【課題】面粗さの小さい基板として適当なＴｉＯ_２−ＳｉＯ_２ガラスの提供。
【解決手段】屈折率の変動幅（Δｎ）が、少なくとも一つの面内における３０ｍｍ×３０ｍｍの範囲で２×１０^−４以下であること、または、ＴｉＯ_２濃度が１質量％以上であり、かつ脈理ピッチが１０μｍ以下であることを特徴とするＴｉＯ_２を含有するＳｉＯ_２ガラス。ＴｉＯ_２を含有するシリカガラスからなり、屈折率の変動幅（Δｎ）が、光の入射方向に垂直な面において２×１０^−４以下であること、または、ＴｉＯ_２濃度が１質量％以上であるＴｉＯ_２を含有するシリカガラスからなり、光の入射方向に垂直な面において、ＴｉＯ_２濃度の最大値と最小値との差が、０．０６質量％以下である特徴とするＥＵＶリソグラフィ用光学部材。 （もっと読む）

【課題】シリコン融液の湯漏れ監視及び種結晶の着液検出を行うと共に、長時間の引き上げに耐え得る石英ガラスルツボの強化並びにシリコン単結晶の不純物濃度の低減を図る方法を提供する。
【解決手段】ワイヤーの先端に取り付けられた種結晶を石英ガラスルツボ内のシリコン融液に着液させると共に、ルツボ側をマイナス極、ワイヤー側をプラス極とする電圧Ｖ１を印加しながらその電圧の変化を監視することで種結晶の着液状態を検出する工程Ｓ１３、Ｓ１４と、その後の温度調整期間Ｓ１５において、ルツボ側をプラス極、ワイヤー側をマイナス極とする電圧Ｖ２を印加することで石英ガラスルツボの内表面を失透させる工程と、温度調整期間Ｓ１５の終了後、ルツボ側をマイナス極、ワイヤー側をプラス極とする電圧Ｖ３を印加しながら種結晶を徐々に引き上げることによりシリコン単結晶を成長させる工程Ｓ１６〜Ｓ２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】シリコン原料を短時間で溶融でき、且つ、不透明石英ガラス層の経時的な変態によってシリコン単結晶の製造歩留まりを向上させることが可能な石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】 石英ガラスルツボは、外表面側に設けられた多数の気泡を含む不透明石英ガラス層１１と、内表面側に設けられた実質的に気泡を含まない透明石英ガラス層１２とを備えている。不透明石英ガラス層１１に含まれる気泡の径分布は、直径が１０〜３０μｍの直径を有する気泡が１０％以上３０％未満、４０〜９０μｍの直径を有する気泡が４０％以上８０％未満、９０μｍ以上の直径を有する気泡が１０％以上３０％未満である。不透明石英ガラス層１１中の比較的小さな気泡は引き上げ工程の初期の段階からルツボの伝熱性に寄与し、比較的大きな気泡は長時間の引き上げ工程を経ることによって膨張し、引き上げ工程の後半でルツボの保温性に大きく寄与する。 （もっと読む）

【課題】加熱成形されるシリカガラスの添加物、その含有量、形状（直径、高さ）に関係なく、一律に設定された条件でシリカガラスを容易に成形できるシリカガラスの加熱成形方法及び加熱成形装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るシリカガラスの加熱成形方法は、柱形状のシリカガラス１０を加熱炉２内で加熱し、シリカガラス１０を潰して断面積が大きくなるように加熱成形する。そして、加熱炉２内のシリカガラス１０の変形速度をモニタし、変形速度に基づいて加熱炉２内の温度を制御する。 （もっと読む）

【解決手段】シリカ原料化合物をバーナーにより形成された火炎によって気相加水分解又は酸化分解してシリカ微粒子をターゲット上に堆積・溶融ガラス化する直接法による合成石英ガラスインゴットを製造する際に、上記ターゲットを前進後退してインゴットを成長させる方法において、（ｉ）シリカ原料化合物を連続的に一定量供給しながら、（ｉｉ）成長面全体を常時上記火炎で照射したままで、（ｉｉｉ）ターゲットの前進後退を、所定時間、所定速度、所定成長速度で周期的に繰り返し、（ｉｖ）上記インゴット成長形状を一定にして、合成石英ガラスインゴットを得ることを特徴とする合成石英ガラスインゴットの製造方法。
【効果】例えば液晶表示用の大型フォトマスク用に使用される大型合成石英ガラス基板用の低脈理な合成石英ガラス部材及びこれを得るための合成石英ガラスインゴットの製造方法。 （もっと読む）

