【課題】濾過材料の局部的なスラッジの堆積を防止すること。
【解決手段】冷却媒体を循環させる循環経路に設けられ、冷却媒体を貯留させるコンベアタンク（濾過槽）２２と、前記コンベアタンク２２内にて前記冷却媒体に混在するスラッジを取り除く濾過材料２３とを有する冷却媒体濾過装置において、前記コンベアタンク２２に貯留される冷却媒体に浸された状態で冷却媒体を排出する排出部５０が、異なる複数方向に向けて排出口５０ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】ワークの研削動作が停止された後に、回転砥石の水切り動作及びクーラント供給装置による洗浄用のクーラントの供給を設定時間だけ自動的に適正に行い、研削作業能率を向上することができる研削盤を提供する。
【解決手段】回転砥石２１によるワークの研削加工が終了した後に、回転砥石２１を予め設定された第１の設定時間ｈ１だけ空回転させて、回転砥石２１に含浸されているクーラントを遠心力によって外部に飛散させる。この回転砥石２１が空回転を開始した後、クーラント供給装置を洗浄状態にして第２の設定時間ｈ２だけ継続して運転し、クーラント循環経路に残留している研削屑の洗浄分離を行った後、自動的にクーラント供給処理装置の洗浄運転を停止する。 （もっと読む）

【課題】固定砥粒を研削パッドとして使用する研削工程において、クーラントを循環させて研削屑をフィルタで除去する場合であっても、フィルタの交換を低減し、低コスト化を図ることを目的の一とする。
【解決手段】固定砥粒が貼付された定盤を有する研削装置を用いてガラス基板の表面を研削する際に、クーラントタンク内に貯留されたクーラントを研削装置に対して循環させてガラススラッジを除去する工程を有する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、クーラントタンクと研削装置の流路間にフィルタを設け、フィルタを介してクーラントタンクから研削装置にクーラントを供給することによりクーラント中に含まれるガラススラッジを濾過し、所定の期間毎にフィルタに対してクーラントの循環方向と逆方向にエアーを流すことにより、フィルタに滞留したガラススラッジを剥離してクーラントタンクに溜める。 （もっと読む）

【課題】金属異物を除去することによりガラス基板の傷の発生を低減できるガラス基板の加工装置、ガラス基板の製造方法、その方法により製造された磁気ディスク用ガラス基板またはフォトマスク用ガラス基板、及び繰り返しガラス基板を加工する方法を提供する。
【解決手段】上定盤と下定盤との間に保持したガラス基板をスラリーまたはクーラントを供給しながら加工するガラス基板の加工装置であって、スラリーまたはクーラントが循環する循環経路中に剥離可能な被覆材で被覆された磁石を備える。 （もっと読む）

【課題】微小な磁性粒子や、被処理流体との比重の差が小さい磁性粒子などの被処理流体からの除去効率を向上させる。
【解決手段】工作機械１０１から排出されたダーティ液は、ダーティタンク１０２を介してダスト分離用タンク１０３へと導かれ、比較的大きな磁性粒子がマグネットプレート等に吸着され、または自重で速やかに沈殿して除去され、残りの磁性粒子を含む被処理流体がサイクロン供給用貯留タンク１０９を介してサイクロン式分離除去装置１に導かれ、遠心力により比較的小さな磁性粒子が分離される。さらに、より小さな磁性粒子は、磁性粒子除去装置５０によって除去される。 （もっと読む）

【課題】構成の簡素化、装置の小型化を図る。
【解決手段】タンク８２に貯留されている静圧兼冷却油８３は、静圧用ポンプ９１により、第１及び第２のスライド部１０１，１０３へ静圧油として、また、ワーク冷却用ポンプ９２により、ワークの加工部分へ冷却用油として、さらに、スピンドル冷却用ポンプ９３により、砥石スピンドル２１〜２３の被冷却部分に、それぞれ供給される一方、ベッド１を伝わって油回収皿８１に回収されて、第１乃至第３のフィルタ８５〜８７により濾過されて、第１及び第２のタンク圧送用ポンプ８８，８９によりタンク８２に圧送され、貯留されて、循環的に用いられるようになっている。 （もっと読む）

【課題】使用後のドラムに残存するスラリー量を最少化するスラリー供給方法及びその装置を提供する。
【解決手段】
１）使用中のスラリー供給タンク内のスラリーを、スラリー循環用ポンプにより循環ラインを介してユースポイトに供給、循環する通常工程と、
２）使用中のスラリー供給タンク内の液量が移送開始レベルになった段階で切替バルブを切り替え、使用中のスラリー供給タンク内のスラリーを、スラリー循環用ポンプにより循環ラインを介してユースポイトに供給、循環するとともに、使用中のスラリー供給タンク内に残存するスラリーの略全量を待機中のスラリー供給タンクに移送する移送工程と
を繰り返して行うことにより、使用中のスラリー供給タンクに残っているスラリーを待機中のスラリー供給タンクへ移送するスラリー供給方法及びその装置にある。 （もっと読む）

【課題】与圧気体をワークや砥石に吹き付けてスラッジの除去に有効利用する。
【解決手段】蓋２６で密閉された密閉タンク２７に貯留された加工液２８を、空圧源１７から与圧気体導入管１９および与圧気体導入弁１８を介して導入される与圧気体で加圧し、加工液吐出管２５、加工液吐出弁２４を介して排気先端部２３ｂから加工部１２に供給し、加工機本体１０Ａの加工部１２の下部に配置された桶１６で回収して、給液配管２１および給液弁２０を介して密閉タンク２７に還流させる。桶１６から密閉タンク２７に加工液２８を還流させる際に密閉タンク２７を大気開放して減圧する排気管２３は、排気先端部２３ｂを通じて密閉タンク２７の内部の与圧気体をワークや砥石に吹き付る。 （もっと読む）

【課題】使用済み研削液の処理能力を向上させ、異物回収率を高めて、加工機に供給される研削液の清浄度を好適に維持することが可能な研削液供給装置を提供する。
【解決手段】磁気ディスク用ガラス基板製造における研削工程に使用する加工機への研削液供給装置であって、加工機１Ａ〜１Ｄへ供給する研削液を収容する貯留タンク２と、該貯留タンク２内の研削液を加工機へ供給する供給経路２２Ａ〜２２Ｄと、加工機から使用済の研削液を排出する排出経路１５Ａ〜１５Ｄと、該排出経路から排出される研削液を溜める回収タンク５Ａ〜５Ｄと、該回収タンク内の研削液を遠心分離機３，４へ導入する導入経路１７，１９と、該導入経路から導入される研削液中に混入している異物を除去する遠心分離機３，４と、該異物除去手段によって異物が除去された研削液を貯留タンク２内へ戻す回収経路２０，２１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、シリコンインゴット加工による排水から再利用可能なろ過水を得て、さらに、ろ過における濃縮水側からはシリコンスラッジを効率良く回収することができる処理装置を提供する。
【解決手段】シリコンインゴット加工により排出されるシリコン微粒子を含む排水をろ過する中空糸型のろ過手段３と、ろ過手段３の濃縮水を収容する濃縮水槽４と、濃縮水をシリコン微粒子と脱離水とに分離する遠心分離手段５と、遠心分離手段から排出される脱離水を濃縮水槽４に循環させる循環手段６と、を有するシリコン含有排水の処理装置１。 （もっと読む）