【課題】シリコン単結晶中にＳｉＯガスの気泡が取り込まれることによるピンホールの発生を防止することが可能な石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボ１０は、多数の気泡を含む不透明石英ガラス層からなる外層１１と、実質的に気泡を含まない透明石英ガラス層からなる内層１２とを備えている。ルツボの内表面のうち底部の中心から一定範囲内には高濡れ性領域１２ｂが設けられており、高濡れ性領域１２ｂは、内表面から深さ１ｍｍまでの領域に含まれる金属不純物の各元素の濃度がいずれも５ｐｐｍ以上３０ｐｐｍ以下であり、ＯＨ基の濃度が３０ｐｐｍ以上５００ｐｐｍ以下であり、表面の算術平均粗さが０．１μｍ以上１０μｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、石英ルツボ形状の適正化を図ることにより、石英ルツボの座屈及び胴部のルツボ内部への倒れ込みを有効に抑制できる単結晶引上げ用ルツボ及び単結晶引上げ方法を提供することにある。
【解決手段】石英ルツボ２０及び該石英ルツボ２０の外側を覆う黒鉛ルツボ３０の二重構造からなるシリコン単結晶引上げ用ルツボ１０であって、前記石英ルツボ２０は、その開口端部２０ａに、石英ルツボ２０の胴部２０ｂに対し、石英ルツボ２０の径方向外側（矢印Ｘ）への力を付勢するための内倒れ防止手段２１を設けることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】径小薄肉化により切断除去を余儀なくされる部分を減少して、原料コストを低減することができる石英ルツボ製造用モールドを提供する。
【解決手段】回転しているモールド１内壁に石英粉を張り付けた状態でアークにより加熱溶融して石英ルツボを製造する際に用いるモールド１を、石英ルツボの上部領域に対応する、モールド１の上部開口部の内側に、フック８を介して、円筒状のリム片７を掛合支持した構造とし、さらに該リム片７の外径を、該モールドの内径よりも小さく、かつ石英ルツボの内径よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】複数のガラス体を融着させることにより大質量ガラス体を作製することを可能とするＥＵＶリソグラフィ用ガラスの成型方法の提供。
【解決手段】２以上のガラス体を１０Ｔｏｒｒ以下の雰囲気で徐冷点〜軟化点のいずれかの温度に昇温し融着した後、１００Ｔｏｒｒを越える雰囲気で軟化点〜軟化点＋２５０℃にて成型することを特徴とするＥＵＶリソグラフィ用ガラスの成型方法。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶＬ用露光装置の光学系部材として使用した場合に、高ＥＵＶエネルギー光の照射時の線熱膨張係数がほぼゼロとなり、かつ超高平滑性を有するＴｉＯ₂−ＳｉＯ₂ガラスの提供。
【解決手段】ＴｉＯ₂含有量が７．５〜１２質量％であり、線熱膨張係数が０ｐｐｂ／℃となる温度が４０〜１１０℃の範囲にあり、脈理の応力レベルの標準偏差（σ）が０．０３ＭＰａ以下であることを特徴とするＴｉＯ₂を含有するシリカガラス。 （もっと読む）

【課題】径小薄肉化により切断除去を余儀なくされる部分を減少して、原料コストを低減することができる石英ルツボ製造用モールドを提供する。
【解決手段】回転しているモールド１内壁に石英粉４を張り付けた状態で加熱溶融して石英ルツボを製造する際に用いるモールド１において、石英ルツボの上部領域に対応する、モールド１の上部開口部の内側を研削して段差を設け、この段差部９に、内径がモールド１内径よりも小さいリング状の断熱性バリアー材７を、内径が断熱性バリアー材７と同じかまたは幾分大きい中空円板状の支持部材８を介して設置する。 （もっと読む）

【課題】低コスト、高寸法精度、高耐久性のシリカ容器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】（１）シリカ粒子である第一原料粉、非晶質シリカからなり平均粒径が小さい第二原料粉、主成分がシリカであり、Ａｌ元素及び／又はＯＨ基を含有するか、結晶核材を含有する第三原料粉、及び、高純度結晶質シリカである第四原料粉の準備、（２）第一及び第二原料粉を含有する基体形成用混合スラリーの作製、（３）基体形成用混合スラリーを鋳込み型枠の中に導入、（４）鋳込み型枠内の基体形成用混合スラリーを加熱脱水して基体を仮成形、（５）基体の焼成、（６）基体の内側から第三原料粉を散布して供給しながら溶融し、基体の内表面上に中間層を形成、（７）中間層が形成された基体の内側から第四原料粉を散布して供給しながら溶融し、中間層の内表面上に内側層を形成、の各工程を有し、（５）と、（６）（７）とのいずれかを先に行うシリカ容器の製造方法。 （もっと読む）

【課題】珪素反応化合物の蒸着シリカへの変換においてエネルギーロスを低減させると共にシリカ収量を高め、特に６５１ｎｍ付近の波長域におけるレーザ誘導蛍光（ＬＩＦ）が低減されるシリカガラス又は石英ガラスを提供する。
【解決手段】燃焼チャンバー中に燃料、酸化剤、及びガス状珪素化合物が含まれるガス流を生成させ、燃焼チャンバー中のターゲットのターゲット面上へＳｉＯ_２粒子を蒸着させる合成シリカガラスの製造方法において、ガス流は、燃焼チャンバーの前記前端部に配置された珪素化合物を供給するための中心ノズ、前記中心ノズルに対して同心円状に間隔を空けて配置された酸化剤を供給するための第一リング形状ノズルならびに第二リング形状ノズルから成る少なくとも３本のノズルによって生成され、第二リングギャップ面積の第一リングギャップ面積に対する比は１：４〜１：６．１の範囲内とされるように特徴化させる。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶中にＳｉＯガスの気泡が取り込まれることによる空洞欠陥の発生を防止することが可能な石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボは、外層が不透明石英ガラス層１１、内層が透明石英ガラス層１２からなる二層構造を有し、さらにルツボの底部１０Ｂには高透過率領域１０Ｘが形成されている。高透過率領域１０Ｘは、底部１０Ｂの温度上昇を抑制し、ＳｉＯガスの発生を防止する役割を果たす。高透過率領域１０Ｘの赤外線透過率は５０〜８０％であり、高透過率領域１０Ｘとそれ以外の領域との赤外線透過率の差は１０〜３０％である。高透過率領域１０Ｘは、ルツボの底部の中心から一定範囲内の領域であって、少なくともシリコン単結晶の投影面を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】現状のＡｒＦリソグラフィー用露光装置に好適なレーザー光誘起による熱収差発生を抑えた高品質のシリカガラス部材を提供する。
【解決手段】紫外線照射によって発生する熱収差を低減した紫外線光学用シリカガラス部材であって、波長２００ｎｍ以下の紫外光をシリカガラス部材中に透過させた時、シリカガラス部材内部で熱エネルギーに変換されて生じる光の減衰量が光路長１ｃｍあたり１／１０００以下であるようにした。前記紫外光がＡｒＦエキシマレーザー光であり、ＡｒＦリソグラフィー露光装置に使用される。 （もっと読む）