【課題】被加工物に対して、砥石を交換することなく、低コストで黒皮研削から仕上研削まで実行することができる研削装置及び研削方法を提供する。
【解決手段】被加工物を載置する支持板と、該支持板と略平行な面にて回転することが可能な砥石が配置された回転体とを備える。回転体の主軸回転数を下げた状態で黒皮研削を実行し、黒皮研削が完了したか否かを負荷電流値の変動に基づいて検出し、黒皮研削が完了した時点で回転体の主軸回転数を上げる。 （もっと読む）

【課題】本発明はグラインダおよびこれを利用した研磨方法を提供する。
【解決手段】本発明の第１の実施形態にかかるグラインダは、研磨面を形成する研磨部および前記研磨部を回転させるために前記研磨部と連結されたシャフトを含む。また、前記研磨部はリペア剤と研磨剤を混合した混合物およびポリウレタンを含み、前記シャフトの回転軸に垂直な面と前記研磨面とがなす角度αは、１°≦α≦７°を満たす。 （もっと読む）

【課題】静音特性に優れ研削時の騒音を抑制することができる、安価な回転研削工具の提供。
【解決手段】金属円盤２の表面の少なくとも一部に、２０個／ｃｍ²以上の面密度となるようにモース硬度９を超える硬質粒子８を蝋付け接合してなる研削面９を有し、前記金属円盤を支えるホルダーは、その中心部に回転駆動装置の回転軸に取付ける取付部を有し、前記金属円盤と前記ホルダーとを結合してなる静音特性に優れた回転研削工具。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＰ法の研磨加工に用いられる研磨体（ＬＨＡパッド）であって、内部に有する気孔により被研磨物に対し適度な圧縮弾性を発揮する研磨体を提供する。
【解決手段】研磨体１０は、研磨粒子１４を内包した複数の連通気孔１６と、その連通気孔１６と母材樹脂１２とによって相互に隔てられ一の断面における断面積がその連通気孔１６よりも大きい複数の大型気孔１１とを、母材樹脂１２中に備えるものであるので、大型気孔１１により被研磨体に対し適度な圧縮弾性を発揮することができ、そのため、上記大型気孔１１を備えず硬度の高い従来のＬＨＡパッドと比較して、研磨加工の際に、被研磨体における未研磨箇所の発生やスクラッチ発生等を低減することが可能である。 （もっと読む）

【課題】安価に製造可能であり且つ信頼性の高いＣＭＰコンディショナ、およびそのコンディショナの製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂製のＣＭＰコンディショナボデー上に金属めっき層から成るダイヤモンド砥粒が配置固着された電解めっき基板を接着し、金属めっき層の外周端部には前記ボデーの側面部に沿った所定の高さの環状のリブ部が設けられている。コンディショナボデーと砥粒層とはそれぞれ別々に製作された後、一体に張り合わされる。 （もっと読む）

【課題】振動並びに騒音を一様に低減することが出来、かつ軽量化も図ることが出来、しかも鉄材を研削したとき火花の発生を抑えることが出来る画期的な研削工具を提供する。
【解決手段】表面に砥粒が固着された円盤状の台金１の裏面に、台金とは異なる材料からなりかつ比重が台金の比重の１／２以下とされた低弾性振動減衰材２が接着または焼付けによって取り付けられている。台金は直径と厚みとの比率が１００以上とされている。また、台金の表面には、所定領域に砥粒を固着された複数の砥粒群３が互いに０．２〜１０ｍｍの間隔をあけて配置されている。 （もっと読む）

【課題】研磨パッドの被研削面へのスクラッチを防止することで安定したＣＭＰ加工を実施することができるＣＭＰパッドコンディショナーを提供する。
【解決手段】ＣＭＰパッドコンディショナー１は、台金２１に砥粒２２ａがボンド層２２ｂによって固着されることで砥粒層２２が形成され、砥粒層２２上に保護層２３が形成されたコンディショナーディスク２を備えている。この保護層２３は、フッ素を含有したダイヤモンドライクカーボンで形成されたフッ素ＤＬＣコート層であり、砥粒２２ａ上の層厚（Ｔ₁）が１．０μｍ以下に形成され、ボンド層２２ｂ上の層厚（Ｔ₂）が３．０μｍ以上５．０μｍ以下に形成されている。 （もっと読む）

本発明は、平坦なワークピースの両面研削加工のための装置に関し、これは上方および下方の加工ディスクを有し、これらはそれぞれ研削層を有する加工面を有し、加工面が相互の間に加工間隙を形成し、この中でワークピースが研削されることが可能であり、加工ディスクの少なくとも１つが駆動機構により回転可能に駆動されことができ、さらにワークピースを加工間隙内で案内するための装置を有している。本発明に係り、加工ディスクの少なくとも１つにバリ取り手段が配置され、これが装置内におけるワークピースの加工時にワークピースのバリ取りを行うよう設計されている。 （もっと読む）

【課題】超硬合金をも研削可能な研削工具を提供することを課題とする。
【解決手段】多結晶焼結ダイヤ層１３の前面には、放電加工により、多数個の島１４が残るように溝１６が彫られている。島１４には、研削エリアを明確にする長い島１４Ａと、大多数の円柱状の島１４Ｂとからなる。
【効果】島の材質は多結晶焼結ダイヤである。ダイヤであるから超硬合金も研削可能となる。加えて、島は溝で囲まれており、発生した微細な切粉は溝を介して排出される。切粉の排出が極めて円滑に行われるため、研削面は綺麗になる。さらに、研削部と研削面との間に摩擦熱が発生するが、この熱は溝を通じて逃がされるため、研削部の温度上昇を抑えることができ、研削部の寿命を飛躍的に延ばすことができる。したがって、難しいとされてきた超硬合金を効率よく研削することができる研削工具を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】被研磨物を高精度且つ高速で研磨できる研磨具及び研磨装置を提供する。
【解決手段】 研磨装置１０は、上側表面に研磨対象物１１を支持する支持テーブル１２、支持テーブル１２の上方に、支持テーブル１２に対して垂直に配置された回転軸１３ａ、そして回転軸１３ａの下端部に支持テーブル１２と平行に接続されている、電源１４に電気的に接続する環状超音波振動子２７ａ、２７ｂ、２７ｃを固定した砥石保持部材２８と、砥石保持部材２８の周縁部の下端に備えられた環状の砥石２９とを含む研磨具３３などから構成されている。この研磨装置は、砥石保持部材２８の外周部の溝３０ａと内周部の溝３０ｂがあり、その溝３０ａと３０ｂはほぼ等しい深さＴ１、Ｔ２を持つ。溝の無い部分Ｓの中心を振動の節円３２とする溝３０ａ、３０ｂから下部の径方向の振動をさせることに特徴がある。 （もっと読む）