【課題】 複数のチャンバを備える半導体製造装置で各チャンバ間でのキャリア受渡しを円滑に行い、高速連続搬送を行える磁気搬送装置を提供する。
【解決手段】 隔離可能でかつゲートバルブ１１でつながる３つのチャンバ２Ａ〜２Ｃに付設され、チャンバ内をキャリア１３を搬送する。搬送路ではチャンバの間で渡り部分が形成される。チャンバに対応してキャリアを移動させる駆動軸３２Ａ〜３２Ｃと動力伝達部４２と駆動装置４１Ａ〜４１Ｃを備える。駆動軸はＮ極螺旋部３３ａとＳ極螺旋部３３ｂからなる螺旋状磁気結合部３３を有する。各チャンバに設けた駆動軸の配置間隔（ｄ）が、螺旋状磁気結合部におけるＮ極螺旋部とＳ極螺旋部の間隔（ｐ）の２倍の自然数倍になるように設定される。この関係で±１．５ｍｍのずれが許容される。各チャンバの駆動装置の動作を同期させて制御する制御装置１００が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 固定電極と被搬送体の位置関係を逆転させ、何かの原因でトラブルが発生し被搬送体の浮上力を失っても、被搬送体が電極の上に落下するだけで被搬送体にはできるだけダメージを与えないようにするとともに、非接触浮上と保持力を利用し、これを一つのユニットとすることにより、搬送機構に組み込むことが可能になり、柔軟な空気浮上式静電気拘束アクチュエータを提供する。
【解決手段】 空気供給装置９と、この空気供給装置９に接続される空気排出穴４が配置されるとともに、吸引用固定電極３と位置保持（位置復元）用電極５が形成されるベース２と、固定電極３，５に接続される第１の高圧電源７，第２の高圧電源８と、ベース２の上方にセットされる被搬送体１とを備え、空気排出穴４より排出される空気により、被搬送体１を浮上させ、固定電極３，５に高圧電源７，８より高圧電圧を供給し、被搬送体１を常にベース２の上部に非接触で維持する。 （もっと読む）

【課題】 上り勾配及び下り勾配を有する傾斜を設けた搬送路であっても、とどこおることなく飲食物容器を搬送させることができる飲食物容器の搬送装置を提供する。
【解決手段】 エンドレスに走る循環コンベアと、該循環コンベアに等間隔に軸着された上下方向に回動可能な複数個の連結アームと、各連結アーム毎に循環コンベアの搬送方向とは反対方向に向かって上下方向に回動可能に設けられた第一磁性体と、循環コンベアに沿ってエンドレスに配設された平滑面を有する搬送路と、該搬送路面上を走る第二磁性体が内蔵された偏平台座とからなり、第一磁性体と第二磁性体との間で発生する磁力により第一磁性体が循環コンベア及び連結アームに対して上下方向に回動されて第二磁性体に引き寄せられた状態にて前記偏平台座を循環コンベアの搬送に従って搬送路面上を走行させる。 （もっと読む）

【課題】 高温超伝導体を超伝導臨界温度以下の温度まで冷却しなくても移動させられる移動子と磁気浮上搬送装置を提供する。
【解決手段】 低温槽１１内に移動可能に設けられたキャリア１２から移動子２に設けられた搬送用磁石１８₁、１８₂に磁力を及ぼし、移動子２を磁気浮上させてキャリア１２を移動させる前に、その移動軸線方向の誤差を修正する際、移動子２に設けた転動手段４によって低温槽上をころがり移動させて誤差を検出する。高温超伝導体を超伝導臨界温度以下の温度まで冷却しなくても済む。その場合、移動子２のころがり移動を低温槽１１の長手方向に制限する制限機構を設けておけば、低温槽１１上から落下する危険がなくなって都合がよい。 （もっと読む）

【目的】 駆動用電極と浮上用電極とを一体化することにより、電極の有効面積を最大限に利用し、機械の性能の向上を図るとともに、被搬送体をそのままの状態で無接触搬送を可能にする。
【構成】 所定のピッチを有する複数のストリップ状電極が形成される電極ユニット１２ａ，１２ｂを、絶縁基板上に分離帯１１を挟んで２組配置するとともに、浮上兼駆動用電極プレート１０と、これに対向する被搬送体２０と、電極と被搬送体とのギャップを検出する変位センサ３０ａ〜３０ｅ，３１ａ〜３１ｅと、電極への印加電圧を制御する制御器４０と、制御電圧を増幅する高電圧アンプ５０と、電極への電圧を印加し、シーケンス制御を行う駆動ユニット６０とで構成し、ストリップ状電極への電圧の印加により、被搬送体２０を浮上させて駆動し、予定される位置に至ると電極への電圧の遮断により離脱させる。 （もっと読む）

【目的】 搬送システムの規模が大きくなってもセンサのコストを増大させたり、センサの調整や保守にかかる時間を増大させることがなく、更に搬送車の迷走や誤走を抑制する。
【構成】 予め設定区分けされた制御ゾーン毎にリニア位置センサスケール50が設けられていると共に搬送車７に上記スケール50を検出するリニア位置センサスケール検出器51とこの検出器51からの情報を基に搬送車７の位置や速度を演算する位置・速度演算器52とこの演算器52の演算結果をリニアモータコントローラ26にインターフェース53とが設けられている。更に、リニアモータコントローラ26には搬送車７のインターフェース53から送信された信号を受信するインターフェース54が設けられている。 （もっと読む）

【目的】高速且つ安定な部材の搬送を可能とする部材搬送装置を提供する。
【構成】固定子１に相対して直線移動する移動テーブル２上に取り付けられた、部材を保持する保持手段７１〜７８を周方向に複数個配設し、外部コントローラから無線回線を介して受信した制御信号に基づいて上記移動テーブル２の移動、上記部材の保持動作を行うことにより、リードワイヤを不要とし、構成を簡略化するとともに、移動範囲を拡張している。 （もっと読む）

【構成】 走行レール10に案内されかつ上部に仕分け用コンベヤ60を設けた走行台車１の本体40は、走行方向視でＣ型状でかつ鋳物製同形状のフレーム41を走行方向に複数有し、フレーム41は、側部間を二次導体45により連結しかつ走行レール10に案内される複数のローラ49,50,53,54 を有し、走行レール10の一側面に、二次導体45に対向自在なリニアモータ30を取付けた。
【効果】 走行台車の主体となる本体は、鋳造により統一化、共通化して簡単かつ大量生産で製作できるフレームと、走行に利用される二次導体を兼用することで、走行台車を簡素にして安価に得られる。走行は、回転部分がなく非接触のリニアモータ方式で行うことから、騒音、振動、故障が生ぜず、保守管理を容易に行える。リニアモータによる駆動源を分散して配置できる。 （もっと読む）