【課題】移動装置は駆動ユニットにより移動方向に移動可能である少なくとも１つの第１要素を有し、第１要素は少なくとも１つの第１磁性部を有する。移動装置は第２要素を更に有し、第２要素に関連して、第１要素は、第２要素から距離を置いた少なくとも１つの作動位置から第２要素の近傍の静止位置に移動可能である。
【解決手段】第２要素は少なくとも１つの第２磁性部を有し、第２磁性部は、第１磁性部の着磁方向に対して逆の着磁方向に着磁される。その着磁方向は、移動方向に対して横断する方向に、そしてまた静止位置において互いに対向して位置付けられた第１要素及び第２要素の面に対して横断する方向に広がっている。 （もっと読む）

【課題】高められた処理量を有し、必要な場合には改善された位置決め精度を有する搬送装置を提供する。
【解決手段】１次側部分（Ｐ）と、駆動目的のためにそれぞれ１次側部分（Ｐ）に磁気的に結合されている少なくとも第１および第２の２次側部分（Ｓ１，Ｓ２）と、２次側部分の駆動制御のための制御装置とを備えた搬送装置において、この制御装置によって、第１の２次側部分（Ｓ１）の駆動が１次側部分（Ｐ）の第１の範囲（Ｐ１）において第１の制御規則にしたがって制御可能であり、第２の２次側部分（Ｓ２）の駆動が１次側部分（Ｐ）の第２の範囲（Ｐ２）において第１とは異なる第２の制御規則にしたがって制御可能である。更に、第１の範囲（Ｐ１）を第２の範囲（Ｐ２）から分離する境界（ＧＲ）が制御装置によって動的に可変である。更に、それに相応した駆動方法が提供される。範囲（Ｐ１，Ｐ２）の動的な変化によって、２次側部分（Ｓ１，Ｓ２）間の間隔が短縮され、それにより処理量が高められる。 （もっと読む）

【課題】長期にわたって高い搬送精度を維持することができる搬送装置を提供すること。
【解決手段】リニアモータ５により支持台４に推力が作用した場合に、支持台４に取り付けられたスライダ７２はガイド軸７１に沿ってスライドする。したがって、支持台４の移動が安定するので、支持台４による高い搬送精度が実現される。また磁力印加ユニット６において、互いに対向するように設けられた永久磁石６１２と永久磁石６２２との間に鉛直方向に沿った磁気反発力が発生する。支持台４は可動側磁石部６２を介して、磁力印加ユニット６からの磁気反発力を鉛直方向上向きに受ける。この結果、リニアモータガイド７に作用する支持台４の自重に相当する負荷が軽減される。これにより、リニアモータガイド７が有する、ガイド軸７1又はスライダ７２のへたりや損耗等が抑えられ、長期にわたって高い搬送精度を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】専用の磁気浮上機構を必要とすることなく、可動体の浮上及び搬送を実現することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る搬送装置１００は、支持台４（可動体）と、真空室１（搬送室）と、リニアモータ５を構成する固定子５１（第１のコア）及び可動子５２（第２のコア）と、リニアモータガイド７（補助支持部）とを具備する。真空室１は、支持台４を収容し支持台４の上方に位置する壁部１１４ｂ、１１５ｂを有する。固定子５１は、支持台４と鉛直方向に対向するように壁部１１４ｂ、１１５ｂに固定されている。可動子５２は、固定子５１と鉛直方向に対向するように支持台４に固定され、固定子５１との間での磁気的相互作用により支持台４を水平方向に移動させる力と支持台４を重力に抗して吸引する力とを発生させる。 （もっと読む）