【課題】四塩化珪素の加水分解によって高純度合成シリカ粒子を生成する方法において、加水分解によって生成するゲルから効率よく塩酸を除去して高純度シリカ粒子を製造する方法を提供する。
【解決手段】四塩化珪素の加水分解によって生成したシリカと塩酸を含むゲル状物質から高純度のシリカ粒子を製造する方法において、水相溶性を有する易揮発性の有機溶媒によってゲル中の塩酸を置換させた後に該ゲルを乾燥することを特徴とする高純度シリカ粒子の製造方法、好ましくは、有機溶媒としてメタノール、エタノール、イソプロパノール、アセトンのいずれかあるいは１種以上の混合物を使用し、７０〜１５０℃で乾燥を行う製造方法。 （もっと読む）

【課題】形状自由度が高く、より高い寸法精度を有する石英発光管を提供する。
【解決手段】石英発光管２０は、石英粉体成形体を焼成して形成された２以上の形状部２１が、焼成により形成された１以上の接合部２６により接合している。このように、形状部２１が石英粉体を成形して形成され、これを焼成して形状部２１とすると共に、焼成によりこれらの形状部２１を接合部２６で接合する。このため、形状に変更を加えずに石英発光管２０を得ることが可能である。また、石英発光管は、接合部と異なる幅を有するネック部を有し、接合部とネック部との間に直線部分を含んでいるものとしてもよい。石英粉体成形体を成形するため、このような直線部分を有する形状部をより容易に形成可能である。 （もっと読む）

【課題】脱水処理を短時間で行うことにより生産性の向上と共にコスト削減を図ることができるシリカガラス材の製造方法を提供する。
【解決手段】シリカガラス材の製造方法は、真空加熱炉１１の炉心管１２内にスート法を用いて製造された多孔質ガラス母材１を収容し、炉心管１２の外側に配置したヒータ１３により多孔質ガラス母材１を加熱することで該多孔質ガラス母材１を脱水させる脱水工程を含む。そして、脱水工程における温度を、脱水処理可能な温度に一定時間保持し、その後冷却して一定時間保持し、その後再度、脱水処理可能な温度に加熱して一定時間保持する昇降温を繰り返し行う。 （もっと読む）

【課題】単結晶引き上げ時の熱膨張が少なく、高い単結晶歩留りを得ることができる石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボは、アルゴン雰囲気２０torr下において温度１５００℃で１０時間加熱する基準加熱条件下でのルツボの壁部、コーナ部及びボトム部の各部位の膨張率が何れも８％以下であり、ルツボ各部位相互の膨張率差が５.５％以下であり、ルツボ内表面から外表面までの全壁厚方向の気泡含有率が０.０５％以上〜０.４％以下であることを特徴とし、例えば、石英粉を加熱溶融して石英ガラスルツボを製造する際に、１８００℃以上で５分以上加熱してガラス化し、かつルツボ内表面から外表面までの全壁厚方向の気泡含有率を０.０５％以上〜０.４％以下に調整することによって、ルツボ各部位の熱膨張を抑制する。 （もっと読む）

【課題】熱歪みの残留を減らして、加工時に欠けやひびを発生することがない高均質な硝材を得ることができる高均質性小径硝材の加工方法を提供する。
【解決手段】高均質性小径硝材の加工方法は、９インチ以下の小径石英ガラス母材１を加熱して透明化し、その後に冷却してから研削加工により成形する。このとき、帯域溶融炉１１を用いて石英ガラス母材１を移動させながらヒータ１２により加熱し、帯域溶融炉１１のピークの温度を石英ガラス母材１がガラス構造を緩和する温度とし、仮想温度の面内分布が均一な状態となるように加熱して、その後に急速に冷却する。これにより、熱歪みの残留を減らして、加工時に欠けやひびを発生することがない高均質な小径硝材を得ることができる。 （もっと読む）