【課題】表面平滑性に優れたダイヤモンド被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 切削工具基体表面に、第１層としてカーボン非晶質層、第２層として微粒ダイヤモンド層、第３層としてダイヤモンド層を被覆形成したダイヤモンド被覆部材において、第２層の微粒ダイヤモンド層は、層厚方向の平均結晶粒径が０．０２〜０．２μｍ、層厚方向に直交する方向の平均結晶粒径が０．０５〜０．５μｍであり、更に、第２層の膜厚Ｄ_２と第３層の膜厚Ｄ_３との比の値Ｄ_２／Ｄ_３が０．０１以上１．０以下であるダイヤモンド被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】本発明は、耐摩耗性に優れ、被削材の面粗度の改善が可能な切削工具を安価に製造することを可能とする切削工具用ダイヤモンド焼結体を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る切削工具用ダイヤモンド焼結体は、ダイヤモンド含有率が７０−９８体積％であり、第１ダイヤモンド粒子群と第２ダイヤモンド粒子群とを有し、該第１ダイヤモンド粒子群の平均粒径（粒子直径）が５０μｍ以上であり、かつ、第２ダイヤモンド粒子群の平均粒径の５倍以上であり、結合相が少なくとも鉄族金属を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長期の使用に亘ってすぐれた仕上げ面精度を示すダイヤモンド被覆工具を提供する。
【解決手段】ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットで構成された工具基体表面に、粗粒結晶層Ｃ、含非晶質炭素層Ａ、微粒結晶層Ｂおよび含非晶質炭素層Ａからなる交互積層単位構造が複数周期繰り返されることにより４．５〜４０μｍの膜厚のダイヤモンド皮膜が被覆され、さらに、該ダイヤモンド皮膜について、基体表面の法線に対して、ダイヤモンド皮膜中の結晶粒の（１０１）面の法線がなす傾斜角を測定し、傾斜角度数分布グラフを作成した場合、０〜２０度の範囲内の傾斜角区分に存在する度数の合計が、全度数の３０％以上の割合を占めるようなダイヤモンド被覆工具。 （もっと読む）

【課題】単一のＳｉＣ超硬合金層、または少なくとも１つのＳｉＣ超硬合金層を含むＳｉＣ多層構造体で被覆された物体、および物体を単一のＳｉＣ超硬合金層、または少なくとも１つのＳｉＣ超硬合金層を含むＳｉＣ多層構造体で被覆する方法を提供する。
【解決手段】単一のＳｉＣ層は、ハロゲン元素を含むナノ結晶３Ｃ−ＳｉＣから、ＳｉＣ多層構造体は、ハロゲン元素を含むナノ結晶３Ｃ−ＳｉＣおよび非晶質ＳｉＣの混合物、またはハロゲン元素を含むナノ結晶３Ｃ−ＳｉＣおよび非晶質炭素の混合物から形成する。被覆は、Ｈ₂および／または１種もしくは複数種の不活性ガス、一般式Ｓｉ_nＸ_2n、Ｓｉ_nＸ_2n+2もしくはＳｉ_nＸ_yＨ_z（ここで、Ｘはハロゲン元素、ｎ≧２）で表される１種または複数種のハロゲン化ポリシラン、ならびに１種もしくは複数種の炭化水素を含む混合ガスを用いて、熱ＣＶＤプロセスを介して行う。 （もっと読む）

【課題】重切削加工においてすぐれた耐摩耗性を発揮するダイヤモンド被覆工具を提供する。
【解決手段】ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットで構成された工具基体表面に、粗粒結晶層Ｃ、含非晶質炭素層Ａ、微粒結晶層Ｂおよび含非晶質炭素層Ａからなる交互積層単位構造が複数周期繰り返されることにより２．５〜３０μｍの膜厚のダイヤモンド皮膜が被覆され、さらに、該ダイヤモンド皮膜について、基体表面の法線に対して、ダイヤモンド皮膜中の結晶粒の（１０１）面の法線がなす傾斜角を測定し、傾斜角度数分布グラフを作成した場合、０〜２０度の範囲内の傾斜角区分に存在する度数の合計が、全度数の３０％以上の割合を占めるようなダイヤモンド被覆工具。 （もっと読む）