【課題】静電浮上モータを用いた真空搬送装置において、大きな静電吸引力を得ることができ、高重量物を搬送可能な真空搬送装置を提供する。
【解決手段】移載装置５を支持台３の下面側に支持することによって支持台３の上面全体を真空雰囲気中に露出させることが可能になり、これに伴い真空室１の天板部１７ａの内面に、支持台３の上面全体に対応して平板電極７を配置することが可能になる。これにより、電極面積を広くとることが可能となり、従来の典型的な真空搬送装置に比較して、大きな静電吸引力を得ることができ、高重量物を搬送可能な真空搬送装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】粒子が滞留する特異点が生じないようにして、粒子を高効率のもとで輸送できるようにした粒子輸送装置を構成する。
【解決手段】４相の電圧Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４の組み合わせを（Ｓ１）→（Ｓ２）→（Ｓ３）→（Ｓ４）の順に繰り返すと線状電極への印加電圧パターンが循環置換によって互いに一致し、また、印加電圧の組み合わせを（Ｗ４１）→（Ｗ１２）→（Ｗ２３）→（Ｗ３４）の順に繰り返すと線状電極への印加電圧パターンが循環置換によって互いに一致するが、この２種類の印加電圧の組み合わせ（Ｓ１），（Ｓ２），（Ｓ３），（Ｓ４）と、（Ｗ４１），（Ｗ１２），（Ｗ２３），（Ｗ３４）とが交互に現れるように駆動電圧を生成する。これにより、任意の２時刻における線状電極への印加電圧パターンが循環置換によっても必ずしも一致せず、粒子が滞留する特異点が生じることなく、粒子を高効率のもとで輸送できるようになる。 （もっと読む）

【課題】粒子が滞留する特異点が生じないようにして、粒子を高効率のもとで輸送できるようにした粒子輸送装置を構成する。
【解決手段】基板に形成された線状電極に対する印加電圧のパターンを時間経過に伴って周期的且つ断続的に切り替える。例えば６相の正弦波交流電圧をタイミングｕ＝１〜１５の繰り返しのうち、ｕ＝５，１０，１５のタイミングで幾つかの相の電圧を他の相の電圧に切り替える。これにより線状電極の配列空間上で粒子が滞留する特異点が生じることなく、粒子を高効率のもとで輸送できるようになる。 （もっと読む）

【課題】
コイル部材の発熱がリニアガイドに与える影響を排除し、かかるリニアガイドによって支承されたテーブルプレートの移動精度及び位置決め精度を十分に確保することが可能なリニアモータテーブルを提供する。
【解決手段】
第一のプレートと、この第一のプレートに対して往復運動自在に配置される第二のプレートと、前記第一のプレート上に間隔をおいて平行に配設された一対の軌道部材と、これら軌道部材の配設間隔よりも大きな間隔で前記第二のプレートに配設されると共に、多数の転動体を介して前記軌道部材の側面に組みつけられた一乃至複数組の移動部材と、前記第一のプレートに搭載されたマグネット部材と、前記第二のプレートに搭載されると共に前記マグネット部材と対向してリニアモータを構成するコイル部材とから構成した。 （もっと読む）

【課題】物品を浮上させ、非接触で高速搬送をさせ、且つ物品の位置や向きや左右方向の位置を容易に制御する。
【解決手段】非磁性体の物品に磁性体をアセンブルし、浮上ユニット６をアセンブルした物品の搬送路に沿って複数設けて物品を浮上させる。また物品にアセンブルされた導電層に、搬送路３に同ピッチに配設されたコイルを通電制御して次回を変化させ、この磁界を加えることにより、アセンブルした物品に推進力を加えて、搬送路に沿って高速搬送する。 （もっと読む）

【課題】搬送路に沿って、物品を載置したトレイを浮上させて非接触で高速搬送し、またトレイの向きや左右方向の位置を容易に制御する。
【解決手段】物品を非磁性体の金属からなるトレイに載置し、物品を載置するトレイをリニアモータの２次側として、搬送路に沿って配置した１次側のコイルから推進力を加え、浮上ユニットでトレイを浮上させて搬送する。搬送路に沿って設けられた複数の浮上ユニットのコイルによりトレイに磁界を加えて、搬送路に沿った推進力を加えて非接触で高速搬送する。 （もっと読む）