【課題】ウェーハの研磨時に欠陥の原因となる粗大粒子が従来に比べて大幅に低減された、また、これによりウェーハの研磨時において、ウェーハ表面のナノオーダーの欠陥を低減できる研磨スラリーの供給方法及び供給装置、並びに研磨装置を提供することを目的とする。
【解決手段】スラリー原液と純水とを混合した研磨スラリーを研磨装置に供給する供給方法であって、計量された前記スラリー原液に対して前記純水を単位時間当たりに所定量加えるように制御しながら前記スラリー原液と前記純水とを混合する工程と、該混合された研磨スラリーを前記研磨装置に供給する工程とを含むことを特徴とする研磨スラリーの供給方法。 （もっと読む）

【課題】砥石と遊離砥粒とを用いて研削を行うことにより、加工レートと良好な面粗さとを共に得ようとする技術が提案されている。しかし、従来の砥石は砥粒とボンド材とが硬く結合しているため、供給された遊離砥粒を十分に保持することができず、供給される遊離砥粒を加工レートと良好な面粗さの向上に活かすことができなかった。
【解決手段】微粒金属体と、前記微粒金属体の表面に突き刺さって配置される高硬度の微粒石と、微粒石が突き刺さった微粒金属体を分散状態で形状維持するための樹脂とからなる砥石などを提供する。 （もっと読む）

【課題】カップ形砥石の砥粒面と被加工物の摺接部である加工点へ研削液を効率よく供給し、加工点に給液された研削液を周辺に飛散させずに回収することができる給液構造を提供する。
【解決手段】カップ形砥石２０の全周を覆うように筒状のカバー３０が設けられ、カップ形砥石２０の台金２１には、中央壁部２２のスピンドル１０側の面に設けた受液部２５から中央壁部２２を貫通し、周壁２３の内側に開口した複数の給液穴２６が形成され、カバー３０は、台金２１の周壁２３及び砥粒層２４の外周を小間隙Ｓを介して取り囲む円筒状周壁３１を有し、カップ形砥石２０の回転により研削液を小間隙Ｓ内を通してカバーの内側方向に移動させるポンプ手段２７，３２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】切込み末期のみならず切込み初期における切断面のうねり成分をも低減し、結果として切断終了後のウェーハの表面のうねり成分を十分に低減することが可能なワイヤーソー装置を提供する。
【解決手段】本発明のワイヤーソー装置１０のワーク保持機構１８は、スライス台２２と、ワークプレート２４と、ワークプレート保持部２６と、を有する。ワークプレート２４は、本体部２８の側面からワイヤー延在方向Ｚの両側に突出し、両側それぞれに開口部３２Ａ，３２Ｂを有する一対の突出プレート３０Ａ，３０Ｂを有し、突出プレート３０Ａ，３０Ｂの両外側のうち、少なくともノズル２０が位置する側に溝部材３４Ａ，３４Ｂを有し、ワイヤー群１６からワークプレート保持部２６に向けて舞い上がるスラリーを、開口部３２Ａ，３２Ｂを通過させて３４Ａ，３４Ｂ溝部材で捕集可能としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】研磨布のドレッシング状態の変化によって生じる研磨速度の変化による研磨代のばらつきを抑制し、仕上がり厚さを高精度に制御できるシリコンウェーハの研磨方法及び研磨装置を提供する。
【解決手段】所定の研磨代となるように研磨時間を設定し、タンク内に貯蔵された研磨剤を研磨布に供給しながらシリコンウェーハを研磨布に摺接させて設定した研磨時間で研磨し、供給した研磨剤を前記タンク内に回収して循環させながらシリコンウェーハの研磨をバッチ式に繰り返すシリコンウェーハの研磨方法において、研磨布をドレッシングした後のバッチ回数の増加に伴って変化する研磨速度を予めデータベースに記録しておく工程と、所定の研磨代となるように研磨時間を設定する際に、データベースに記録された研磨布をドレッシングした後のバッチ回数の増加に伴って変化する研磨速度に基づいて研磨時間を設定する工程とを有するシリコンウェーハの研磨方法。 （もっと読む）

【課題】特に大きなサイズの基板を研磨する際、スラリー流量を減らすことなく、中央付近の研磨量を確保し背厚を低減して正常な研磨を行うとともに、スラリーの循環を良くすることで、研磨した基板の成分が基板の被研磨面に再付着することを抑制する。
【解決手段】一辺の長さが１０００ｍｍ以上の板状体を保持する板状体保持手段と、前記板状体保持手段に保持された前記板状体に対向して設置された研磨パッドと、を有し、前記研磨パッドは、前記板状体の対向面に形成され、前記研磨パッドと前記板状体との当接部にスラリーを供給する複数のスラリー供給孔と、前記板状体の対向面の中央部のみに形成され、前記当接部に供給された前記スラリーを吸引するスラリー吸引孔と、が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】切削油等の循環液体の濾過能力および冷却能力を高め、大型の機械類、あるいは複数の機械類における切削油等の循環液体の濾過および温度制御を可能にする。もしくは、同程度の濾過能力を得ながら、単位濾過部材面積あたりの設置面積を小さくして小型化を図る。
【解決手段】切削油循環装置１（循環液体濾過装置）は、切削油３（循環液体）が貯留される濾過タンク６と、濾過タンク６に切削油３が流入する流入部８と、濾過タンク６から切削油３が流出する流出部９と、濾過タンク６の内部空間を上下に区画し、その上方の空間を流入部８に繋がるダーティーサイドＤＳ、下方の空間を流出部９に繋がるクリーンサイドＣＳとするロールシート状の濾過部材１１と、濾過部材１１を濾過タンク６の水平方向一端側から送り出し、濾過タンク６の内部を上下に蛇行させながら通過させ、濾過タンク６の水平方向他端側で回収する濾過部材送給機構１２とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で製造コストを低減することができる加工液ノズルを提供する。
【解決手段】ワイヤソーの加工部の上方に加工液ノズル１４をワイヤの配列方向に沿って延長配置して、その加工液ノズル１４からワイヤ上に加工液を供給する。加工液ノズル１４には、加工液供給部に連結され、下部に自身の延長方向に沿って供給口２０ａを設けた供給管２０と、その供給管２０内を上部室２０Ａと下部室２０Ｂとに区画するように供給管２０内に設けられ、自身の延長方向に沿って複数の透孔２２ａを配列した区画板２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】研磨不良の発生を抑制した研磨装置を提供する。
【解決手段】この研磨装置は、下記のようなスラリー配管３００と、純水供給部３２０と、を備えている。スラリー配管３００は、鉛直下向きに延伸した出口部３０２と、出口部３０２から鉛直上向きに延伸した先で、鉛直下向きに屈曲する第１屈曲部３０４と、第１屈曲部３０４から鉛直下向きに延伸した先で、少なくとも水平よりも高い方向に屈曲する第２屈曲部３０６と、を備えている。また、純水供給部３２０は、スラリー配管３００の外部から、出口部３０２に向けて純水を供給する。 （もっと読む）