ったウエハＷに残存しているレジスト膜等を除去液としてのリンス液により除去する除去処理を行う除去処理槽としてのリンス槽１２１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ディスク状対象物の少なくとも下面の処理を行うための装置において、ディスク状対象物の汚染が回避できるような装置を提供する。
【解決手段】本発明の装置は、上面（２ｏ）を有しかつディスク状対象物（１）を位置決めするための少なくとも２つの部材（１９）が上面から垂直に突出している回転可能保持器（２）と、ディスク状対象物（１）の下面（１ｕ）に処理媒体を供給するために固定的に設けられかつ保持器（２）を貫通するように配置された少なくとも１つの配管（２４，２６）と、保持器（２）の下面（２ｕ）の少なくとも一部から離隔して固定配置され環状間隙（１６）を形成しているカバー（４）と、を備え、前記少なくとも１つの配管（２４，２６）は、隙間のない状態でカバー（４）を貫通していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】洗浄液が溢れ出ることを防止することができ、且つ微量検体の分析が可能な反応容器も適用対象とする洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置は、洗浄液供給ノズル３４と第１洗浄液吸引ノズル４６と第２洗浄液吸引ノズル４８とを備えている。洗浄装置には、反応容器６の内部に先端を挿入した第１洗浄液吸引ノズル４６と第２洗浄液吸引ノズル４８との間を反応容器の外部で電気的に接続し、洗浄液３６の液面高さが、検体及び試薬が入っていた高さを超えた場合にノズル４６，４８間が洗浄液で電気的に接続されることを監視する導通状態監視手段５６を設けてある。 （もっと読む）

【課題】被粘着物を粘着保持する保持治具に装着されたゴム弾性部材に付着した付着物を所望のように除去することのできるゴム弾性部材の洗浄方法、及び、ゴム弾性部材の洗浄装置を提供すること。
【解決手段】被粘着物を粘着保持する保持治具に装着されたゴム弾性部材の洗浄方法であって、前記ゴム弾性部材に対して０．０１０〜０．０６ＭＰａの衝撃荷重で、洗浄液を前記ゴム弾性部材に噴射することを特徴とするゴム弾性部材の洗浄方法、及び、被粘着物を粘着保持する保持治具３０に装着されたゴム弾性部材３１の洗浄装置１であって、前記ゴム弾性部材３１を固定する固定台１０と、前記固定台１０に固定された前記ゴム弾性部材３１に対して０．０１０〜０．０６ＭＰａの衝撃荷重で洗浄液を前記ゴム弾性部材３１に噴射する噴射ノズル２０とを備えたことを特徴とするゴム弾性部材３１の洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】基板に対する処理液のミストの飛散を抑制することができる液処理装置を提供すること。
【解決手段】ウエハＷを水平に保持し、ウエハＷとともに回転可能なウエハ保持部１と、ウエハ保持部１に保持されたウエハＷを囲繞し、ウエハＷとともに回転可能な回転カップ３と、回転カップ３およびウエハ保持部１を一体的に回転させるモータ２と、ウエハＷの表面に処理液を供給する表面処理液供給ノズル４と、回転カップ３から外部へ排気および排液する排気・排液部６と、表面がウエハ表面と略連続するようにウエハの外側に設けられ、保持部材１および回転カップ３とともに回転し、ウエハ表面に供給されてウエハＷから振り切られた処理液をその表面を介して回転カップ３から排気・排液部６へ案内する案内部材３５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄能力が向上され、しかも単純な制御系で、被洗浄基板を、振動させることなく、安定に搬送しながら、その被洗浄基板の被洗浄面を洗浄することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】 搬送手段３２によって被洗浄基板３５を搬送しながら、その被洗浄基板３５の被洗浄面３４に洗浄液供給手段３３によって洗浄液３６を供給する。搬送手段３２は、回転駆動体４２と、ローラ体４１とを備える。回転駆動体４２は、円筒状の外周面４４が形成される車輪部４５を有し、回転軸線Ｌ１１まわりに回転駆動される。車輪部４５の外径寸法Ｄ１１は回転軸線Ｌ１１の方向に一様である。ローラ体４１は、他の回転軸線Ｌ２１〜Ｌ２５まわりに個別に回転可能な各ローラ５１〜５５を有する。各ローラ５１〜５５の外周部５８は、前記車輪部４５の外周部４６に接触し、最上位置Ｐ１１〜Ｐ１５が、搬送方向Ａに垂直な断面が上方に凸に湾曲する湾曲面５９に沿って並ぶ。 （もっと読む）

