【課題】、１０μｍ以上の窒化ホウ素粒子ないしは窒化ホウ素粒子を含む凝集粒子の露出を軽減させた、例えばサセプタとして好適な窒化物複合焼結体の製造方法を提供する。
【解決手段】窒化物セラミックス粉末を焼成する方法において、窒化物セラミックス粉末が媒体と窒化物セラミックス粉末との湿式混合物から媒体が除去されたものであり、媒体がハイドロフルオロカーボン及びハイドロフルオロエーテルの少なくとも一方にアルコールを２〜１０質量％含有させてなるものであることを特徴とする窒化物複合焼結体の製造方法。アルコールが、エタノール、イソプロピルアルコール及びｔ−アミルアルコールから選ばれた少なくとも１種、特にｔ−アミルアルコールであることなどが好ましい。 （もっと読む）

【課題】Ｓｉ_３Ｎ_４やＡｌＮの放電加工が可能である窒化物系複合セラミックスを提供する。
【解決手段】金属炭化物や窒化物を副成分として加えることで導電性を持たせる技術が提案されてきたが、炭化物や窒化物（Ｓｉ_３Ｎ_４またはＡｌＮ）中に１〜３５体積％の導電性セラミックスを組織中に導電性セラミックスが凝集した５μｍ以上の粗大粒がない組織の窒化物系複合セラミックス焼結体を得ることにより、半導体用保持機器、光学位置測定用反射鏡、精密部品加工用の治具、精密なプレス、打ち抜き金型、放熱部材や熱伝導部材、ヒーターや静電チャックへなどに適した窒化物複合セラッミクスの焼結体を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】耐久性が高く、ガラス吸収性の小さい安価なセッターを用いてシミの発生を防止する安価な窒化アルミニウム基板の製造方法を提供する。
【解決手段】焼結助剤を含有するグリーンシートの積層体１１を焼成して脱脂体１５を形成した後、焼結して焼結体を形成する窒化アルミニウム基板１０の製造方法において、積層体１１をＭｏ板１２上に載置してＭｏぺーサー１３及びＭｏ板１２で外周囲を塞ぐようにして焼成して脱脂体１５を形成する工程と、これを実質的に焼結助剤を含有しない９９．５％以上の窒化アルミニウム粉末からなる造粒粉末を粉体プレス成形した後、１８５０〜１９５０℃、１０〜１５時間の常圧焼成法で焼結する窒化アルミニウムセッター１６で両面を挟持する工程と、この脱脂体１５をＭｏ板１２上に載置してＭｏスぺーサー１３及びＭｏ板１２で外周囲を塞ぐようにして焼結して焼結体を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】電気加工が良好に行える範囲の導電性を持ち、かつ主成分である非導電性セラミックスの性質を損なうことのない導電性複合セラミックスを提供する。
【解決手段】Ａｌ_２Ｏ_３やＺｒＯ_２、Ｓｉ_３Ｎ_４などの非導電性セラミックスは、電気加工が不能であるために複雑形状の金型や精密加工用部材として製造ができない。これらの放電加工が困難な主成分を持つセラミックスにＴｉＣ，ＴｉＮ，ＷＣ，ＴａＣ，ＭｏＣ，ＮｂＣ，ＶＣのいずれか一種以上からなる導電性セラミックス粒子を０．５〜１５体積％添加し、導電性を付与することにより、電気加工が可能となる。得られた導電性複合セラミックスは、電気加工が良好に行える範囲の導電性（１×１０^−３(Ω・ｃｍ)）を持ち、かつ主成分である導電性セラミックスの性質を極力損なわないように、導電性粒子の添加量を少なく押さえることが可能である。 （もっと読む）

【課題】セラミック材料を研削、研磨することなく製造可能で、かつ前記成形面に離型剤による膜あるいはクロム含有化合物の焼結体を形成することなく、良好な形成を備えた光学素子用成形型及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光学素子を成形するための成形面を備えた光学素子用成形型において、窒化ホウ素、窒化硅素及び窒化アルミニウムより成る群から選択された１種以上およびアルミナゾル、シリカゾルより成る群から選択された１種以上の結合剤を含み、焼結温度以下の温度で焼成して構成される光学素子用成形型。 （もっと読む）

【課題】窒化アルミニウム焼結体に反りなどの変形を引き起こすことなく、焼結助剤を除去することのできる、窒化アルミニウムの焼成方法を提供することである。
【解決手段】焼結助剤を含有する窒化アルミニウム焼結体、または、窒化アルミニウム脱脂体を、酸化アルミニウムおよび窒化ホウ素ならびに不活性ガスの存在下で、１７００℃以上の温度で熱処理することを特徴とする窒化アルミニウムの焼成方法。更には、窒化ホウ素からなる容器内で、酸化アルミニウム及び不活性ガスの存在下で１７００℃以上の温度で熱処理する方法である。 （もっと読む）

【課題】体積抵抗率が低い窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】マイエナイト（mayenite）相を含有し、かつカルシウムを５００〜２００００ｐｐｍ含有することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体、ならびに１００質量部の窒化アルミニウム、およびカルシウム原子に換算して０．０１〜５．０質量部のカルシウム含有焼結助剤を含有する混合物を、中性雰囲気下、１５００〜１７００℃で、５０時間以上焼成することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高い緻密性と実用的熱伝導性とを有し、しかも従来のＡｌＮ焼結体よりも破壊靭性値が向上したＡｌＮ焼結体を提供すること。
【解決手段】本発明に係る窒化アルミニウム焼結体は、焼結体中に球状のホルミウムアルミネート相が分散してなることを特徴としている。該ホルミウムアルミネート相がＨｏ₃
Ａｌ₅Ｏ₁₂構造を有することが特に好ましい。 （もっと読む）

【課題】層間剥離が発生し難く、かつ、熱伝導性に優れるとともに安価に製造することが可能な窒化アルミニウム多層基板を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウム多層基板１は、酸化イットリウム（Ｙ_２Ｏ_３）とアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）をモル比が略１：１の割合で含有する窒化アルミニウムのグリーンシートの焼結体からなる基体２の表面にスクリーン印刷等によってメタライズ層３が形成され、各基体２の層間に窒化アルミニウムを主成分とし、焼結助剤として酸化イットリウム及びアルミナをモル比が略１：１の割合で含有する絶縁性ペーストの焼結体からなる絶縁層４が形成されるとともに、絶縁性ペースト中の焼結助剤の割合がグリーンシート中の焼結助剤の割合よりも高いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
AlN、SiCとホウ化金属の複合セラミックスを製造する従来方法では高温で焼結する必要があり、工業的製造に難点があった。焼結温度が200℃程度低温化すれば、製造コストが低減できる。また、高度な焼結装置であるHPやSPSが容易に利用でき、工業的生産が可能となって経済的効果は大きい。
【解決手段】
AlNとSiCとホウ化金属の複合セラミックスの焼結に、BとCやAlとBとCを含む成分や化合物（AｌBC系焼結助剤）が極めて有効であり、焼結温度を著しく低下させることができる。焼結助剤を使わないと2000℃以上の焼結温度が必要であったが、本発明によるAlBC系焼結助剤を添加すれば2000℃未満で十分緻密化でき、HPやSPS等の焼結法を利用すれば、焼結温度は1850℃になる。 （もっと読む）