【課題】半導体ウェハのダイシングを効率良く、確実にする。
【解決手段】半導体ウェハ２は、裏面にダイアタッチ材２５が貼り付けられた状態でダイシングシート２７に取り付けられる。ダイシングブレード４は、第１の砥粒３１を有し、半導体ウェハ２をダイアタッチ材２５と共に切削する。切削時には、冷却水と共に第２の砥粒３２が半導体ウェハ２及びダイシングブレード４に供給される。第２の砥粒３２は、第１の砥粒３１より粒径が大きく、ダイシングブレード４に張り付いたダイアタッチ材２５Ａを取り除く。 （もっと読む）

【課題】コアビットを備えた穿孔装置を用いてコンクリート等の被削材へ穿孔する際、コアビット内に吸引する外気によりコアビット刃先部の空冷と切り粉の排出を行う内部集塵方式の穿孔方法において、穿孔速度が低下したときの研磨材の供給を穿孔装置の構造に変更を加えることなく行う。
【解決手段】可撓性を有する樹脂製のボトル状容器２２と、ストロー状のノズル２４よりなり、容器２２を一握りすると、容器内の研磨材がノズル２４より吐出されるポンプ器具２１を用い、穿孔速度が低下したとき容器２２を一握りしてコアビット外側から穿孔溝に向けて供給する。 （もっと読む）

【課題】支柱に昇降可能に支持されるコアビットと、送りモータで構成され、コアビットを支柱に沿って送る送り装置を備えたコアドリルを用いて被削材へ穿孔する方法において、切れ味が低下したときに、研磨剤を必要量コアビット内に自動的に供給する方法を提供する。
【解決手段】検出手段４６が送りモータ２８の回転数を検出し、該検出値がしきい値を超えて低下したとき制御装置４５が研磨剤を入れた容器３７の電磁弁３８を開き、容器内の研磨剤をコアビット内に供給する。制御装置４５はタイマー４９を備え、設定時間経過すると、電磁弁３８が閉じ、研磨剤の供給が停止される。 （もっと読む）

【課題】結合砥粒を含むとともに、平坦なワークピースの同時両面処理のための研削装置の上側および下側加工板の相互に面する側上に適用される２つの加工層を、少なくとも１つのトリミング装置によってトリミングするための方法およびトリミング装置を提供する。
【解決手段】トリミング体８は、トリミング板９上にて、規定された幅を有する輪形の領域内に配され、トリミング板９の外歯部１０は、トリミング板９に対して高さ調節可能であり、研削装置のすべての駆動部の回転方向が、トリミングまたは目立ての間に少なくとも２回変更され、２つの加工層の以前に測定した形状プロファイルに依って、下側および上側加工層からの材料除去が互いから独立して変動され得る。 （もっと読む）

【解決手段】研磨定盤上に修正用砥石保持用孔部を有する定盤修正用キャリアーを配設し、前記キャリアーの孔部に修正用砥石を保持して、研磨定盤及びキャリアーをそれぞれ回転させると共に、前記研磨定盤に遊離砥粒を供給して前記研磨定盤を修正研磨する研磨装置において、前記キャリアーの孔部に配設される修正用砥石形状が、円形の中心部角度で１８０°〜９０°の扇紙形である定盤修正用砥石。
【効果】本発明によれば、研磨ワークを、実際に遊離砥粒を用いて研磨する際、定盤表面に存在する開放された粒状黒鉛穴に十分に砥粒が保持され、その保持力増加により安定した研磨力が得られ、尚且つ微細定盤面が研磨ワークに転写され、表面粗さが良い被加工物を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】均一に効率良く目直しができるよう遊離砥粒を用いた砥石の目直し方法及びその方法に使用する砥石の目直し装置並びにその装置に使用する砥石の目直しユニットを提供すること。
【解決手段】砥石の目直し装置付研削装置Ａとして、回転砥石４０と、回転砥石４０に接触して表面研削を行う工作物Ｗの保持手段と、回転砥石４０に圧接する砥石スティック５０と、砥石スティック５０の圧接調整を行う調整手段６０と、回転砥石４０と砥石スティック５０との圧接部分Ｙに目直し液８０を供給する目直し液供給手段７０と、該圧接部分Ｙの近傍に配設し目直し作業の終わった遊離砥粒８５を回転砥石４０と工作物Ｗとの接触部分領域Ｑ外に排出するための排出手段９０と、排出手段９０により排出した目直し作業終了後の目直し液８０を回収して目直し液供給手段７０に循環供給すべく構成した目直し液回収循環手段１０とより構成する。 （もっと読む）

【課題】種々の形状のダイヤモンド砥石のドレッシングが可能で、ドレッシング効果が安定し、ダイヤモンド砥石の寿命が向上するダイヤモンド砥石のドレッシング方法を提供する。
【解決手段】本ダイヤモンド砥石のドレッシング方法は、磁性粒子と硬度の高い研磨粒子とが一体化した磁気砥粒を磁性流体に混ぜて調製した磁気研磨液に磁界を与えて、磁気研磨液中の磁気砥粒を磁気研磨液の流れと同一方向に磁気研磨液の流速と同じ速度で移動させ、ダイヤモンド砥石の表面に流すとともに、ダイヤモンド砥石の砥石結合剤の磨耗を促し、ダイヤモンド砥石の加工能力を再生させる。 （もっと読む）

【課題】乾式工法によって深穴を穿孔する場合に、穿孔によるコアビットの発熱を低減し、穿孔速度を維持して深穴の穿孔を可能にする研削材及びそれを用いた穿孔工法を提供する。
【解決手段】軸線回りに回転駆動させられる筒状シャンクの先端にダイヤモンドチップ３１が固着されてなるコアビット１１の先端と、この先端が押し当てられて穿孔される被削材２０との間に供給され、ダイヤモンドチップ３１の目立てを行う研削材５１として、ダイヤモンドチップ３１の目立てを行う砥粒に、超微粉の無水シリカと含水樹脂とが添加されたものを用いた。 （もっと読む）

【課題】乾式工法によって深穴を穿孔する場合に、穿孔によるコアビットの発熱を低減し、穿孔速度を維持して深穴の穿孔を可能にする研削材及びそれを用いた穿孔工法を提供する。
【解決手段】軸線回りに回転駆動させられる筒状シャンクの先端にダイヤモンドチップ３１が固着されてなるコアビット１１の先端と、この先端が押し当てられて穿孔される被削材２０との間に供給され、ダイヤモンドチップ３１の目立てを行う研削材５１として、ダイヤモンドチップ３１の目立てを行う砥粒に、超微粉の無水シリカと含水樹脂とが添加されたものを用いた。 （もっと読む）

【課題】 ダミーウエハ等を使用することなく、研磨面の状態を研磨に最適な状態に調整して研磨処理を再開できるようにして、ダミーウエハ等にかかるコストを削減できるようにする。
【解決手段】 研磨休止時に待機運転を行い、待機運転終了後に、研磨面に研磨液を供給しながら該研磨面をドレッシングする研磨準備処理を行い、研磨準備処理終了後に被研磨物に対する研磨処理を開始する。待機運転終了後に研磨準備処理を行うか否かを、待機運転の延べ運転時間または延べ実効回数を基に決定してもよい。 （もっと読む）