石英ガラスから円筒形の部品を製造するための公知の引き抜き方法において、石英ガラスストランド（１０）が石英ガラス塊の（９）の変形領域から引き抜き軸（１２）の方向に引き抜かれて、そこから切断長（Ｓ）を有する部分が分割される。これらの部分から円筒形の部品が製造される。形状の乱れ、特に直径変動および材料の不良品の影響を減らすように、石英ガラス部品を製造するための簡単な引き抜き方法を提供するために、分割箇所（Ｔ）で石英ガラスストランド（１０）の分割を実行し、分割により生じた石英ガラスストランド形状の乱れが、後続する分割を行なう間に製造される部品の終端領域または２個の隣接部品間に位置するように、分割箇所の変形領域（９）からの距離が設定される。

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【課題】シリカガラスを破損させずに高品質なシリカガラスを成形することができるシリカガラスの加熱成形装置および加熱成形方法を提供する。
【解決手段】シリカガラスの加熱成形装置１０は、シリカガラス１を収納するカーボン容器１１と、このシリカガラス１をカーボン容器１１内で溶融させて加熱加工させる真空加熱炉１２と、を備えている。そして、カーボン容器１１は、その内側に緩衝材１４を設置し、さらに緩衝材１４の内側に密度０．５ｇ／ｃｍ^３〜２．０ｇ／ｃｍ^３のカーボンホイル１５を内設している。 （もっと読む）

【課題】ルツボ原料粉のルツボ内面への侵入までを回避できる方途を与えることによって、石英ガラスルツボ内への異物侵入を、ルツボの実際の使用時期まで確実に回避し、汚染されない状態でのルツボの取り扱いを可能にする方法を提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボ１の開口部２に装着する栓３であって、開口部２の内周端２ａに密着する周縁取付け部４を有する栓３を、ルツボ１に装着する。また、栓３において、少なくとも内面の金属成分の付着量は0.05ng／cm^２以下である。 （もっと読む）

【課題】 大型、高寸法精度、高耐久性の、シリカを主な構成成分とするシリカ容器を、安価な比較的低品位のシリカ粉体を主原料として、投入エネルギー量を少なく、低コストで製造するためのシリカ容器の製造方法、及び、このようなシリカ容器を提供する。
【解決手段】 シリカを主な構成成分とし、回転対称性を有するシリカ容器の製造方法であって、少なくとも、シリカを主な構成成分とし、回転対称性を有するシリカ基体を形成する段階と、該シリカ基体の内側の表面上において、シリカゾルをゲル化させてシリカウェットゲル層に変化させ、該シリカウェットゲル層を乾燥させてシリカドライゲル層を形成する段階と、前記シリカドライゲル層を焼成してシリカガラス層を形成する段階とを含み、前記シリカドライゲル層を形成する段階を２回以上行うことにより、前記シリカ基体の内表面上に２層以上のシリカガラス層を形成するシリカ容器の製造方法。 （もっと読む）

【課題】保護膜に熱的衝撃や物理的衝撃が発生した場合でも保護膜の破損を防止することができ、かつ、シリコンブロックをルツボから脱型する際には、保護膜自体を容易に破損させることができるシリコン溶融ルツボを提供する。
【解決手段】耐熱性部材からなるルツボ本体１の少なくとも内表面１ａ上に保護膜２が設けられたシリコン溶融ルツボであって、保護膜２は、複数の閉気孔を有してなる多孔体で構成され、閉気孔は、保護膜２の最表面から保護膜２の厚さ方向に向かって各々離間して複数配置されており、少なくとも表面がＳｉＯ_ＸＮ_Ｙ（Ｘ＞０、Ｙ＞０）組成を有する固体粒子で構成されている。 （もっと読む）

【課題】研削なしでルツボの未溶融ないし半溶融のシリカ粉が偏在する最外層から離脱するシリカ粉を最適に制御する一方、最外層の結晶質部分を多く残し、高温における耐熱性を維持しシリコン単結晶を高歩留りで製造できるシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】回転する型内に原料粉を供給しルツボ状の原料粉体層を形成し、その内側からアーク放電加熱し溶融して平滑な内表面と不透明又は半透明な外層と、その外側に未溶融ないし半溶融のシリカ粉が偏在する最外層を有する石英ガラスルツボを製造し、その外表面に固体シリカ粉を吹付け圧０．１〜５ＭＰａで吹き付けたのち、高圧水を吹付け圧２４〜４０ＭＰａで吹き付け、次いでフッ酸水溶液処理を施こすことを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、赤外線透過性部材を直接的に、かつ間接的に加熱できエネルギー効率のよい熱処理用石英ガラス治具を提供すること。
【解決手段】赤外線透過性部材の熱処理用石英ガラス治具であって、該熱処理用石英ガラス治具が赤外線の反射率の高い白色部と黒色石英ガラスとからなることを特徴とする熱処理用石英ガラス治具。 （もっと読む）

【課題】 助燃性ガス可燃性ガス噴出ポートと小口径助燃性ガス噴出ポートがシールガス無しに隣接するマルチノズルバーナにおいて、小口径ガス噴出ポートの流速が小さい領域においても、小口径ガス噴出ポート先端に焼けが生じない多孔質ガラス母材製造用バーナ及び多孔質ガラス母材の製造方法を提供する。
【解決手段】 中心のガラス原料ガス噴出ポートの外側に可燃性ガス噴出ポートを有し、該可燃性ガス噴出ポート内に、前記ガラス原料ガス噴出ポートに対し同心円状に１列または複数列の小口径助燃性ガス噴出ポートが配設され、同一列の噴出ポートは同一の焦点距離を有し、該小口径助燃性ガス噴出ポート先端面に凹みを有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】大口径のウエハーに対応可能な大型の処理槽であっても製作が容易であり、処理槽内に蓄えられる処理薬液による水圧にも耐え、薬液の量を削減できかつ効率よく薬液を大面積のウエハー表面に流れるような構造を有する石英ガラス製ウエハー処理槽及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体ウエハーを処理薬液に浸漬処理する為に使われる石英ガラス製ウエハー処理槽であって、
上方及び前後方向に開口する半円筒形底壁及び該半円筒形底壁の相対向する一対の側端線から上方に延長する相対向する一対の側壁を設けてなる樋状部材と、
該樋状部材の前端面に設けられた前壁と、
該樋状部材の後端面に設けられた後壁と、を含む処理槽本体を有し、かつ
前記半円筒形底壁の内面半径Ｒが前記処理対象ウエハーの半径ｒを超える大きさであると共に前記側壁の高さＨが前記半円筒形底壁の内面半径Ｒよりも大であるようにした。 （もっと読む）

【課題】常温で製造した水素と液体水素を気化した低温の水素とを切り替えて、あるいは混ぜて使用した場合でも安定して石英ガラスを製造できる方法、及び装置を提供する。
【解決手段】複数のバーナに水素と酸素を供給して生成した酸水素火炎中に珪素化合物を導入し、火炎加水分解反応で生成した二酸化珪素を堆積する石英ガラスの製造方法において、常温で製造した水素と液体水素を気化した低温の水素とを切り替えて、あるいは混ぜてバーナに供給する際の水素の流量を、熱容量測定を測定原理とする第一の流量測定器と熱容量測定を測定原理としない第二の流量測定器とを直列に設置し、前記第一の流量測定器で測定される水素流量と前記第二の流量測定器で測定される水素流量との流量比Ｒを逐次求め、該流量比Ｒを前記流量制御装置に設定された水素流量に乗じて水素の流量を制御する。 （もっと読む）