【課題】快削鋼等の切削工具として好適な、耐熱性、耐久性に優れる耐摩耗性工具部材を提供する。
【解決手段】工具基体上に、工具基体表面側から順に、ＴｉＮ硬質膜、Ａｌ含有ダイヤモンドライクカーボン膜およびＡｌ_２Ｏ_３膜を形成した耐摩耗性工具部材において、Ａｌ含有ダイヤモンドライクカーボン膜におけるＡｌ含有割合は、５〜３０原子％であって、望ましくは、Ａｌ含有ダイヤモンドライクカーボン膜が、ＴｉＮ硬質膜との界面部分では５〜１５原子％、Ａｌ_２Ｏ_３膜との界面部分では２０〜３０原子％のＡｌを含有し、さらに、該Ａｌ含有ダイヤモンドライクカーボン膜中におけるＡｌ含有割合は、ＴｉＮ硬質膜側からＡｌ_２Ｏ_３膜側へ向かうにしたがって次第に増加する傾斜組成を有する。 （もっと読む）

【課題】単結晶ダイヤモンド工具を用いて乾式で鏡面仕上げ等の高精度加工を行う際に一層優れた加工精度が得られるようにする。
【解決手段】ボデー１２の外周面に放熱用溝として複数の環状溝３０が設けられているため、切削加工の際に切れ刃２４、２６やすくい面２２等に生じる発熱によるボデー１２の温度上昇、更にはその温度上昇に伴うボデー１２の熱膨張が抑制される。これにより、乾式で鏡面仕上げ等の高精度加工を行う場合でも、ボデー１２の熱膨張に起因する単結晶ダイヤモンド１４の切れ刃２４、２６の位置変化、すなわち軸方向の先端側への変位が抑制されて、一層優れた加工精度が得られるようになる。 （もっと読む）

【課題】炭素膜の基材に対する剥離強度が高められ、剥離を防止できる炭素膜被覆部材、炭素膜の形成方法及びＣＭＰパッドコンディショナーを提供する。
【解決手段】基材と、前記基材の表面１Ａを被覆する炭素膜とを有する炭素膜被覆部材であって、前記表面１Ａには、連続する曲線状の溝１１が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】初期切削抵抗が小さく、すぐれた耐摩耗性を発揮するダイヤモンド被覆工具を提供する。
【解決手段】 ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットからなる工具基体表面にダイヤモンド皮膜が被覆されたダイヤモンド被覆工具であって、上記ダイヤモンド皮膜は、平均結晶粒径０．２〜１．５μｍの配向ダイヤモンド結晶粒が、無配向ダイヤモンド結晶粒のマトリックス中に平均面積割合で３０〜８０面積％分散分布する膜構造を有し、かつ、ダイヤモンド皮膜の厚さ方向に沿ってみた場合、表面側に向かうほど、配向ダイヤモンド結晶粒の結晶粒径及び面積割合は小さな値となり、さらに、前記ダイヤモンド皮膜の結晶粒の（１１０）面または（１１１）面の少なくともいずれかの面は、基体表面の法線に対する傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在し、かつ、０〜１０度の範囲内に存在する度数合計は、度数全体の３０〜６０％の割合を占める。 （もっと読む）

【課題】ノジュールの発生を抑制し、品質が安定して確保される炭素膜、炭素膜の製造方法及びＣＭＰパッドコンディショナーを提供する。
【解決手段】基材１を被覆する炭素膜２であって、平均粒径が２００ｎｍを超えるダイヤモンド粒子からなる第１炭素膜１１と、平均粒径が２００ｎｍ以下のダイヤモンド粒子又はＤＬＣからなる第２炭素膜１２と、を備え、前記第１、第２炭素膜１１、１２が、前記基材１側からこの順に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）