【課題】研磨による平坦性に優れた窒化アルミニウム焼結体を提供する。
【解決手段】粒界強度を向上させると共に、且つ、焼結処理中に窒化アルミニウムと固溶することにより粒界相として存在しなくなるＳｉＯ_２又はＭｇＯを窒化アルミニウム粉末に微量添加し、１６００［℃］以上１７５０［℃］以下の低温で窒化アルミニウム粉末を焼結することにより、研磨による平坦性に優れた窒化アルミニウム焼結体を製造できることを知見した。 （もっと読む）

【課題】アルカリ土類元素や硼素を添加することなく高温雰囲気下における体積抵抗率を向上させる。
【解決手段】窒化アルミニウム（ＡｌＮ）粉末１００［ｇ］と酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）粉末２．０［ｇ］をそれぞれ図１に示す黒鉛坩堝１及び黒鉛坩堝２ａ，２ｂに入れた後、図１に示す坩堝３全体を温度２２００［℃］，圧力１．５［ｋｇｆ／ｃｍ２］の窒素雰囲気中に２時間保持する熱処理を行うことにより、実施例Ａ−１の窒化アルミニウム粉末を調製した。 （もっと読む）

【課題】従来と比較して加工性が高く、かつ窒化アルミニウムの優れた特性を生かすことができる窒化アルミニウム含有物の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る窒化アルミニウム含有物の製造方法は、窒素雰囲気下で、アルミニウムと窒化ホウ素を同一の容器内で加熱して前記アルミニウムを溶融することにより、窒化アルミニウムとアルミニウムを含有する塊状の窒化アルミニウム含有物を生成する工程と、前記塊状の窒化アルミニウム含有物の形状を加工する工程と、前記加工された窒化アルミニウム含有物を窒素雰囲気下で加熱処理することにより、前記窒化アルミニウム含有物が含有するアルミニウムの一部を窒化させる工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 窒化アルミニウム焼結体の粒界強度の低下を極力防ぐことにより、パーティクルの発生の少ない、すなわち発塵性の少ないサセプタを提供する
【解決手段】 本発明の窒化アルミニウム焼結体は、含有するゲルマニウムとイオウの量を一定値以下に制御する。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする窒化アルミニウム焼結体において、窒化アルミニウム焼結体中のゲルマニウムの含有量が１００ｐｐｍ以下であり、かつイオウの含有量が２００ｐｐｍ以下であることを特徴とする。前記窒化アルミニウム焼結体に、抵抗発熱体が形成されていることが好ましく、半導体加熱用部品として使用されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】０．３ｍｍ程度の薄い焼結体基板であっても表面の可視光領域での反射率が良好で、しかも、熱伝導率が高く、強度に優れた表面が黒色のセラミックス基板を得る。
【解決手段】セラミック基板の表面に厚さ６〜３４μｍのアルマイト層が設けられ、アルマイト層の空孔に黒色の顔料が注入されているセラミックス基板。本発明のセラミックス基板は少なくとも表面が黒色であって、表面における波長５００ｎｍの可視光線に対する反射率が１０％以下、熱伝導率が５０Ｗ/ｍＫ以上である。セラミック基板として窒化珪素基板を用いるとセラミックス基板の曲げ強度が５００ＭPa以上とすることができる。窒化アルミニウム基板を用いるとセラミック基板の熱伝導率が６０Ｗ/ｍＫ以上、曲げ強度が５００ＭＰａ以上とすることができる。 （もっと読む）

【課題】高熱伝導性の窒化アルミニウム焼結体を製造するに際し、焼成容器内の位置の違い、およびロット間における製品の熱伝導率にバラツキがなく、安定して高熱伝導性の窒化アルミニウム焼結体を製造できる方法を提供する。
【解決手段】 焼結助剤を含む窒化アルミニウム脱脂体または焼結体を還元雰囲気下で焼成するに際し、敷粉として、窒化ホウ素粉末層を０．２〜１．５ｇ／ｃｍ^３となるように、該脱脂体または焼結体の上下に積層させて焼成することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】微細なＴｉＮを分散粒子とするセラミックス焼成体を容易に得る製造方法を確立することを目的とする。
【解決手段】粉末α及びＴｉＮ粉末を含む混合粉末を製造する方法であって、粉末αと、還元、窒化処理することによりＴｉＮ粉末を生成する前駆体としてのＴｉＯ_２粉末とを含む原料混合物を得る工程と、Ｎ_２ガス及びＨ_２ガスの混合ガス雰囲気下、１０００〜１２００℃で原料混合物を加熱処理することにより、ＴｉＯ_２粉末をＴｉＮ粉末に還元、窒化する工程と、得られた混合粉末を焼結する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】ＡｌＮのマトリックスの優れた特性を維持した状態で、高い導電性を有する導電性セラミックスを提供すること。
【解決手段】本発明の導電性セラミックスは、ＡｌＮをマトリックス相とし、粒界相に希土類元素含有炭素化合物を含むものである。この希土類元素含有炭素化合物は粒界相の三重点を介して三次元的に網目状に連続した導電ネットワークを形成する。この導電ネットワークが粒界相の抵抗を大幅に低下させることにより、焼結体全体の電気抵抗を低下させ、導電性セラミックスの導電率を、１０^−９Ｓ／ｃｍから１０^１Ｓ／ｃｍまでの広範囲に亘り変化させる。希土類元素含有炭素化合物はマトリックス相に実質的に存在しないので、マトリックス相であるＡｌＮのハロゲン系腐食性ガス及びそのプラズマに対する耐食性や高熱伝導性や高強度を低下させることがない。 （もっと読む）

【課題】 窒化アルミニウム焼結体の粒界強度の低下を極力防ぐことにより、パーティクルの発生の少ないサセプタを提供する。
【解決手段】 本発明の窒化アルミニウム焼結体は、含有するカドミウムとリンの量を一定値以下に制御する。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする窒化アルミニウム焼結体において、窒化アルミニウム焼結体中のカドミウムの含有量が１５０ｐｐｍ以下であり、かつリンの含有量が１００ｐｐｍ以下であることを特徴とする。前記窒化アルミニウム焼結体に、抵抗発熱体が形成されていることが好ましく、半導体加熱用部品として使用されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】窒化アルミニウムグリーン体の廃材を再生して、成形性が良好で、焼結した際に反り、熱伝導性、および機械的強度のばらつきが小さく、色むらの少ない焼結体が得られる窒化アルミニウムグリーン体を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウムグリーン体の廃材と有機溶媒とを含む混合物を、５０ＭＰａ以上の圧力で高圧分散処理して再生窒化アルミニウムスラリーとし、上記再生窒化アルミニウムスラリーを少なくとも一部として含む窒化アルミニウムスラリーを用いて、窒化アルミニウムグリーン体を製造する。 （もっと読む）