本開示は、シリカ系坩堝材料であって、焼結または焼成前に、その材料から製造された焼結または焼成坩堝に、改善された耐熱衝撃性および反復熱サイクルに耐える向上した能力を与える熱膨張安定化成分（Ｂ₂Ｏ₃およびＣａ₂ＳｉＯ₄）を選択された量含むシリカ系坩堝材料に関する。本発明を説明するための実施の形態は、その化学組成が、質量％で表して、約９１％から約９８％のＳｉＯ₂と、約１％から約８％の熱安定化成分と、約１．０％までの、ＭｇＯ、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｆｅ₂Ｏ₃、ＣａＯおよびＺｒＯ₂を含む追加の酸化物とを含む坩堝材料を提供する。 （もっと読む）

【課題】内層中の気泡ができるだけ少ない石英ルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】石英ルツボが、内部のシリカ粒子１６を介して周囲雰囲気を引き出すことができる形式のモールドキャビティにおいて製造される。シリカ粒子１６の層がモールドキャビティ内に形成され、ヘリウム、窒素、水素又はそれらの混合物を含み得るガスがモールドキャビティに導入される。シリカ粒子１６の層は、シリカ粒子１６を介して周囲雰囲気を実質的に引き出すことなく加熱される。その後、シリカ粒子１６の層の少なくとも一部がシリカ粒子１６を介して周囲雰囲気を引き出しながら溶融される。ガスがモールドキャビティ内の空気を追い出すことで、窒素酸化物及びオゾンを低減させる。 （もっと読む）

【課題】 内部に充填したシリコン融液の湯面振動を安定して抑制することができ、かつ長寿命のシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 周壁部、湾曲部および底部を有するシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボであって、該石英ガラスルツボは、前記周壁部の内面の特定領域に、複数個の微小凹部を具え、該微小凹部の下方位置に、複数個の気泡を具えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】石英ガラス製ルツボの品質評価用の試料およびその試料の作製方法とその試料を用いた品質等の評価方法およびその試料の作製装置とを提供する。
【解決手段】石英ガラス製ルツボの中心を含む方向にＵ型またはＪ型に切出した一次試料を、該一次試料の切出し方向に垂直かつ該一次試料の厚み方向に切出した二次試料に、該石英ガラス製ルツボの内壁面と外壁面を残し、これら内壁面と外壁面の間に複数の切込みを入れることにより設けた複数の短冊状部分を有する品質評価用試料を作製し、評価に用いる。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスルツボ内への異物侵入を、ルツボの実際の使用時期まで確実に回避し、汚染されない状態でのルツボの取り扱いを可能にし、多結晶シリコンやドーパント等を充填する工程において、内面が汚染されない状態での石英ガラスルツボの取り扱いを可能にし、更に、石英ガラスルツボ内にドーパント等を充填する工程を容易とする方法を提供する。
【解決手段】椀状の底部１０１、及び、底部１０１から延在し、底部１０１から離間する側に開口した周壁部１０２からなる有底円筒状の石英ガラスルツボ１を密閉するための蓋３であって、石英ガラスルツボ１の蓋３は、石英ガラスルツボ１の周壁部１０２の開口側の縁部２に着脱自在であり、かつ、ドーパントをルツボ１内に挿入するための、開閉可能な挿入部７を具える。 （もっと読む）

石英ガラスシリンダを製造するための公知の製造方法では、長軸を中心に回転する担体（炭化ケイ素から成る層（ＳｉＣ層）を有するもの）のシリンダジャケット面にＳｉＯ₂粒子を堆積させることによって、多孔質のスートチューブを製造し、これを焼結して石英ガラスシリンダにする。ここから出発して、容易に取り外すことができる一方で、またスート体にとって汚染の危険性が僅かな、破断強度の高い担体を得るため、本発明によれば、ＳｉＣ層をＳｉＯ₂粒子堆積の前に酸素含有雰囲気で、高温下で処理することによって、酸化により厚さが少なくとも０．１μｍのＳｉＯ₂保護層を生成させることが提案される。
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【課題】シリカガラスルツボの製造中に、正確なヒューム発生量の測定を可能とし、内表面の特性の低下を防止できるとともに、原料熔融状態の制御がリアルタイムで可能なシリカガラスルツボの製造装置及びシリカガラスルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】シリカ粉をモールド１０内に供給してシリカ粉層を形成し、このシリカ粉層１１をアーク放電によって加熱熔融してシリカガラスルツボ５０を製造する装置であり、シリカガラスルツボの外形を規定するモールド１０と、複数本の炭素電極１３及び電力供給手段４０を具備するアーク放電手段と、モールド１０内において発生するヒューム８０の量を検出するヒューム量測定部３０が備えられてなる。 （もっと読む）

【課題】シリコンインゴットの生産効率を向上させることができる石英るつぼおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】高純度の溶融石英ガラスの鋳塊から板状の石英ガラスを切り出す。切り出した石英ガラスを所定サイズに切断する。サイズを整えた板状の石英ガラスを酸水素混合火炎を用いた溶接によって接合して箱形状の石英るつぼを組み立てる。組み立てた石英るつぼにはフッ酸を用いた表面洗浄を施し、さらに酸水素混合火炎による表面処理を行って石英ガラス全体を透明にする。この石英るつぼを用いてシリコンを溶融させて凝固させるときに、石英るつぼの全体が透明であれば、シリコンからの熱放射はるつぼ壁面の石英ガラスによってほとんど遮られることがなくなる。その結果、シリコンの冷却速度が速くなり、シリコンインゴットの生産効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスルツボ製造時に、シリカヒュームによる石英ガラスルツボ製造装置部品の損耗を防止し、装置部品の磨耗粉、破損片に起因する石英ガラスルツボのコンタミネーションを抑制する。
【解決手段】モールド及びモールド駆動システムが設置された下部区画と、アーク電極駆動システムが設置された上部区画に石英ガラスルツボ製造装置を区分し、アーク電極が貫通可能な一以上の連通路を備えた区画部材を配し、上部区画内の気体と、下部区画内の気体の交換が抑制されるように気流を制御する。 （もっと読む）

【課題】 高寸法精度であり、内壁が実質的に気泡を含まない肉厚の透明シリカガラス層であるとともに、高温でも高い耐久性を有するシリカ容器を低コストで製造できるシリカ容器及びその製造方法、並びにそのようなシリカ容器を製造するためのシリカ粉及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 回転対称性を有し、シリカを主成分とし、少なくとも外周部分に気泡を含有する基体と、該基体の内表面上に形成された、透明シリカガラスからなる内層とを具備するシリカ容器の製造方法であって、少なくとも、前記内層を形成するための原料粉として、粒径が１０〜１０００μｍであり、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａを５０〜５０００ｗｔ．ｐｐｍの合計濃度で含有し、真空下にて１０００℃に加熱したときの水素分子の放出量が３×１０^１６〜３×１０^１９分子／ｇであるシリカ粉を準備し、該内層形成用原料粉であるシリカ粉から、前記内層を形成するシリカ容器の製造方法。 （もっと読む）