【課題】パネルを搬送する無端ベルトに滞留した異物を洗浄除去し、洗浄機外部へ排出する機構を備えたパネル洗浄機及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】無端ベルト６によりパネル２を定盤１２上に搬送し、洗浄ノズル１から洗浄液を噴出すると共に、洗浄ヘッド３によりパネル２の表面から異物を洗浄除去するパネル洗浄装置において、パネル表面から除去された異物のうち、無端ベルト６の内面に滞留した異物を洗浄除去するために、パネル２の搬送方向における定盤１２の後端部側に洗浄ノズル１３及び排水路１４を設置した。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ごみピットにごみを投入したごみ収集車のテールゲート内部を洗浄するために好適な洗浄装置及びこの洗浄装置を備えたごみ焼却施設を提供することである。
【解決手段】本発明による洗浄装置は、洗浄水を噴出するノズル（５１）と、前記ノズルがごみピット（２０）を臨むプラットホーム（１０）に設けられた車止め（１１）よりごみピット側に配置されるように前記ノズルを支持する支持体（５２）とを具備している。このようなノズルの配置は、ごみ収集車（９０）のテールゲート（９１）内部を洗浄するために好適である。本発明によれば、作業者は、足場の悪いごみ投入口（２０ａ）周辺でテールゲート（９１）の清掃作業をしないで済む。本発明による洗浄装置は、ごみ焼却施設又はごみ焼却施設以外のごみ処理施設に適用可能である。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、果実・果菜類の表皮の異物質を除去、洗浄、除菌作業を施しながら、新鮮な農産物である果実・果菜類へのストレスを最小化し、その表皮などに損傷を与えないようにする。
【解決手段】
移送コンベヤーによって連続的に供給される果実・果菜類に圧縮微細空気を噴射して果実・果菜類表皮の異物質を除去する異物質除去段階；前記異物質が除去された果実・果菜類に圧縮水を噴射して洗浄する洗浄段階；前記洗浄された果実・果菜類に圧縮空気を噴射して前記果実・果菜類表皮の水分を除去する脱水段階；及び前記表皮の水分が除去された果実・果菜類を殺菌及び乾燥する乾燥段階を包含する。 （もっと読む）

【課題】
携帯型スチームクリーナ用の安全バルブにおいて、高圧が残っている状態において開栓不可能な構造とする。更に高圧スチームを安全に外気へ逃がす構造を備える。
【解決手段】 携帯型スチームクリーナ２の高圧タンク２ｃに洗浄用の水を供給するための入口２ｄに対する栓の安全バルブ１であって、該入口の大きさに対応したボルト部分１ａを一端側に備えると共に、高圧タンクとの接続状態で高圧タンクからの洗浄用スチームが導入可能な中空構造を備え、該ボルト部分の回転によって着脱を可能とし、該ボルト部分の高圧タンクと対向側に該ボルト部分に回転力を伝達可能とするカバー１ｂを具備する。又、スチームの圧力が設定条件を超えると該高圧タンクの圧力を放出制御する圧力弁５を備え、且つ該圧力弁を介して放出されるスチームを受け入れる抑制チャンバー１ｄを該カバー内に備え、該抑制チャンバーを介して外気へ放出するようにした。 （もっと読む）