【課題】パターンを担持したブランケット等の担持体を基板に対して位置合せを行う（アライメント）時および担持体の中央部を基板に加圧当接する（転写）時に、担持体保持手段上での担持体の移動を防止してパターン転写を良好に行うことができるパターン転写装置を提供する。
【解決手段】押さえ部材７１に対して各ピストン７２４の先端部が遊嵌されており、水平面内で移動自在となっており、押さえ部材７１はブランケットＢＬの周縁部を押さえ付けたまま、下ステージ部５とともに移動してアライメント工程中にブランケットＢＬが吸着ステージ５１上で移動するのを確実に防止する。また、ブランケットＢＬの中央部を浮上させている際にも、押さえ部材７１は、アライメント工程が完了した時点での位置決め状態のままブランケットＢＬの周縁部を押さえ付ける。 （もっと読む）

【課題】パターンを担持したブランケット等の担持体と基板を互いに密着させた後、両者を互いに離間させることで剥離して担持体上のパターンを基板に転写するパターン転写技術において、担持体と基板との剥離を良好に行う。
【解決手段】剥離工程を開始する前あるいは剥離開始と同時に、吸着プレート５１で複数の開口のうち開口形成エリアＯＦＡ内で有効パターンエリアＥＰＡを取り囲むエリア、つまり非パターンエリアＮＰＡに位置する開口Ｐ（＋ｎ）、Ｐ（−ｎ）への負圧供給を開始する。これによって、開口Ｐ（＋ｎ）、Ｐ（−ｎ））に対向するブランケット部分が担持体保持面５１ａに吸着保持され、剥離時においてブランケットＢＬを担持体保持面５１ａに保持する力、つまり保持力が増大する。 （もっと読む）

【課題】ブランケット等の担持体に担持される塗布層を版でパターニングすることで形成されるパターン層を基板に転写する印刷装置において版および基板をそれぞれ異なる移動体により搬送する際に両移動体の相互干渉を簡易な構成で防止することを目的とする。
【解決手段】搬送装置２を、版受取位置ＸＰ２１と版保持位置ＸＰ２３との間で版を支持しながら移動可能な版用往復移動体２５Ｌと、基板受取位置ＸＰ２５と基板保持位置ＸＰ２３との間で基板を支持しながら移動可能な基板用往復移動体２５Ｒと、両移動体２５Ｌ，２５Ｒを一体的に移動させる駆動機構２２とを備えて構成する。駆動機構２２は、両移動体２５Ｌ，２５Ｒを第１方向に移動させてそれぞれを版受取位置ＸＰ２１および基板保持位置ＸＰ２３に位置決めし、両移動体２５Ｌ，２５Ｒを第１方向と反対の第２方向に移動させてそれぞれを版保持位置ＸＰ２３および基板受取位置ＸＰ２５に位置決めする。 （もっと読む）

【課題】担持体上に形成されたパターンと基板とを対向させた状態で担持体を基板に加圧当接させた後に、基板と担持体とを離間させることで剥離し、パターンを基板に転写するパターン転写装置において、基板と担持体との剥離時にも基板を安定的に吸着保持する。
【解決手段】基板ＳＢの被吸着領域を吸着保持可能な開口３７１が形成された吸着プレート３７と、基板ＳＢの被吸着領域よりも狭い複数の局所領域をそれぞれ吸着保持可能な複数の局所吸着部３８と、を備え、基板ＳＢと担持体ＢＬとの当接時には、少なくとも開口３７１に負圧を供給することにより吸着プレート３７に基板ＳＢを吸着保持させ、基板ＳＢと担持体ＢＬとの剥離時には、開口３７１に負圧を供給せずに、複数の局所吸着部３８に負圧を供給して基板ＳＢを吸着保持させる。 （もっと読む）

【課題】薄膜の抵抗値を必要以上に高くすることなく、従来よりも微細化および高歩留り化を実現することが可能な金属薄膜の形成方法を提供する。
【解決手段】触媒材料を含むインク２Ａが転写された基板４０に対し、無電解めっき処理を施す。基板４０上のうちのインク２Ａの転写領域に対し、金属薄膜４２が選択的に形成される。また、平板ブランケット１を用いてインク２を転写させると共に、転写工程において加圧圧縮により接触を行う。位置合わせが容易となると共に接触の際の圧力が全体として均一化され、金属薄膜４２を形成する際の歩留りが向上する。また、インク２中に、金属薄膜４２の材料自体ではなく、無電解めっき処理の触媒材料が含まれるようにする。従来と比べ、金属薄膜４２の抵抗値が低くなると共に、パターンの微細化が容易となる。 （もっと読む）

【課題】高精度にかつ高い再現性で印刷することが可能な印刷装置を提供する。
【解決手段】印刷装置１Ａは、印刷版または基板である平板Ａが載置されるステージ１２ａ，１２ｂと、シート状のブランケット１４を保持する可撓性のブランケット保持板１３と、ブランケット保持板１３の一端部１３ａを移動不能に支持する固定支持部１５と、ブランケット保持板１３の他端部１３ｂを移動可能に支持する単純支持部１６と、ブランケット保持板１３を押圧することでブランケット１４を平板Ａに接触させるエアバルーン１８と、単純支持部１６によるブランケット保持板１３の他端部１３ｂの支持位置を可変に調節することで平板Ａに対してブランケット１４を順次接触させて接触端の位置を可変に調節する接触端位置調節部と、接触端における平板Ａとブランケット１４との接触圧が略一定となるようにエアバルーン１８の内圧を調節する接触圧調節部とを備える。 （もっと読む）

【課題】電子部品等を作成するための高寸法精度の印刷画像を得る印刷法を提供する。
【解決手段】オフセット印刷機においてブランケット５を平板６に貼着し平状に保持、背後に加圧機を設け印刷版２又は基板４に基準端面から順次圧着し順次剥離する構造とする。 （もっと読む）

【課題】印刷ロールの表面に付着されたブランケットの変形を最小化できる液晶表示素子の製造用印刷装置及びこれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】レール６００と；前記レール６００上に位置した印刷板５００及び基板１００と；前記印刷板５００を経由して前記基板１００にパターンを転写する印刷ロール３００と；前記印刷ロール３００にパターン物質２００を転写するためのコーティングロール３５０と；前記コーティングロール３５０にパターン物質２００を塗布するための印刷ノズル８００と；を含んで印刷装置を構成する。 （もっと読む）

本発明は、ａ）平板にコーティング物を塗布するステップと、ｂ）前記平板に塗布されたコーティング物を、突出部と溝部とから構成された凹凸を有する基板の前記突出部に接触させることによって、前記平板のコーティング物のうち、前記基板の突出部に接触する部分を、前記平板から前記基板の突出部に転写するステップと、ｃ）前記平板に残ったコーティング物または前記基板の突出部のコーティング物を、被印刷体の被印刷面に接触させ、前記被印刷体に転写するステップとを含む、コーティング物のパターニング方法を提供する。この方法は工程が簡単で、コーティング物、好ましくは電子素材のような機能性物質を、高精密および高速度で均一に微細パターニングすることができる。
（もっと読む）