【課題】ワークステージに油が混入することのない環境に優しい基板の表面平坦化装置を提供する。
【解決手段】ベース上に設けられたツールテーブル用セラミック製スライド（Ｓ_ａ）をリニアモータ駆動により左右方向に直動駆動する静圧水軸受セラミック製スライドウエイ（Ｓ_ａ）とし、工具を軸承するスピンドルを静圧水軸受構造およびリニアモータで上下方向に移動可能な構造とし、ワークを保持するセラミック製ロータリーテーブルホルダー（Ｈ）を静圧水軸受およびリニアモータで回転駆動する構造とし、ベース上にツールテーブル（Ｔ_ｔ）に対してワークホルダーテーブル（Ｔ_ｗ）を搭載するセラミック製スライドウエイ（Ｓ_ｂ）をＬ字型に配置した基板の平坦化装置。 （もっと読む）

【課題】砥石のドレッシングが終了した後、砥石をドレッシング位置から研削位置まで移動させる距離を小さくする。
【解決手段】研削盤は、円筒状ワークＷの内外両面を研削する砥石13と、砥石13を研削位置とこれよりも奥側のドレッシング位置の間で移動させる移動手段と、ドレッシング位置で砥石の外周面をドレッシングするドレッサ14とを備えている。ドレッシング位置は、内面研削用ドレッシング位置Ｄ１およびこれよりも奥側の外面研削用ドレッシング位置Ｄ２よりなる。ドレッサ14は、内面研削用ドレッシング工具21および外面研削用ドレッシング工具22と、両ドレッシング工具21、22をそれぞれの先端が反対方向に向けるように保持するホルダ23と、進入時のホルダ23の内面研削用ドレッシング工具21の先端が手前側に向けられるとともに、外面研削用ドレッシング工具22の先端が奥側に向けられるよう内面研削用ドレッシング位置Ｄ1および外面研削用ドレッシング位置Ｄ２間に対しホルダを進退させる進退手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】上定盤をバランス良く支持することが可能であると共に昇降駆動性にも優れた平面研磨装置を得る。
【解決手段】上定盤１を研磨位置と非研磨位置との間で昇降駆動する昇降装置８が、同期的に動作する３つの昇降用駆動機構部８Ａと、これらの昇降用駆動機構部８Ａと上定盤１とを連結する連結機構部８Ｂとを有していて、上記昇降用駆動機構部８Ａが、機体の上記上定盤１を取り囲む位置に１２０度間隔で並列に配設され、また、上記連結機構部８Ｂが、上定盤１を支持する支持部１１から放射方向に１２０度間隔で延出して上記昇降用駆動機構部８Ａに連結された３本の連結アーム１２を有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、研削装置，切削装置等の加工装置に関し、加工点に発生する加工力による加工点の位置の変動を解消することを目的とする。
【解決手段】 被加工物を加工する加工工具を備えた加工手段と、前記被加工物を保持する保持手段と、前記保持手段を前記加工工具側に移動する送り手段と、前記送り手段を前記被加工物側に押圧する押圧手段とを有し、前記押圧手段の押圧位置及び前記被加工物の加工点を結ぶ方向と前記押圧手段の押圧方向がほぼ同じであることを特徴とする。 （もっと読む）