処理操作；運輸 | 研削；研磨 | 研削または研磨するための機械，装置，または方法；研削面のドレッシングまたは正常化；研削剤，研磨剤，またはラッピング剤の供給 | 研削，研磨またはラッピング剤の供給，適用，分級または再生のための装置

流体状，噴霧状，粉状，または液体研削，研磨またはラップ剤を供給するもの
固体状研削，研磨またはラップ剤を供給するもの

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【課題】発泡性の高いクーラント等の処理液を使用した場合でも、比較的小さな比重のスラッジをも確実に除去し、処理液の浄化を適切に行える処理液浄化装置を提供する。
【解決手段】スラッジを含む浄化対象の処理液を受入れて、浄化対象の処理液よりスラッジ成分の多い第１処理液と、浄化対象の処理液よりスラッジ成分の少ない第２処理液とに遠心分離する遠心分離器１０と、第１処理液を受け入れる受入タンク２０と、受入タンク２０の処理液の液面上にある泡Ｂ１を処理液とともに混合吸引する吸引手段３２と、吸引手段３２より吐出される吐出処理液を受入れ、吐出処理液を濾過する濾過手段４０とを備え、濾過手段４０において濾過された処理液を濾過後処理液として得る。

【課題】本発明は、効果的に不純物を除去したシリコン屑を回収することができるシリコン含有廃液処理方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリコン含有廃液処理方法は、水溶性クーラントを供給しながらシリコン塊を機械加工することにより排出される廃液から再生クーラントと再生シリコン塊を得るためのシリコン含有廃液処理方法であって、前記廃液または前記廃液の濃縮分を蒸留することによって前記再生クーラントとシリコン回収用固形分とに分離する工程と、前記シリコン回収用固形分を洗浄液中に分散させ洗浄した後、前記シリコン回収用固形分と液分とに固液分離する工程と、前記シリコン回収用固形分を塩基性水溶液中に分散させ洗浄する工程と、前記塩基性水溶液と前記シリコン回収用固形分とを固液分離することなく、前記塩基性水溶液に酸性水溶液を添加することにより、酸性水溶液中で前記シリコン回収用固形分を洗浄する工程とを順次含むことを特徴とする。

【課題】廃棄する砥粒の量を低減するとともに、研磨処理の質を向上できるようにする。
【解決手段】新品砥粒群の切断処理による粒度分布変化を低減するための粒度分布を有する追加用砥粒群を用意し、切断処理に使用した砥粒群に、追加用砥粒群を所定量加えて混合し（ステップＳ４）、混合した砥粒群について砥粒の大きさが第１砥粒径以上かつ第２砥粒径以下となるよう分級処理を行うようにする（ステップＳ５）。これにより、混合された砥粒群の粒度分布を新品砥粒群の粒度分布又はそれに近い粒度分布にすることができ、これにより、混合した砥粒群を用いて、新品の砥粒群と同様な質の研磨処理を施すことができ、従来に比して研磨処理の質を向上することができる。

【課題】磁性粒子の除去効率を向上させる。
【解決手段】
被処理流体の流路底壁２０１の下方には、マグネット２１３を有するヨーク２１２が、エアシリンダ２２１によって矢印Ａ、Ｂ方向に移動可能に設けられている。マグネット２１３と流路底壁２０１との間には、開口部２１４ａを有する磁気シールド板２１４が設けられている。ヨーク２１２がＡ方向に移動したときには、マグネット２１３が磁気シールド板２１４の開口部２１４ａに臨み、流路底壁２０１付近の被処理流体中の磁性粒子ｊが流路底壁２０１の近傍に集約される。ヨーク２１２がＢ方向に移動したときには、マグネット２１３の磁力は磁気シールド板２１４により遮断されて、磁気吸引力が解除され、流路底壁２０１の近傍に集約された磁性粒子ｊは排出される。

【課題】ガラス材料の研磨工程において酸化セリウム研磨材を効率的に再使用できるようにする。
【解決手段】酸化セリウム研磨材の廃スラリーに強アルカリ溶液を添加するステップ；廃スラリーにフッ化ナトリウムを添加するステップ；及び廃スラリーに含まれた酸化セリウム粒子を他の粒子と分離するステップを含む酸化セリウム研磨材のリサイクル方法。

【課題】メンテナンス性を向上させるクーラント浄化装置を提供する。
【解決手段】磁性分離装置２０、渦流槽４０及びクリーン槽５０を有するクーラント浄化装置において、加工母機２と磁性分離装置２０との間に、混入物を沈殿させる第１の沈殿槽１０を設け、磁性分離装置２０と渦流槽４０との間に、混入物を沈殿させる第２の沈殿槽３０を設けた。

【課題】メンテナンス性、浄化効率を向上させると共に設置面積を小さくしたクーラント浄化装置を提供する。
【解決手段】磁性分離装置２０、渦流槽４０及びクリーン槽５０を有するクーラント浄化装置において、渦流槽４０の上部にクリーン槽５０を独立して設け、渦流槽４０の渦流の外周側に渦流槽４０のクーラントを汲み上げて、クリーン槽５０に流入させる汲上用ポンプ４１を設けた。

【課題】研磨される基板が載置される研磨ステージから流下する砥液または洗浄液を回収する側溝内で、これらの液が滞留してしまうことが防止される基板研磨装置を提供すること。
【解決手段】研磨される基板Ｗが載置される研磨ステージ３から流下する砥液または洗浄液を回収する側溝１０内に、その側溝１０の下流側に向けて流体を噴出するノズル２０が設けられることにより、側溝１０内の液をノズル２０から噴出される流体の圧力によって押し流すことができ、側溝１０に傾斜が全くないか、傾斜があってもその傾斜が十分に急ではなく砥液や洗浄液が流れにくい場合でも、側溝１０内の砥液や洗浄液の流れをスムーズにしてこれらを十分に回収することが可能となる。

【課題】本発明は、研磨用固液回収分離装置に関し、切り屑の含有率を下げるために分散液を廃棄していたために当該分散液の回収率が低下してコストが嵩んでいること、また、一次分離及び二次分離の負荷低減によってコストダウンを図ることが課題であって、それを解決することである。
【解決手段】ウエハ切断に使用される研磨用固液回収分離装置であって、ワイヤソー１のワイヤに吹き付けられたスラリーを集めてリサイクル装置に移送させる途中に、切り屑の混入が少ないスラリー２と切り屑の混入が多いスラリー３とに分けるスラリー分別装置１４が設けられ、前記スラリー分別装置１４で分けられた切り屑の混入が少ないスラリー２はタンクに戻され繰り替えし使用され、前記スラリー分別装置で分けられた切り屑の混入が多いスラリー３は分離装置に送られ固形物と液体成分とに分けてからリサイクル装置に移送される研磨用固液回収分離装置とするものである。

【課題】溶液や廃液中のＳｉＣやＳｉを排水汚濁なく回収可能し、研削材、砥粒、研磨材として利用可能な炭化珪素を製造する。
【解決手段】ＳｉＣ微粒子及び／又はＳｉ微粒子を少なくとも含む溶液又は廃液を、炭素粉及び酸化珪素粉を少なくとも含む分離助材を用いて固液分離して固体分を得るステップと、この固体分を必要に応じて炭素粉及び／又は酸化珪素粉を含む添加剤と混合するステップと、炭化珪素を得るために、この固体分又は添加剤と混合された固体分を、非酸化性雰囲気で１８５０℃を超えて２４００℃未満に加熱反応させるステップとを少なくとも含んでなる炭化珪素の製造方法を提供する。

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