【課題】 溝付きロール間に巻き回されたスライス用ワイヤの張力を、巻き回し全体において均等化することのできるマルチワイヤソー装置を提供する。
【解決手段】 スライス用ワイヤ４の溝付きロール１、２への巻き回しの中から、所定のターン数のグループ１５、１６を引き出し、これを外部ロール７、８に張架する。外部ロール７、８をエアシリンダ９、１０により変位させることによって、外部ロール７、８に張架されたグループ１５、１６のスライス用ワイヤ４の張力を調整し、この張力調整によって溝付きロール１、２間を走行するスライス用ワイヤ４の張力を均等化させる。 （もっと読む）

【課題】面方位＜１１１＞方向を結晶成長方向として製造した半導体結晶を、面方位（１１１）面より角度を持たせた面で、多数枚のウエハにワイヤで切断する際に、ワイヤの横振れを最小限に抑え、切断精度が良いマルチワイヤソーによる切断方法を提供する。
【解決手段】予め製造した半導体結晶を面方位（１１１）面より角度を持たせた面と平行な面またはそれに近い面で複数個の結晶ブロックに分割切断し、該複数個の分割切断結晶ブロックを前記多数のワイヤの走行方向に短くなるようにずらして載置あるいは貼り合わせることにある。 （もっと読む）

【課題】 耐久性および加工精度に優れたワイヤーソー用多溝ローラの提供
【解決手段】ワイヤーが装入される複数の溝を表面に有し、少なくとも該溝の部分がセラミックスによって形成されている多溝ローラであって、上記溝が、溝に装入されたワイヤーを両側の溝面によって挟み込んで支える形状を有することを特徴とするワイヤーソー用多溝ローラ。 （もっと読む）

【課題】 ワークとワイヤとの間に砥液を十分に入り込ませることにより、切断成形されるウエハの精度の向上を図れるマルチワイヤソーによる切断方法を提供する。
【解決手段】 溝ローラ１間に張設された多条ワイヤ列３を一方向または往復方向に走行させ、被切断物７を、砥液４を供給しつつ、上記ワイヤ列３に押し付けて切断するマルチワイヤソーにおいて、被切断物７を所定量Ｌ１切断する毎に、切断方向とは逆の方向に上記所定量Ｌ１より少量Ｌ２だけ戻し、再度切断方向に押し付けることを繰り返すものである。 （もっと読む）

【課題】 ワイヤーソー用多溝ローラーの軸部の損傷を防止して耐用期間の延長を図ると共に、多溝ローラーの偏心による加工ワイヤーのぶれや振動を解消し加工精度を向上する。
【解決手段】 多溝ローラーの主体をセラミックスで形成し、ワイヤーソーの軸受部に装着する軸部の表面に、金属スリーブを焼きバメまたは圧入により取り付けたワイヤーソー用多溝ローラーとする。 （もっと読む）

【課題】超砥粒がワイヤーに強固に固着して脱落することがなく、太さが一定で高い切断精度が得られるワイヤーソー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ワイヤーの表面が軟質メッキ層により被覆され、軟質メッキ層がさらに硬質メッキ層により被覆され、両メッキ層により超砥粒が固着されたワイヤーソーであって、超砥粒の内端が軟質メッキ層内にあり、超砥粒の外端が硬質メッキ層外に露出して同一の円筒面上にあることを特徴とするワイヤーソー、及び、ワイヤーの表面に軟質金属をメッキして軟質メッキ層を形成し、次いで超砥粒を電気メッキにより一層分仮固定し、さらに硬質金属を電気メッキして超砥粒を固着する方法であって、ワイヤーソーを超硬質材ダイスを通過させ、超砥粒の外端位置を揃えることを特徴とするワイヤーソーの製造方法。 （もっと読む）

【目的】 シリコンインゴット、ガラス等のワークを切断するワイヤソー切断装置において、切断後の残留加工歪が少なく、高品質の製品が安定的に得られる。
【構成】 本発明は、ワイヤの芯線を従来のピアノ線等の鋼線よりも軟質で適度の靭性と伸びを有する材料にて構成すれば効果的であることに着目してなされたものであり、その特徴とする点はワイヤソー用ワイヤの芯線をポリエチレン、ナイロン、ポリエステル等からなる素材、もしくはこれらの素材をガラス繊維、炭素繊維で補強された材料とし、該芯線の外周に砥粒を固着して構成されることにある。 （もっと読む）

【目的】ワイヤーを走行させたままでワイヤー磨耗量を連続的に検知し、ワイヤーの断線事故を防止すると共に、作業能率を向上させる。
【構成】ワイヤー１４のワイヤー走行系路のうちワイヤー１４のみの電気抵抗を有する２点間に一対の導体ローラ１８を配設し、電源装置４２から導体ローラを介してワイヤー１４の前記２点間に電流を流し、２点間の電流値をワイヤー１４に磨耗がない時点から連続的に電流計４４で測定し、測定した電流値の下降量からワイヤー１４の磨耗度を検知するようにした。即ち、ワイヤー１４が磨耗して細くなったワイヤー１４は、磨耗のないワイヤーの断面積よりも小さくなるので電気抵抗が大きくなる。これにより、磨耗したワイヤー１４は、磨耗のないワイヤーの電流値に対してワイヤー磨耗量に応じて電流値が下降してくるという電気的特性を用いてワイヤー磨耗度を検知するようにした。 （もっと読む）